本实用新型专利技术涉及湿法刻蚀领域，特别一种湿法刻蚀烘烤夹具及烘烤装置，包括底板、载物条和侧板，所述载物条设置在底板上且所述载物条位于所述底板的边缘位置，所述底板上设置有至少两个载物条，且当底板上设置的载物条数量为偶数时，所述载物条每两个平行间隔布置，所述侧板设置在所述底板的边缘上，所述侧板垂直所述底板布置。本实用新型专利技术通过侧板和载物条，避免待烘烤基板与空白基板的大面积接触，从而避免匀胶面损伤，确保产品质量。确保产品质量。确保产品质量。
【技术实现步骤摘要】
一种湿法刻蚀烘烤夹具及烘烤装置
[0001]本技术涉及湿法刻蚀领域，特别一种湿法刻蚀烘烤夹具及烘烤装置。
技术介绍
[0002]湿法刻蚀过程中需要对匀胶后的金属化基板进行烘烤，以保证光刻胶有足够的硬度完成后续工艺并保护基板金属层。表面金属化后的基板会产生形变，四角会翘曲。
[0003]传统的烘烤办法：将基板匀胶面向上，未匀胶面放在空白基板上，空白基板相邻两侧边与烘烤平台定位柱接触，空白基板下面与烘烤平台升降柱接触，升降柱下降后，空白基板与烘烤平台接触，等待一定时间后，完成基板第一匀胶面的烘烤。基板另一面匀胶后，将后匀胶面向上，已烘烤光刻胶面与空白基板接触，升降柱下降后，空白基板与烘烤平台接触，等待一定时间后，完成基板第二匀胶面的烘烤。
[0004]但是这种方法在基板第一面匀胶后烘烤时，未匀胶的基板金属化面与空白基板接触或分离时易造成基板金属化面的划伤及污染，划伤多集中于中心位置；基板第二面匀胶烘烤时，已匀胶烘烤的第一面与空白基板接触后，由于金属化后的基板四角翘曲，在高温情况下，第一面中心区域光刻胶易与空白基板粘黏，分离后会造成光刻胶的损伤，进而影响产品合格率；且在将匀胶后基板放置在空白基板上时，边角很难与空白基板重合，露出部分较大时受烘烤平台热上升气流影响，匀胶后基板易从空白基板滑落，对基板状态造成较严重影响
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的是克服现有技术的缺点，提供一种通过侧板和载物条，避免待烘烤基板与空白基板的大面积接触，从而避免匀胶面损伤，确保产品质量的湿法刻蚀烘烤夹具及烘烤装置。
[0006]本技术采用如下技术方案：
[0007]一种湿法刻蚀烘烤夹具，包括底板、载物条和侧板，所述载物条设置在底板上且所述载物条位于所述底板的边缘位置，所述底板上设置有至少两个载物条，且当底板上设置的载物条数量为偶数时，所述载物条每两个平行间隔布置，所述侧板设置在所述底板的边缘上，所述侧板垂直所述底板布置。
[0008]进一步地，包括有三个载物条，所述三个载物条沿着底板的边缘布置，三个所述载物条的其中两个平行间隔布置，最后一个载物条设置在两平行间隔的载物条之间。
[0009]进一步地，包括有两侧板，两所述侧板设置在底板的相邻两边的边缘上并朝向所述载物条一侧延伸，两所述侧板与所述底板相互垂直。
[0010]一种湿法刻蚀烘烤装置，包括升降柱和定位柱，还包括有如上述的一种湿法刻蚀烘烤夹具，所述升降柱和定位住设置在烘烤平台上，所述底板设置在所述升降柱上，所述定位柱顶抵在所述侧板的外侧。
[0011]由上述对本技术的描述可知，与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]第一、通过设置在底板上的三条载物条，当匀胶后的基板放置在底板上时，载物条与基板的边缘接触从而支撑基板，基板中心80％以上的区域悬空，夹具对匀胶后基板的中心区域金属层或匀胶面无损伤，确保产品的质量。
[0013]第二、通过侧板对基板进行定位放置，确保匀胶后基板放置在底板上时与底板最大程度重合，匀胶后基板受热上升气流影响小，且侧板也可以阻挡部分侧面气流，使匀胶后基板不容易滑落。
[0014]第三、夹具可以重复适用，结构简单，操作方便，成本较底。
附图说明
[0015]图1是本技术的具体实施方式的部分结构示意图；
[0016]图2是本技术的湿法刻蚀烘烤夹具的结构示意图。
[0017]图中：1.烘烤平台，2.升降柱，3.定位柱，4.湿法刻蚀烘烤夹具，40.底板，41.载物条，42.侧板，5.基板。
具体实施方式
[0018]以下通过具体实施方式对本技术作进一步的描述。
[0019]参照图1和图2，本技术的一种湿法刻蚀烘烤夹具和烘烤装置，所述烘烤装置包括烘烤平台1、升降柱2、定位柱3和湿法刻蚀烘烤夹具4，所述升降柱2和定位柱3设置在烘烤平台1上，所述湿法刻蚀烘烤夹具4设置在所述升降柱2上，所述定位柱3顶抵在所述湿法刻蚀烘烤夹具4的外侧
[0020]所述湿法刻蚀烘烤夹具4包括底板40、三载物条41和两侧板42，所述底板40设置在所述升降柱2上，所述载物条41设置在底板40不与升降柱2接触的一面上且所述载物条41位于所述底板40的边缘位置，所述底板40上设置有三个载物条41，所述三个载物条41沿着底板40的边缘布置，三个所述载物条41的其中两个平行间隔布置，最后一个载物条41设置在两平行间隔的载物条41之间，两所述侧板42设置在所述底板40的相邻两边的边缘上并朝向所述载物条41一侧延伸，两所述侧板42与所述底板40相互垂直，两所述侧板42相互垂直布置。
[0021]继续参照图1和图2，本技术使用时，将两个侧板42与所述定位柱3接触，底板40放置在升降柱2上，使湿法刻蚀烘烤夹具4设置在烘烤平台1上，将匀胶后基板5的相邻两边紧贴两侧板42放置在三载物条41上，升降柱2下降后底板40与烘烤平台1接触进行烘烤，等待一定时间后，完成基板5第一匀胶面的烘烤，根据相同的方式，第一匀胶面与三载物条41接触，使第二匀胶面朝上进行第二匀胶面的烘烤。
[0022]第一匀胶面进行烘烤时，未匀胶的第二匀胶面中心80％以上区域悬空不与底板40接触，因此为匀胶面金属层无划伤，基板5第二匀胶面进行烘烤时，第一匀胶面中心80％以上区域悬空不与底板40接触，因此第一匀胶面上的光刻胶不会与底板40产生粘结而造成损伤。侧板42方便对基板5进行定位放置，确保匀胶后基板5放置在底板40上时与底板40最大程度重合，使匀胶后基板5受热上升气流影响小，且侧板42也可以阻挡部分侧面气流，使匀胶后基板5不容易滑落。
[0023]上述仅为本技术的一个具体实施方式，但本技术的设计构思并不局限于
此，凡利用此构思对本技术进行非实质性的改动，均应属于侵犯本技术保护范围的行为。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种湿法刻蚀烘烤夹具，其特征在于：包括底板、载物条和侧板，所述载物条设置在底板上且所述载物条位于所述底板的边缘位置，所述底板上设置有至少两个载物条，且当底板上设置的载物条数量为偶数时，所述载物条每两个平行间隔布置，所述侧板设置在所述底板的边缘上，所述侧板垂直所述底板布置。2.根据权利要求1所述的一种湿法刻蚀烘烤夹具，其特征在于：包括有三个载物条，所述三个载物条沿着底板的边缘布置，三个所述载物条的其中两个平行间隔布置，最后一个载...
【专利技术属性】
技术研发人员：席子钊，苏祺益，潘甲东，黄星凡，
申请(专利权)人：福建毫米电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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