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本实用新型涉及湿法刻蚀领域，特别一种湿法刻蚀烘烤夹具及烘烤装置，包括底板、载物条和侧板，所述载物条设置在底板上且所述载物条位于所述底板的边缘位置，所述底板上设置有至少两个载物条，且当底板上设置的载物条数量为偶数时，所述载物条每两个平行间隔布...
该专利属于福建毫米电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建毫米电子有限公司授权不得商用。

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