具有真空功能的在线式热压设备制造技术

本发明专利技术涉及热压烧结设备技术领域，提供一种具有真空功能的在线式热压设备

【技术实现步骤摘要】
具有真空功能的在线式热压设备


[0001]本专利技术涉及热压烧结设备
，尤其涉及一种具有真空功能的在线式热压设备
。

技术介绍

[0002]现有压力烧结设备大多是开放式或半开放式的结构，多采用人工进行上下料，工件的加热
、
热压烧结及后续的冷却等工艺流程在同一个腔室内完成，热压烧结时的压力无法监测
。
[0003]现有技术中的压力烧结炉的存在以下缺点：（1）炉腔体不是完全封闭的结构，没有防氧化和还原清洗功能，工件烧结时易氧化或掺杂其他杂质，烧结后元器件表面有氧化层，对后期工序的生产有影响，存在隐性质量问题，炉腔内部介质易泄露
。
[0004]（2）效率低下，需要人工取放治具（含工件），加热
、
热压烧结及后续的冷却等都在一个腔室完成，工件加工周期太长
。
[0005]（3）热压烧结的压力无法检测
。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供一种具有真空功能的在线式热压设备，旨在解决上述描述的现有技术中的压力烧结炉存在的至少一个技术问题
。
[0007]本专利技术提供一种具有真空功能的在线式热压设备，包括：上料装置，用于将工件从入口处输送上料；预烘工位，所述预烘工位设于所述上料装置的出口处，用于对工件进行预烘；热压烧结工位，所述热压烧结工位设于所述预烘工位的出口处，用于对工件进行热压烧结；冷却工位，所述冷却工位设于所述热压烧结工位的出口处，用于对工件进行冷却；下料装置，所述下料装置设于所述冷却工位的出口处，用于将工件从出口处输送下料；其中，所述热压烧结工位包括：第一真空腔室，所述第一真空腔室设有第一真空抽口和
/
或第一进气管路，所述第一真空抽口用于对所述第一真空腔室进行抽真空，所述第一进气管路用于向所述第一真空腔室内输入还原性气体和
/
或惰性气体；所述冷却工位包括：第二真空腔室，所述第二真空腔室设有第二真空抽口和
/
或第二进气管路，所述第二真空抽口用于对所述第二真空腔室进行抽真空，所述第二进气管路用于向所述第二真空腔室内输入还原性气体和
/
或惰性气体
。
[0008]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述热压烧结工位还包
括：压力装置；压接装置，所述压接装置设置在所述第一真空腔室内，且设置在所述压力装置的中间板上；压接装置含有至少一个热压头；覆膜装置，所述覆膜装置设置在所述第一真空腔室内，且设置在所述压力装置的中间板上；其中，所述覆膜装置包括：放卷端和收卷端，薄膜由放卷端引出后，经过所述压接装置的下表面，再进入收卷端
。
[0009]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述第一真空腔室包括：侧板和顶板，所述侧板围设在所述顶板的边缘处，所述顶板与所述压力装置的中间板固定连接，侧板具有垂直方向压缩拉伸功能；柔性密封圈，所述柔性密封圈设于所述侧板的底端；其中，当压力装置的中间板向下移动到位后，所述侧板通过所述柔性密封圈与所述压力装置的底板密封连接，以使所述顶板
、
所述侧板和所述底板形成所述第一真空腔室；所述压力装置的中间板能够继续向下移动，所述侧板垂直方向压缩，所述压接装置与所述底板上工件接触并加压
。
[0010]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述热压烧结工位还包括：压力传感器，所述压力传感器设于所述压力装置上，用于监测所述压力装置的输出压力
。
[0011]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，还包括：第一搬运机构，所述第一搬运机构靠近所述上料装置和所述预烘工位设置，用于将位于所述上料装置的出口处的工件搬运至所述预烘工位的入口处；第二搬运机构，所述第二搬运机构靠近所述冷却工位和所述下料装置设置，用于将位于所述冷却工位的出口处的工件搬运至所述下料装置的入口处
。
[0012]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述第一搬运机构包括：第一轨道，所述第一轨道靠近所述上料装置和所述预烘工位设置，且沿所述工件的流转方向设置；第一移动部，所述第一移动部沿所述第一轨道可移动设置；第一升降部，所述第一升降部的一端设于所述第一移动部上；第一旋转部，所述第一旋转部的一端设于所述第一升降部的另一端；第一搬运杆，所述第一搬运杆设于所述第一旋转部的另一端，用于工件搬运
。
[0013]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述第二搬运机构包括：第二轨道，所述第二轨道靠近所述冷却工位和所述下料装置设置，且沿所述工件的流转方向设置；第二移动部，所述第二移动部沿所述第二轨道可移动设置；第二升降部，所述第二升降部的一端设于所述第二移动部上；
第二旋转部，所述第二旋转部的一端设于所述第二升降部的另一端；第二搬运杆，所述第二搬运杆设于所述第二旋转部的另一端，用于工件搬运
。
[0014]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述上料装置包括：第一驱动电机；第一滚轮，所述第一驱动电机与所述第一滚轮驱动连接；第一输送带，所述第一输送带张紧设置在所述第一滚轮上；第一挡停板，所述第一挡停板设置在所述第一输送带的靠近所述预烘工位的一端
。
[0015]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述下料装置包括：第二驱动电机；第二滚轮，所述第二驱动电机与所述第二滚轮驱动连接；第二输送带，所述第二输送带张紧设置在所述第二滚轮上；第二挡停板，所述第二挡停板设置在所述第二输送带的远离所述冷却工位的一端
。
[0016]根据本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，所述预烘工位包括：第一腔室，所述第一腔室设有第一进气口；加热载台，所述加热载台设置于所述第一腔室内；所述冷却工位包括：水冷平台，所述水冷平台设置于所述第二真空腔室内
。
[0017]本专利技术提供的一种具有真空功能的在线式热压设备，在热压烧结工位和冷却工位分别设置真空腔室，通过在真空腔室设置真空抽口和
/
或进气管路，可以对真空腔室进行抽真空或置换空气添加其他气氛，密封环境内也可以添加还原性介质，防止介质外溢，保证芯片在烧结过程产生的氧化物有效还原；在冷却过程中，先抽真空，注入还原性气氛从而还原氧化物，之后再进行冷却；并且，本系统是一种在线式热压烧结设备，通过上料装置和下料装置实现自动上下料，且具备治具回流功能，预烘
、
热压和冷却分工位进行，各个工位作业不冲突，可同时多个工件进行不同工位工序的加工处理，大大缩短了产品生产周期，提高加工效率
。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有真空功能的在线式热压设备，其特征在于，包括：上料装置，用于将工件从入口处输送上料；预烘工位，所述预烘工位设于所述上料装置的出口处，用于对工件进行预烘；热压烧结工位，所述热压烧结工位设于所述预烘工位的出口处，用于对工件进行热压烧结；冷却工位，所述冷却工位设于所述热压烧结工位的出口处，用于对工件进行冷却；下料装置，所述下料装置设于所述冷却工位的出口处，用于将工件从出口处输送下料；其中，所述热压烧结工位包括：第一真空腔室，所述第一真空腔室设有第一真空抽口和
/
或第一进气管路，所述第一真空抽口用于对所述第一真空腔室进行抽真空，所述第一进气管路用于向所述第一真空腔室内输入还原性气体和
/
或惰性气体；所述冷却工位包括：第二真空腔室，所述第二真空腔室设有第二真空抽口和
/
或第二进气管路，所述第二真空抽口用于对所述第二真空腔室进行抽真空，所述第二进气管路用于向所述第二真空腔室内输入还原性气体和
/
或惰性气体
。2.
根据权利要求1所述的具有真空功能的在线式热压设备，其特征在于，所述热压烧结工位还包括：压力装置；压接装置，所述压接装置设置在所述第一真空腔室内，且设置在所述压力装置的中间板上；压接装置含有至少一个热压头；覆膜装置，所述覆膜装置设置在所述第一真空腔室内，且设置在所述压力装置的中间板上；其中，所述覆膜装置包括：放卷端和收卷端，薄膜由放卷端引出后，经过所述压接装置的下表面，再进入收卷端
。3.
根据权利要求2所述的具有真空功能的在线式热压设备，其特征在于，所述第一真空腔室包括：侧板和顶板，所述侧板围设在所述顶板的边缘处，所述顶板与所述压力装置的中间板固定连接；侧板具有垂直方向压缩拉伸功能
;
柔性密封圈，所述柔性密封圈设于所述侧板的底端；其中，当压力装置的中间板向下移动到位后，所述侧板通过所述柔性密封圈与所述压力装置的底板密封连接，以使所述顶板
、
所述侧板和所述底板形成所述第一真空腔室；所述压力装置的中间板能够继续向下移动，所述侧板垂直方向压缩，所述压接装置与所述底板上工件接触并加压
。4.
根据权利要求2或3所述的具有真空功能的在线式热压设备，其特征在于，所述热压烧结工位还包括：压力传感器，所述压力传感器设于所述压力装置上，用于监测所述压力装置的输出压力

【专利技术属性】
技术研发人员：赵永先，周永军，张延忠，邓燕，文爱新，赵登宇，
申请(专利权)人：中科同帜半导体江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：