【技术实现步骤摘要】
一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备
[0001]本专利技术涉及半导体预处理
,具体为一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备
。
技术介绍
[0002]双面电池是一种具有正反两面都可以发电的电池
。
正面和反面的电极材料和结构不同,分别适应不同的环境和工作条件
。
在双面电池的生产中,常常需要使用半导体晶片来实现电池的控制
、
监测和通信等功能
。
半导体晶片可以集成电池的管理系统,如电流
、
电压和温度的监测,以及与外部设备进行通信等
。
为了确保晶片能够正常工作
、
可靠连接和稳定运行,双面电池生产用半导体晶片一般都需要进行预处理
。
[0003]现有技术中,双面电池生产用半导体晶片在预处理过程中,为了增强半导体晶片表面的氧化硅层,通常需要将半导体晶片放到硅酸溶液中进行氧化处理,然后将氧化处理后的半导体晶片放到有机溶液如乙醇中进行清洗,去除表面的硅酸盐和其他残留物,但在清洗过程中,有机溶剂会产生一些挥发性气体如醇类气体,工作人员长期呼吸到醇类气体,会对人体健康产生潜在风险,另外醇类气体排放到大气中,会对空气质量产生负面影响
。
[0004]所以我们提出了一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备,以便于解决上述中提出的问题
。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备,以解决上述
技术介绍
提 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备,其特征在于,包括:底座(1),所述底座(1)的顶部设置有移动组件(2),所述底座(1)靠近一侧的顶部固定安装有氧化池(4),所述底座(1)靠近另一侧的顶部固定安装有超声波清洗组件(5),所述超声波清洗组件(5)的后表面设置有气体处理组件(6);所述气体处理组件(6)包括支撑架(
601
),所述支撑架(
601
)的内部固定安装有处理管(
602
),所述处理管(
602
)内部靠近边缘处的前表壁固定安装有反应器(
613
),所述反应器(
613
)的内壁固定安装有催化布(
625
),所述反应器(
613
)靠近前表面的内壁固定安装有透明隔板(
624
),所述处理管(
602
)的前表壁固定连接有紫外线灯(
623
),所述底座(1)靠近后表面的顶部固定安装有抽液泵(
610
),所述抽液泵(
610
)的输入端通过法兰盘连接有抽液管(
611
),所述抽液泵(
610
)的输出端通过法兰盘连接有输送管(
614
),所述输送管(
614
)的一端固定连接有环形管(
612
),所述环形管(
612
)的外表面固定连接有多个喷头(
622
)
。2.
根据权利要求1所述的双面电池生产用半导体晶片预处理设备,其特征在于:所述超声波清洗组件(5)包括清洗池(
501
),所述清洗池(
501
)的前表面固定安装有固定板(8),所述反应器(
613
)靠近后表面的内壁固定安装有安装环(
620
),所述安装环(
620
)的后表面通过螺钉安装有吸附盒(
621
),所述处理管(
602
)的一端通过法兰盘连接有排气管(
603
),所述清洗池(
501
)的后表面通过加强板安装有风机(
604
),所述风机(
604
)的输入端固定连接有第一连接管(
605
)
。3.
根据权利要求2所述的双面电池生产用半导体晶片预处理设备,其特征在于:所述第一连接管(
605
)的一端固定连接有固定管(
606
),所述固定管(
606
)的外表面固定连接有多个抽气管(
616
),所述风机(
604
)的输出端固定连接有第二连接管(
607
),所述第二连接管(
607
)的一端通过法兰盘连接有加热管(
608
),所述加热管(
608
)的内部设置有电热丝(
617
),所述加热管(
608
)的一端通过法兰盘连接有输气管(
615
),所述输气管(
615
)的外表面设置有温度传感器(
609
),所述温度传感器(
609
)的探头延伸至输气管(
615
)的内部
。4.
根据权利要求3所述的双面电池生产用半导体晶片预处理设备,其特征在于:所述输气管(
615
)的一端依次贯穿处理管(
602
)和透明隔板(
624
)至反应器(
613
)的内部,所述底座(1)的顶部靠近抽液泵(
610
)处固定安装有溶液桶(
618
),所述溶液桶(
618
)的顶部固定连接有进液管(
619
),所述抽液管(
611
)的一端固定贯穿至溶液桶(
618
)的内部,多个所述抽气管(
616
)的一端均固定贯穿至清洗池(
501
)的内部,所述固定管(
606
)靠近两端的外表面通过辅助环安装在清洗池(
501
)的后表面
。5.
根据权利要求4所述的双面电池生产用半导体晶片预处理设备,其特征在于:所述固定板(8)靠近一侧的顶部通过螺丝安装有超声波发生器(
502
),所述固定板(8)靠近另一侧的顶部通过螺栓安装有
PLC
控制器(9),所述清洗池(
501
)的内部固定安装有清洗盒(
503
),所述清洗盒(
503
)的底部设置有超声波换能器(
504
),所述清洗盒(
503
)靠近一侧的顶部固定连通有排污管(
505
),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆银川,徐铁涛,
申请(专利权)人:浙江日月光能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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