一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽制造技术

本技术公开了一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，包括主壳体，主壳体由导热隔板分隔出上层酸洗仓以及下层加热仓；酸洗仓中设有用于传送硅片的滚轮；加热仓中设有加热棒以及支承装置；支承装置包括：将加热棒压紧在导热隔板底面的顶板，与顶板底面固接的升降杆，被升降杆贯穿的支承板，套装在升降杆上且两端分别与导热隔板、支承板固接的弹簧，以及与升降杆底端固接的踏板；加热仓还设有仓门。本技术的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其能刻蚀去掉硅片背面和边缘的BSG死层；且能将加热棒与用于刻蚀BSG的酸液隔开，可防止加热棒与酸液直接接触，避免加热棒被酸液腐蚀，增加加热棒的使用寿命；还方便加热棒的更换和维护。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏领域，具体涉及一种硅片刻蚀去bsg用酸洗槽。

技术介绍

1、大尺寸双面perc电池片效率已达到瓶颈，n型topcon晶体硅太阳能电池片技术应用规模逐渐变大。一般通过硼扩在n型硅片正面制备pn结，同时会在硅片正背面和边缘形成副产物bsg（硼硅玻璃）死层。bsg的存在使得硅片在空气中表面容易受潮，会导致电流的降低和功率的衰减；死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低，进而降低了voc和isc；另外硼硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差。故需要在硼扩之后，去除硅片背面和边缘的bsg死层。

2、一般硼扩之后，在存有酸液（如氢氟酸）的酸洗槽中对硅片的背面和边缘进行刻蚀，酸洗槽中设有用于传送硅片的滚轮，使硅片背面朝下传送，且传送过程中使酸洗槽中的酸液仅与硅片下表面和硅片边缘接触；以氢氟酸为例，刻蚀时氢氟酸去除硅片表面bsg，方程式如下：sio2+hf→h2[sif6]+h2o；通过刻蚀去掉硅片背面和边缘的bsg死层，可使电池的短波响应提高，效率提高。

3、但若使用常温氢氟酸对硅片的背面和边缘进行刻蚀，则氢氟酸耗量大；而若对酸洗槽中的氢氟酸进行加热，则可增加氢氟酸的活性，增加氢氟酸与二氧化硅的反应速率，进而降低氢氟酸耗量，降低生产成本。

4、目前一般在酸洗槽中设置加热棒，通过浸没在氢氟酸中的加热棒直接加热酸洗槽中的氢氟酸；而加热棒与酸洗槽中的氢氟酸直接接触，加热棒容易被氢氟酸腐蚀，这会降低加热棒的使用寿命；且若加热棒损坏失效，也不方便对浸没在氢氟酸中的加热棒进行更换。

技术实现思路

1、为解决现有技术的缺陷，本技术提供一种硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，所述酸洗槽包括顶部敞口且沿左右方向延伸的主壳体，主壳体由平置导热隔板分隔出上下两层：位于上层的酸洗仓，以及位于下层的加热仓；

2、所述酸洗仓中设有用于传送硅片的滚轮，且酸洗仓中存有用于刻蚀bsg的酸液（如氢氟酸）；

3、所述加热仓中设有：与导热隔板底面贴靠的平置加热棒，以及将加热棒压紧在导热隔板底面的支承装置；所述支承装置包括：将加热棒压紧在导热隔板底面的平置顶板，顶端与顶板底面固接的竖置升降杆，被升降杆竖向贯穿且后端与加热仓后侧内壁固接的平置支承板，套装在升降杆上且两端分别与导热隔板底面、支承板顶面固接的竖置弹簧（弹簧位于导热隔板和支承板之间），以及后端与升降杆底端固接且伸向加热仓前侧的平置踏板；所述加热仓的前侧还设有与支承装置正对的仓门（踏板与仓门正对，且踏板伸向仓门）。

4、优选的，所述导热隔板的顶面还覆有高导热防腐蚀陶瓷涂料层。

5、优选的，所述导热隔板的底面还覆有导热弹性垫（导热弹性垫与导热隔板的底面固接）。

6、优选的，所述顶板的顶面还覆有隔热弹性垫（隔热弹性垫与顶板的顶面固接）。

7、优选的，所述支承装置还包括：套装在升降杆上且顶端与支承板底面固接的竖置导向筒。

8、优选的，所述加热仓中设有多个支承装置，该多个支承装置沿酸洗槽主壳体的延伸方向等间隔依次设置。

9、优选的，所述多个支承装置的顶板顶面分别设有加热棒。

10、优选的，所述加热仓的前侧设有多个仓门，该多个仓门与加热仓中的多个支承装置一一对应，且仓门与对应的支承装置正对（即每个支承装置都配有一个仓门）。

11、优选的，所述多个仓门的外壁分别设有把手。

12、优选的，所述多个仓门都为隔热门。

13、本技术的优点和有益效果在于：提供一种硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，其能刻蚀去掉硅片背面和边缘的bsg死层；且能将加热棒与用于刻蚀bsg的酸液隔开，可防止加热棒与酸液直接接触，避免加热棒被酸液腐蚀，增加加热棒的使用寿命；还方便加热棒的更换和维护。

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【技术保护点】

1.一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述酸洗槽包括主壳体，主壳体由导热隔板分隔出上层酸洗仓以及下层加热仓；

2.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述导热隔板的顶面还覆有高导热防腐蚀陶瓷涂料层。

3.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述导热隔板的底面还覆有导热弹性垫。

4.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述顶板的顶面还覆有隔热弹性垫。

5.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述支承装置还包括：套装在升降杆上且与支承板固接的导向筒。

6.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述加热仓中设有多个支承装置，该多个支承装置沿酸洗槽主壳体的延伸方向依次设置。

7.根据权利要求6所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述多个支承装置的顶板顶面分别设有加热棒。

8.根据权利要求6所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述加热仓设有多个仓门，该多个仓门与多个支承装置一一对应，且仓门与对应的支承装置正对。

9.根据权利要求8所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述多个仓门的外壁分别设有把手。

10.根据权利要求8所述的硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，其特征在于，所述多个仓门都为隔热门。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，其特征在于，所述酸洗槽包括主壳体，主壳体由导热隔板分隔出上层酸洗仓以及下层加热仓；

2.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，其特征在于，所述导热隔板的顶面还覆有高导热防腐蚀陶瓷涂料层。

3.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，其特征在于，所述导热隔板的底面还覆有导热弹性垫。

4.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，其特征在于，所述顶板的顶面还覆有隔热弹性垫。

5.根据权利要求1所述的硅片刻蚀去bsg用酸洗槽，其特征在于，所述支承装置还包括：套装在升降杆上且与支承板固接的导向筒。

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴晓伟，王晓蕾，
申请(专利权)人：浙江日月光能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：