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本技术公开了一种硅片刻蚀去BSG用酸洗槽，包括主壳体，主壳体由导热隔板分隔出上层酸洗仓以及下层加热仓；酸洗仓中设有用于传送硅片的滚轮；加热仓中设有加热棒以及支承装置；支承装置包括：将加热棒压紧在导热隔板底面的顶板，与顶板底面固接的升降杆，被...
该专利属于浙江日月光能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江日月光能科技有限公司授权不得商用。

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