对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法技术

本申请涉及集成电路领域，具体为一种对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法

【技术实现步骤摘要】
对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法


[0001]本申请涉及集成电路
，特别是涉及一种对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法
。

技术介绍

[0002]传统技术中，常通过对准两个晶圆上的对准标记，以达到精准键合两个晶圆的目的
。
因此，获得对准标记的精准位置十分重要
。
[0003]目前，常通过匹配对准标记与预设模板，以得出对准标记的位置
。
然而，该过程中的计算量较大
。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种方便获得对准标记中心点的位置精度的方法
。
[0005]一种对准标记中心点的定位方法，所述方法包括：获得对准标记的图像的目标轮廓，所述目标轮廓包括多条第一线段，所述对准标记为中心对称图形；基于所述多条第一线段，确定所述对准标记的虚拟中心；在所述多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将第一目标线段绕所述虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段；在所述第一线段中，选取与所述第二线段平行且最邻近的第二目标线段；基于所述第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线；根据至少两个非平行的线段中分线的交点，确定对准标记的中心点
。
[0006]在一个实施例中，所述第一目标线段具有第一端和第二端，所述第二目标线段具有第三端和第四端；所述基于所述第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线包括：连接所述第一端与所述第三端，获得第一连接线；连接所述第二端与所述第四端，获得第二连接线，所述第一连接线与所述第二连接线不交叉；确定所述第一连接线的第一中点，以及确定所述第二连接线的第二中点；连接所述第一中点与所述第二中点，形成所述线段中分线
。
[0007]在一个实施例中，所述连接所述第一中点与所述第二中点，形成所述线段中分线之后，包括：在多条所述线段中分线中确定第一中分线与第二中分线；计算所述第一中分线与所述第二中分线的夹角；当所述夹角大于等于预设夹角，获取第一中分线与第二中分线的交点
。
[0008]在一个实施例中，所述在所述多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将
第一目标线段绕所述虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段之前，包括：确定每一所述第一线段的第一中点；建立所述第一中点与对应的所述第一线段的数据结构关系；所述在所述第一线段中，确定与所述第二线段平行且最邻近的第二目标线段包括：确定所述第二线段的中点；基于所述数据结构关系，确定与所述第二线段的中点最邻近的所述第一中点以及对应的所述第一线段；当所述对应的所述第一线段与所述第二线段平行时，将所述对应的所述第一线段确定为所述第二目标线段
。
[0009]在一个实施例中，所述获得对准标记的图像的目标轮廓之前，包括：获得所述对准标记的图像；计算所述对准标记的图像的梯度值，并基于所述梯度值获得第一轮廓；基于所述第一轮廓，获取所述目标轮廓
。
[0010]在一个实施例中，基于所述第一轮廓，获取所述目标轮廓，包括：获得所述第一轮廓的梯度方向直方图；基于所述梯度方向直方图，获得第二轮廓；基于所述第二轮廓，获取所述目标轮廓
。
[0011]在一个实施例中，所述第二轮廓包括轮廓线段；所述基于所述梯度方向直方图，获得所述第二轮廓之后，包括：提取每一所述轮廓线段的多个边缘点；拟合所述多个边缘点，得到所述第一线段
。
[0012]在一个实施例中，所述预设角度包括
180
°
。
[0013]在一个实施例中，所述基于所述第一线段，确定所述对准标记的虚拟中心，包括：确定所述多条第一线段的最小外接圆；将所述最小外接圆的圆心确定为所述目标轮廓的虚拟中心
。
[0014]一种晶圆键合方法，所述方法包括：提供第一晶圆以及第二晶圆，所述第一晶圆包括第一对准标记，所述第二晶圆包括第二对准标记，所述第一对准标记以及所述第二对准标记均为中心对称图形；根据前述方法，确定所述第一对准标记的中心点以及所述第二对准标记的中心点；基于所述第一对准标记的中心点与所述第二对准标记的中心点，键合所述第一晶圆与所述第二晶圆
。
[0015]上述对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法，通过将第一目标线段绕虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段
。
再确定相应的第二目标线段
。
此时，由于对准标记常为中心对称图形，可以认为第一目标线段与第二目标线段为对准标记基于中心点对称的两条边沿线，则第一目标线段与第二目标线段的线段中分线接近或者穿过对准标记中心点
。
最后根据不平行的至少两个线段中分线的交点，确定对准标记的中心点
。
该方法的计算量较小，运算速度快，可以快速获得对准标记的中心点
。
附图说明
[0016]图1为一个实施例中对准标记中心点的定位方法的流程示意图；图2为另一个实施例中对准标记中心点的定位方法的流程示意图；图3为一个实施例中对准标记示意图；图4为另一个实施例中对准标记示意图；图5为一个实施例中数据结构关系的示意图；图6为一个实施例中梯度方向直方图的示意图；图7为一个实施例中晶圆键合方法的流程示意图；图8为一个实施例中对准标记中心点的定位装置示意图；图9为一个实施例中晶圆键合装置示意图
。
具体实施方式
[0017]为了使本申请的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明
。
应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请
。
[0018]本申请提供的对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法，可以应用于终端中
。
终端可以但不限于是各种个人计算机
、
笔记本电脑
、
智能手机
、
平板电脑等
。
[0019]在一个实施例中，如图1和图2所示，提供了一种对准标记中心点的定位方法，包括以下步骤：步骤
S200
：获得对准标记的图像的目标轮廓，目标轮廓包括多条第一线段，对准标记为中心对称图形
。
[0020]步骤
S300
：基于多条第一线段，确定对准标记的虚拟中心
。
[0021]步骤
S500
：在多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将第一目标线段绕虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段
。
[0022]步骤
S600
：在第一线段中，选取与第二线段平行且最邻近的第二目标线段
。
[0023]步骤
S700
：基于第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线
。
[0024]步骤
S800
：根据至少两个非平行的线段中分线的交点，确定对准标记的中心点
。
[0025]在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种对准标记中心点的定位方法，其特征在于，所述方法包括：获得对准标记的图像的目标轮廓，所述目标轮廓包括多条第一线段，所述对准标记为中心对称图形；基于所述多条第一线段，确定所述对准标记的虚拟中心；在所述多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将第一目标线段绕所述虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段；在所述第一线段中，选取与所述第二线段平行且最邻近的第二目标线段；基于所述第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线；根据至少两个非平行的线段中分线的交点，确定对准标记的中心点
。2.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一目标线段具有第一端和第二端，所述第二目标线段具有第三端和第四端；所述基于所述第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线包括：连接所述第一端与所述第三端，获得第一连接线；连接所述第二端与所述第四端，获得第二连接线，所述第一连接线与所述第二连接线不交叉；确定所述第一连接线的第一中点，以及确定所述第二连接线的第二中点；连接所述第一中点与所述第二中点，形成所述线段中分线
。3.
根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述连接所述第一中点与所述第二中点，形成所述线段中分线之后，包括：在多条所述线段中分线中确定第一中分线与第二中分线；计算所述第一中分线与所述第二中分线的夹角；当所述夹角大于等于预设夹角，获取第一中分线与第二中分线的交点
。4.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将第一目标线段绕所述虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段之前，包括：确定每一所述第一线段的第一中点；建立所述第一中点与对应的所述第一线段的数据结构关系；所述在所述第一线段中，确定与所述第二线段平行且最邻近的第二目标线段包括：确定所述第二线段的中点；基于所述数据结构关系，...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈鹭翔，顾昕程，张志强，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：