烘烤装置制造方法及图纸

本技术公开了一种烘烤装置，包括热板本体、加热片、固定件及连接结构，热板本体具有烘烤面，烘烤面用于烘烤晶圆，固定件与热板本体连接，加热片夹设于固定件与热板本体之间，连接结构设于热板本体与固定件之间，连接结构用于固定固定件，如此，通过设置加热片，能够摒弃传统地在热板本体设置沟槽以嵌入加热丝的制造方式，无需填平沟槽和焊接加热丝，能够简化烘烤装置的生产工艺，从而降低烘烤装置的生产制造难度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种烘烤装置。

技术介绍

1、旋转涂胶后的晶圆通常要在热板上进行烘烤，以去除胶膜上的溶剂，并使之更好地粘附在晶圆上。常见的烘烤装置由内嵌加热丝的金属圆盘构成，该种烘烤装置的结构复杂，需要在热板本体上加工沟槽以嵌入加热丝，在加热丝嵌入之后还需要填平沟槽和焊接加热丝，烘烤装置的生产工艺复杂，导致烘烤装置的制造难度大。

技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种烘烤装置，能够降低烘烤装置的制造难度。

2、根据本技术的第一方面实施例的烘烤装置，包括热板本体、加热片、固定件及连接结构，所述热板本体具有烘烤面，所述烘烤面用于烘烤晶圆，所述固定件与所述热板本体连接，所述加热片夹设于所述热板本体与所述固定件之间，所述连接结构设于所述热板本体与所述固定件之间，所述连接结构用于使所述固定件固定所述加热片。

3、根据本技术的第一方面实施例的烘烤装置，至少具有如下有益效果：

4、制造烘烤装置时，将热板本体、加热片及固定件依次本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种烘烤装置,其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括隔热件(400)，所述隔热件(400)夹设于所述加热片(300)与所述固定件(200)之间。

3.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括导热件(500)，所述导热件(500)的一侧与所述加热片(300)贴合，所述导热件(500)的相对的另一侧与所述热板本体(100)背离所述烘烤面(110)的表面贴合。

4.根据权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述导热件(500)和所述加热片(300)均配置多个，多个所述导热件(500)和多个所述加热片(300)依次...

【技术特征摘要】

1.一种烘烤装置,其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括隔热件(400)，所述隔热件(400)夹设于所述加热片(300)与所述固定件(200)之间。

3.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括导热件(500)，所述导热件(500)的一侧与所述加热片(300)贴合，所述导热件(500)的相对的另一侧与所述热板本体(100)背离所述烘烤面(110)的表面贴合。

4.根据权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述导热件(500)和所述加热片(300)均配置多个，多个所述导热件(500)和多个所述加热片(300)依次交错设置。

5.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述连接结构包括紧固件(600)，所述紧固件(600)穿设于所述固定件(200)，并与所述热板本体(100)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括测温组件(700)，所述测温组件(700)与所述热板本体(100)连接，以检测所述热板本体(100)的温度。

7.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪睿，陈万群，常健伟，成春荣，江民荣，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：