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本技术公开了一种烘烤装置，包括热板本体、加热片、固定件及连接结构，热板本体具有烘烤面，烘烤面用于烘烤晶圆，固定件与热板本体连接，加热片夹设于固定件与热板本体之间，连接结构设于热板本体与固定件之间，连接结构用于固定固定件，如此，通过设置加热片...
该专利属于迈为技术（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈为技术（珠海）有限公司授权不得商用。

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