【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片封装技术的领域，尤其涉及一种双向运动装置。
技术介绍
1、在芯片封装类型的设备中，芯片封装的质量和产能，取决于关键装置的高精度定位与高加速度运动，例如双向运动装置。目前的双向运动装置包括运载台和两个不同方向运动的滑台，通过两个滑台与运载台依次堆叠实现运载台的双向运动，但是，两个滑台与运载台依次堆叠连接，其中一个滑台作为运载台和另一个滑台的负载，增加了负载重量，同时，其中一个滑台移动时会带动另一个滑台移动，两个滑台无法分别进行独立运动。
技术实现思路
1、本技术实施例的目的在于：提供一种双向运动装置，不仅可以降低滑台的负载重量，也可以使得两个滑台的运动相互独立、互不干扰。
2、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种双向运动装置，包括基座、安装于所述基座的第一驱动器、安装于所述基座的第一导轨、安装于所述基座的第二导轨、安装于所述基座的第二驱动器、滑设在所述第一导轨并与所述第一驱动器传动连接的第一滑台、滑设在所述第二导轨并与所述第二驱动器传动连接的第二滑台，以及运载台；
4、所述第一导轨的延伸方向与所述第二导轨的延伸方向垂直，所述运载台具有第一套槽和第二套槽，所述运载台通过所述第一套槽滑动套设于第一滑台，所述运载台通过所述第二套槽滑动套设于所述第二滑台。
5、可选地，所述运载台包括载板、设于所述载板并与所述载板共同围合形成第一夹槽的第一夹板、设于所述载板并与所述载板共同围合形成第二夹槽的第二夹板；所述第一夹板和所述第
6、可选地，所述第一夹板和/或所述第二夹板至少有两个，多个所述第一夹板沿着所述第二导轨的延伸方向间隔布设和/或多个所述第二夹板沿着所述第二导轨的延伸方向间隔布设，所述载板与相邻的两个所述第一夹板和/或载板与相邻的两个所述第二夹板共同围合形成所述第二套槽。
7、可选地，所述第一滑台设有第三导轨，所述第二滑台设有第四导轨，所述第一套槽的内壁设有第一导块，所述第二套槽的内壁设有第二导块，所述第一导块滑设于第三导轨，所述第二导块滑设于所述第四导轨。
8、可选地，所述第一夹板和所述第二夹板均呈l形，所述第一夹板的一端和所述第二夹板的一端均与所述载板连接，所述第一夹板的另一端和所述第二夹板的另一端均沿着所述第一导轨的延伸方向延伸且相互靠近。
9、可选地，相邻的两个所述第一夹板和/或相邻的两个所述第二夹板之间设有安装板，所述第一导块设于所述安装板，所述第一夹板和/或所述第二夹板设有所述第二导块。
10、可选地，所述第一滑台设有与所述第一驱动器的输出端传动连接的第一连接板；所述第二滑台设有与所述第二驱动器的输出端传动连接的第二连接板；所述第一驱动器、所述第二驱动器均为u型无铁芯电机。
11、可选地，所述基座包括支撑块、设于所述支撑块的凸台；所述第一驱动器、所述第二驱动器均有两个，两个所述第一驱动器沿着所述第二导轨的延伸方向间隔布设于所述支撑块，两个所述第二驱动器沿着所述第一导轨的延伸方向间隔布设于所述支撑块，所述第一导轨和所述第二导轨均安装于所述凸台，所述凸台位于各所述第一驱动器和各所述第二驱动器围合形成的区域内。
12、可选地，所述基座还包括垫板；所述垫板设于所述凸台，所述第一导轨设于所述垫板并位于所述第二导轨的上方。
13、可选地，所述双向运动装置还包括运动补偿单元；所述运动补偿单元安装于所述基座。
14、本技术的有益效果为：双向运动装置的运载台通过第一套槽和第二套槽分别滑动套设在第一滑台和第二滑台上，第二滑台不需要承载第一滑台，不仅可以降低第二滑台的负载重量，也可以使得第一滑台和第二滑台的运动相互独立、互不干扰。
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1.一种双向运动装置，其特征在于，包括基座(11)、安装于所述基座(11)的第一驱动器(14)、安装于所述基座(11)的第一导轨(12)、安装于所述基座(11)的第二导轨(13)、安装于所述基座(11)的第二驱动器(15)、滑设在所述第一导轨(12)并与所述第一驱动器(14)传动连接的第一滑台(16)、滑设在所述第二导轨(13)并与所述第二驱动器(15)传动连接的第二滑台(17)，以及运载台(18)；
2.根据权利要求1所述的双向运动装置，其特征在于，所述运载台(18)包括载板(181)、设于所述载板(181)并与所述载板(181)共同围合形成第一夹槽(1871)的第一夹板(182)、设于所述载板(181)并与所述载板(181)共同围合形成第二夹槽(1872)的第二夹板(183)；所述第一夹板(182)和所述第二夹板(183)沿着所述第一导轨(12)的延伸方向间隔布设，所述第一滑台(16)的一端滑设在所述第一夹槽(1871)内，所述第一滑台(16)的另一端滑设在第二夹槽(1872)内，所述第一夹槽(1871)的内壁和所述第二夹槽(1872)的内壁共同围合形成所述第一套
3.根据权利要求2所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一夹板(182)和/或所述第二夹板(183)至少有两个，多个所述第一夹板(182)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设和/或多个所述第二夹板(183)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设，所述载板(181)与相邻的两个所述第一夹板(182)和/或载板(181)与相邻的两个所述第二夹板(183)共同围合形成所述第二套槽(188)。
4.根据权利要求3所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一滑台(16)设有第三导轨(19)，所述第二滑台(17)设有第四导轨(20)，所述第一套槽(187)的内壁设有第一导块(185)，所述第二套槽(188)的内壁设有第二导块(186)，所述第一导块(185)滑设于第三导轨(19)，所述第二导块(186)滑设于所述第四导轨(20)。
5.根据权利要求4所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一夹板(182)和所述第二夹板(183)均呈L形，所述第一夹板(182)的一端和所述第二夹板(183)的一端均与所述载板(181)连接，所述第一夹板(182)的另一端和所述第二夹板(183)的另一端均沿着所述第一导轨(12)的延伸方向延伸且相互靠近。
6.根据权利要求4所述的双向运动装置，其特征在于，相邻的两个所述第一夹板(182)和/或相邻的两个所述第二夹板(183)之间设有安装板(184)，所述第一导块(185)设于所述安装板(184)，所述第一夹板(182)和/或所述第二夹板(183)设有所述第二导块(186)。
7.根据权利要求1至6任一项所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一滑台(16)设有与所述第一驱动器(14)的输出端传动连接的第一连接板(21)；所述第二滑台(17)设有与所述第二驱动器(15)的输出端传动连接的第二连接板(22)；所述第一驱动器(14)、所述第二驱动器(15)均为U型无铁芯电机。
8.根据权利要求1至6任一项所述的双向运动装置，其特征在于，所述基座(11)包括支撑块(111)、设于所述支撑块(111)的凸台(112)；所述第一驱动器(14)、所述第二驱动器(15)均有两个，两个所述第一驱动器(14)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设于所述支撑块(111)，两个所述第二驱动器(15)沿着所述第一导轨(12)的延伸方向间隔布设于所述支撑块(111)，所述第一导轨(12)和所述第二导轨(13)均安装于所述凸台(112)，所述凸台(112)位于各所述第一驱动器(14)和各所述第二驱动器(15)围合形成的区域内。
9.根据权利要求8所述的双向运动装置，其特征在于，所述基座(11)还包括垫板；所述垫板设于所述凸台(112)，所述第一导轨(12)设于所述垫板并位于所述第二导轨(13)的上方。
10.根据权利要求9所述的双向运动装置，其特征在于，还包括运动补偿单元；所述运动补偿单元安装于所述基座(11)。
...【技术特征摘要】
1.一种双向运动装置，其特征在于，包括基座(11)、安装于所述基座(11)的第一驱动器(14)、安装于所述基座(11)的第一导轨(12)、安装于所述基座(11)的第二导轨(13)、安装于所述基座(11)的第二驱动器(15)、滑设在所述第一导轨(12)并与所述第一驱动器(14)传动连接的第一滑台(16)、滑设在所述第二导轨(13)并与所述第二驱动器(15)传动连接的第二滑台(17)，以及运载台(18)；
2.根据权利要求1所述的双向运动装置，其特征在于，所述运载台(18)包括载板(181)、设于所述载板(181)并与所述载板(181)共同围合形成第一夹槽(1871)的第一夹板(182)、设于所述载板(181)并与所述载板(181)共同围合形成第二夹槽(1872)的第二夹板(183)；所述第一夹板(182)和所述第二夹板(183)沿着所述第一导轨(12)的延伸方向间隔布设，所述第一滑台(16)的一端滑设在所述第一夹槽(1871)内，所述第一滑台(16)的另一端滑设在第二夹槽(1872)内，所述第一夹槽(1871)的内壁和所述第二夹槽(1872)的内壁共同围合形成所述第一套槽(187)。
3.根据权利要求2所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一夹板(182)和/或所述第二夹板(183)至少有两个，多个所述第一夹板(182)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设和/或多个所述第二夹板(183)沿着所述第二导轨(13)的延伸方向间隔布设，所述载板(181)与相邻的两个所述第一夹板(182)和/或载板(181)与相邻的两个所述第二夹板(183)共同围合形成所述第二套槽(188)。
4.根据权利要求3所述的双向运动装置，其特征在于，所述第一滑台(16)设有第三导轨(19)，所述第二滑台(17)设有第四导轨(20)，所述第一套槽(187)的内壁设有第一导块(185)，所述第二套槽(188)的内壁设有第二导块(186)，所述第一导块(185)滑设于第三导轨(19)，所述第二导块(186)滑设于所述第四导轨(20)。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王正根，陈万群，车二航，刘泽立，杨耀斌，王松松，陈旭，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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