清洗补液系统技术方案

本技术公开了一种清洗补液系统，包括第一清洗罐、第二清洗罐及补液罐，第一清洗罐设有第一进液接头和第一出液接头，第一出液接头连通有第一管路，第一管路被配置为与清洗设备相连通，第一管路设有第一控制阀，第二清洗罐设有第二进液接头和第二出液接头，第二出液接头连通有第二管路，第二管路被配置为与清洗设备相连通，第二管路设有第二控制阀，补液罐设有第三出液接头，第三出液接头通过第三管路与第一进液接头连通，第三管路设有第三控制阀，第三出液接头通过第四管路与第二进液接头连通，第四管路设有第四控制阀，清洗补液系统能够持续为清洗设备提供清洗液，保证清洗设备能够不断地清洗晶圆，而无需进行人工补液，能够节约人工成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种清洗补液系统。

技术介绍

1、在半导体器件中，对硅片的使用较为严格，硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，会导致各种缺陷。

2、常规的设备清洗系统补液采用的是人工补液方法，补液时需要将整个生产设备停工，然后再人工进行补液。人工补液完成后再启动设备，从而恢复生产。整个清洗补液过程费时费力，浪费人工成本。

技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种清洗补液系统，省时省力，能够降低人工成本。

2、根据本技术的实施例的清洗补液系统，包括第一清洗罐、第二清洗罐及补液罐，所述第一清洗罐设有第一进液接头和第一出液接头，所述第一出液接头连通有第一管路，所述第一管路被配置为与清洗设备相连通，所述第一管路设有第一控制阀，用于控制第一管路的通断；所述第二清洗罐设有第二进液接头和第二出液接头，所述第二出液接头连通有第二管路，所述第二管路被配置为与清洗设备相连通，所述第二管路设有第二控制阀，用于控制第二管路的通断；所述补液罐设有第三出液接头，所述第三出液接头通过第三管路与所述第一进液接头连通，所述第三管路设有第三控制阀，所述第三出液接头通过第四管路与所述第二进液接头连通，所述第四管路设有第四控制阀。

3、根据本技术的实施例的清洗补液系统，至少具有如下有益效果：

4、当第一清洗罐为清洗设备提供清洗液时，第一控制阀打开，第二控制阀、第三控制阀和第四控制阀均关闭；当第一清洗罐内的清洗液用尽时，第一控制阀关闭，第二控制阀打开，第三控制阀打开，第四控制阀关闭，清洗补液系统切换为第二清洗罐为清洗设备提供清洗液，此时，补液罐通过第三管路为第一清洗罐补充清洗液；当第二清洗罐内的清洗液用尽时，补液罐为第一清洗罐补充足够的清洗液，第一控制阀打开，第二控制阀关闭，第三控制阀关闭，第四控制阀关闭，清洗补液系统切换为第一清洗罐为清洗设备提供清洗液，此时，补液罐通过第四管路为第二清洗罐补充清洗液，如此循环，使得清洗补液系统能够持续为清洗设备提供清洗液，保证清洗设备能够不断地清洗晶圆，而无需进行人工补液，省时省力，能够节约人工成本。

5、根据本技术的一些实施例,所述第三出液接头连通有第五管路，所述第三管路和所述第四管路均与所述第五管路连通，所述第五管路设有补液泵，所述补液泵用于将所述补液罐内的清洗液输送至所述第一清洗罐或所述第二清洗罐内。

6、根据本技术的一些实施例,所述补液泵为隔膜泵。

7、根据本技术的一些实施例,所述第五管路通过三通接头分别与所述第三管路和第四管路连通，所述补液泵与所述三通接头之间的所述第五管路设有第五控制阀。

8、根据本技术的一些实施例,所述第一清洗罐设有第一液位检测组件，所述第一液位检测组件用于检测所述第一清洗罐内的液位。

9、根据本技术的一些实施例,所述第二清洗罐设有第二液位检测组件，所述第二液位检测组件用于检测所述第二清洗罐内的液位。

10、根据本技术的一些实施例,所述第一清洗罐设有第一接头，所述第一接头连通有第六管路，所述第六管路设有第一加压阀，所述第一加压阀用于增加所述第一清洗罐内的气体压力。

11、根据本技术的一些实施例,所述第六管路设有第一排气阀，所述第一排气阀用于排出所述第一清洗罐内的氮气。

12、根据本技术的一些实施例,所述第二清洗罐设有第二接头，所述第二接头连通有第七管路，所述第七管路设有第二加压阀，所述第二加压阀用于增加所述第二清洗罐内的气体压力。

13、根据本技术的一些实施例,所述第七管路设有第二排气阀，所述第二排气阀用于排出所述第二清洗罐内的氮气。

14、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。

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【技术保护点】

1.一种清洗补液系统,其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第三出液接头连通有第五管路(350)，所述第三管路(310)和所述第四管路(330)均与所述第五管路(350)连通，所述第五管路(350)设有补液泵(360)，所述补液泵(360)用于将所述补液罐(300)内的清洗液输送至所述第一清洗罐(100)或所述第二清洗罐(200)内。

3.根据权利要求2所述的清洗补液系统，其特征在于，所述补液泵(360)为隔膜泵。

4.根据权利要求2所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第五管路(350)通过三通接头(380)分别与所述第三管路(310)和第四管路(330)连通，所述补液泵(360)与所述三通接头(380)之间的所述第五管路(350)设有第五控制阀(370)。

5.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第一清洗罐(100)设有第一液位检测组件(400)，所述第一液位检测组件(400)用于检测所述第一清洗罐(100)内的液位。

6.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第二清洗罐(200)设有第二液位检测组件(500)，所述第二液位检测组件(500)用于检测所述第二清洗罐(200)内的液位。

7.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第一清洗罐(100)设有第一接头(150)，所述第一接头(150)连通有第六管路(160)，所述第六管路(160)设有第一加压阀(170)，所述第一加压阀(170)用于增加所述第一清洗罐(100)内的气体压力。

8.根据权利要求7所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第六管路(160)设有第一排气阀(180)，所述第一排气阀(180)用于排出所述第一清洗罐(100)内的氮气。

9.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第二清洗罐(200)设有第二接头(250)，所述第二接头(250)连通有第七管路(260)，所述第七管路(260)设有第二加压阀(270)，所述第二加压阀(270)用于增加所述第二清洗罐(200)内的气体压力。

10.根据权利要求9所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第七管路(260)设有第二排气阀(280)，所述第二排气阀(280)用于排出所述第二清洗罐(200)内的氮气。

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【技术特征摘要】

1.一种清洗补液系统,其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第三出液接头连通有第五管路(350)，所述第三管路(310)和所述第四管路(330)均与所述第五管路(350)连通，所述第五管路(350)设有补液泵(360)，所述补液泵(360)用于将所述补液罐(300)内的清洗液输送至所述第一清洗罐(100)或所述第二清洗罐(200)内。

3.根据权利要求2所述的清洗补液系统，其特征在于，所述补液泵(360)为隔膜泵。

4.根据权利要求2所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第五管路(350)通过三通接头(380)分别与所述第三管路(310)和第四管路(330)连通，所述补液泵(360)与所述三通接头(380)之间的所述第五管路(350)设有第五控制阀(370)。

5.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第一清洗罐(100)设有第一液位检测组件(400)，所述第一液位检测组件(400)用于检测所述第一清洗罐(100)内的液位。

6.根据权利要求1所述的清洗补液系统，其特征在于，所述第二清洗罐(200)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈蒙，陈万群，常健伟，成春荣，陈刚，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：