【技术实现步骤摘要】
本申请涉及顶升装置的,尤其涉及一种水平调整顶升装置。
技术介绍
1、水平调整顶升装置在半导体、屏体、产品清洗等领域中,是属于比较常用的一种装置。在半导体、屏体行业中,当产品需要清洗时,需要平台可以倾斜,保证清洗液不会残留在产品上;当产品需要裂片时,需要平台可以倾斜,使产品与主体形成一定角度,以便于裂片成功;当产品搬运时,平台的顶升机构可兼容多种搬运交接方式,便于产品上下料交接;目前常见的平台水平调整装置两种,一种是通过气缸,使平台倾斜满足使用需求,但加工时,无法精确控制平台倾斜的角度。另一种是采用直驱电机,使平台倾斜满足使用需求,但因为对负载惯量有要求,很难兼容其他装置,且成本更高。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于:提供一种水平调整顶升装置,克服了现有技术中无法兼顾产品角度调整精度和机构成本不足的问题。
2、为达上述目的,本申请采用以下技术方案:
3、一方面,提供一种水平调整顶升装置,包括:固定底板;
4、驱动机构,其安装于所述固定底板上;
...【技术保护点】
1.一种水平调整顶升装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的水平调整顶升装置,其特征在于,还包括弹性连接件(9),其连接于所述固定底板(1)和所述转动板(4)之间,且位于远离所述铰接机构(3)的一侧。
3.根据权利要求2所述的水平调整顶升装置,其特征在于,所述弹性连接件(9)至少设置有四个,四个所述弹性连接件(9)倾斜地连接于所述固定底板(1)和所述转动板(4)之间。
4.根据权利要求2所述的水平调整顶升装置,其特征在于,所述弹性连接件(9)为预紧弹簧。
5.根据权利要求1-4任一项所述的水平调整顶升装置,其特
...【技术特征摘要】
1.一种水平调整顶升装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的水平调整顶升装置,其特征在于,还包括弹性连接件(9),其连接于所述固定底板(1)和所述转动板(4)之间,且位于远离所述铰接机构(3)的一侧。
3.根据权利要求2所述的水平调整顶升装置,其特征在于,所述弹性连接件(9)至少设置有四个,四个所述弹性连接件(9)倾斜地连接于所述固定底板(1)和所述转动板(4)之间。
4.根据权利要求2所述的水平调整顶升装置,其特征在于,所述弹性连接件(9)为预紧弹簧。
5.根据权利要求1-4任一项所述的水平调整顶升装置,其特征在于,所述升降机构(8)包括驱动器(801)、两导向组件和联动件(802),所述驱动器(801)安装于所述转动板(4)的底部,且所述驱动器(801)的动力输出端朝下延伸,所述联动件(802)与所述驱动器(801)的动力输出端连接,两所述导向组件分别设置于所述驱动器(801)的两侧,所述导向组件的一端与所述载物机构(7)连接,另一端与所述联动件(802)连接。
6.根据权利要求5所述的水平调整顶升装置,其特征在于,所述导向组件包括导向轴(803)和直线轴承(804),所述直线轴承(804)安装于所述转动板(4)的底部,所述导向轴(803)的一端与所述联动件(80...
【专利技术属性】
技术研发人员:孟祥宽,郭明杰,朱豪豪,
申请(专利权)人:迈为技术珠海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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