一种部件化学清洗支撑治具制造技术

一种部件化学清洗支撑治具，包括承载部件主体、固定螺母和调整高度螺栓，承载部件主体为一端封口的圆环体，承载部件主体的上部对称开设有产品取放口，承载部件主体的外壁均布设置有四个固定螺母，调整高度螺栓螺纹连接在固定螺母上，调整高度螺栓的螺帽与固定螺母间套接有调整高度螺母。本实用新型专利技术可以辅助用于化学清洗支撑治具，将石英罩固定在治具上面，将化学溶液注入部件内部，可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，此治具使用特氟龙材质，可以避免碰伤部件，也可以避免金属污染。也可以避免金属污染。也可以避免金属污染。

【技术实现步骤摘要】
一种部件化学清洗支撑治具


[0001]本技术涉及半导体设备部件清洗领域，尤其涉及一种部件化学清洗支撑治具。

技术介绍

[0002]半导体设备中有一种预清洗机台，机台中的备件石英罩，在清洗过程中需要使用化学清洗工艺，因石英部件在化学清洗后有一定的腐蚀性，为了控制部件的腐蚀损耗，将化学溶剂注入石英罩内进行浸泡清洗，就可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，但需要一种辅助用的化学清洗用支撑治具，用于固定石英罩，从而便于化学清洗作业。

技术实现思路

[0003]本技术为解决上述问题，提供了一种辅助用的化学清洗支撑治具，将石英罩固定在治具上面，便于化学清洗作业，也可以避免碰伤部件，避免金属污染。
[0004]本技术所采取的技术方案：
[0005]一种部件化学清洗支撑治具，包括承载部件主体、固定螺母和调整高度螺栓，承载部件主体为一端封口的圆环体，承载部件主体的上部对称开设有产品取放口，承载部件主体的外壁均布设置有四个固定螺母，调整高度螺栓螺纹连接在固定螺母上，调整高度螺栓的螺帽与固定螺母间套接有调整高度螺母。
[0006]所述的固定螺母通过螺钉连接在承载部件主体上。
[0007]四个所述的调整高度螺栓的长度相同。
[0008]所述的产品取放口为方形凹槽。
[0009]所述的承载部件主体采用特氟龙材质制备。
[0010]本技术的有益效果：本技术可以辅助用于化学清洗支撑治具，将石英罩固定在治具上面，将化学溶液注入部件内部，可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，此治具使用特氟龙材质，可以避免碰伤部件，也可以避免金属污染。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]其中：1
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承载部件主体；2
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固定螺母；3
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调整高度螺栓；4
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调整高度螺母；5
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螺钉；6
‑
产品取放口。
具体实施方式
[0013]一种部件化学清洗支撑治具，包括承载部件主体1、固定螺母2和调整高度螺栓3，承载部件主体1为一端封口的圆环体，承载部件主体1的上部对称开设有产品取放口6，产品取放口6为方形凹槽，便于取放部件，承载部件主体1的外壁均布设置有四个固定螺母2，固定螺母2通过螺钉5连接在承载部件主体1上，每个固定螺母2内连接一个调整高度螺栓3，四
个调整高度螺栓3的长度相同，调整高度螺栓3螺纹连接在固定螺母2上，调整高度螺栓3的螺帽与固定螺母2间套接有调整高度螺母4，石英罩在化学清洗作业前，将其平放在承载部件主体1量身设计的内腔中，固定在承载部件主体1上，保证石英罩在化学清洗过程中不会发生位移，石英罩放置好后，将化学溶液注入部件内部，然后调节承载部件主体1四周的调整高度螺栓3，保证化学溶剂的液位水平，并通过调整高度螺母4锁定调整高度螺栓3的位置，使用此工装，可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，承载部件主体1采用特氟龙材质制备，可以避免碰伤部件，也可以避免金属污染。
[0014]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0015]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0016]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0017]以上对本技术的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种部件化学清洗支撑治具，其特征在于，包括承载部件主体(1)、固定螺母(2)和调整高度螺栓(3)，承载部件主体(1)为一端封口的圆环体，承载部件主体(1)的上部对称开设有产品取放口(6)，承载部件主体(1)的外壁均布设置有四个固定螺母(2)，调整高度螺栓(3)螺纹连接在固定螺母(2)上，调整高度螺栓(3)的螺帽与固定螺母(2)间套接有调...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，郭立伟，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：