一种盆状石英工件用打磨治具制造技术

本实用新型专利技术是一种盆状石英工件用打磨治具，包括装置台，装置台上旋转安装有旋转圆台，旋转圆台底部通过转轴连接有驱动电机，旋转圆台上固定有支撑圆环，装置台上表面在旋转圆台一侧设有

【技术实现步骤摘要】
一种盆状石英工件用打磨治具


[0001]本技术涉及打磨设备的
，尤其涉及一种盆状石英工件用打磨治具
。

技术介绍

[0002]在半导体加工制作领域，盆状石英工件，例如半导体部件
Bell Jar
，
Bell Jar
是使用在半导体预清洗的设备中，
Bell Jar
内部会沉积硅氧化物，需要做喷砂处理，内部需要保持均匀的粗糙度，避免硅氧化物脱落在晶圆表面，影响晶圆的性能
。Bell Jar
在喷砂前需要用砂纸打磨，使粗糙度降低且均匀，现在多采用手动打磨，存在打磨后粗糙度不均匀且费时费力等问题
。

技术实现思路

[0003]本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种盆状石英工件用打磨治具
。
[0004]本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：
[0005]一种盆状石英工件用打磨治具，包括装置台，装置台上旋转安装有旋转圆台，旋转圆台底部通过转轴连接有驱动电机，旋转圆台上固定有支撑圆环，装置台上表面在旋转圆台一侧设有
U
形座，
U
形座两个侧板之间通过第一销轴铰接有支撑座，支撑座上端固定有
“┏”
字形调节架，
“┏”
字形调节架的端部设有两个耳板，两个耳板之间通过第二销轴铰接有转杆，转杆底部中间位置固定有连接杆，连接杆底部固定有橡胶打磨盘，橡胶打磨盘底部粘贴有打磨砂纸，转杆侧壁斜向上固设有把手
。
[0006]支撑圆环顶部设有圆环橡胶垫
。
[0007]本技术的有益效果是：本技术可以实现与盆状石英工件内壁各个位置的贴合紧密，省时省力，安装方便，可反复使用，提高了打磨效率
。
附图说明
[0008]图1为本技术的结构示意图；
[0009]图2为盆状石英工件的示意图；
[0010]图中：1‑
装置台；2‑
旋转圆台；3‑
驱动电机；4‑
支撑圆环；5‑
U
形座；6‑
第一销轴；7‑
支撑座；8‑“┏”
字形调节架；9‑
耳板；
10
‑
第二销轴；
11
‑
转杆；
12
‑
连接杆；
13
‑
橡胶打磨盘；
14
‑
打磨砂纸；
15
‑
把手；
16
‑
圆环橡胶垫；
17
‑
气泡垫；
18
‑
操作杆；
19
‑
套装环；
20
‑
顶紧螺栓；
21
‑
盆状石英工件；
[0011]101
‑
工作台面；
102
‑
倒
T
形支架；
103
‑
支撑柱；
104
‑
支撑底座；
[0012]以下将结合本技术的实施例参照附图进行详细叙述
。
具体实施方式
[0013]以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围
。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述
本技术
。
根据下面说明，本技术的优点和特征将更清楚
。
需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便
、
明晰地辅助说明本技术实施例的目的
。
[0014]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件
。
当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件
。
当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件
。
本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的
。
[0015]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同
。
本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术
。
本文所使用的术语“及
/
或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合
。
[0016]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：
[0017]一种盆状石英工件用打磨治具，如图1所示，包括装置台
1、
旋转圆台
2、
驱动电机
3、
支撑圆环
4、U
形座
5、
第一销轴
6、
支撑座
7、
“┏”
字形调节架
8、
耳板
9、
第二销轴
10、
转杆
11、
连接杆
12、
橡胶打磨盘
13、
打磨砂纸
14、
把手
15、
圆环橡胶垫
16、
气泡垫
17、
操作杆
18、
套装环
19
和顶紧螺栓
20。
[0018]装置台1上旋转安装有旋转圆台2，旋转圆台2底部通过转轴连接有驱动电机3，旋转圆台2上固定有支撑圆环4，装置台1上表面在旋转圆台2一侧设有
U
形座5，
U
形座5两个侧板之间通过第一销轴6铰接有支撑座7，支撑座7上端固定有
“┏”
字形调节架8，
“┏”
字形调节架8的端部设有两个耳板9，两个耳板9之间通过第二销轴
10
铰接有转杆
11
，转杆
11
底部中间位置固定有连接杆
12
，连接杆
12
底部固定有橡胶打磨盘
13
，橡胶打磨盘
13
底部粘贴有打磨砂纸
14
，转杆
11
侧壁斜向上固设有把手
15。
[0019]本技术可以对盆状石英工件
21
内壁进行打磨，盆状石英工件
21
如图2所示，打磨时，先将盆状石英工件
21
放置在支撑圆环4上，为了对盆状石英工件
21
进行更好的保护，可以在支撑圆环4顶部设置圆环橡胶垫
16
，并且在旋转圆台2顶部设置气泡垫
1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种盆状石英工件用打磨治具，其特征在于，包括装置台
(1)
，装置台
(1)
上旋转安装有旋转圆台
(2)
，旋转圆台
(2)
底部通过转轴连接有驱动电机
(3)
，旋转圆台
(2)
上固定有支撑圆环
(4)
，装置台
(1)
上表面在旋转圆台
(2)
一侧设有
U
形座
(5)
，
U
形座
(5)
两个侧板之间通过第一销轴
(6)
铰接有支撑座
(7)
，支撑座
(7)
上端固定有
“┏”
字形调节架
(8)
，
“┏”
字形调节架
(8)
的端部设有两个耳板
(9)
，两个耳板
(9)
之间通过第二销轴
(10)
铰接有转杆
(11)
，转杆
(11)
底部中间位置固定有连接杆
(12)
，连接杆
(12)
底部固定有橡胶打磨盘
(13)
，橡胶打磨盘
(13)
底部粘贴有打磨砂纸
(14)
，转杆
(11)
侧壁斜向上固设有把手
(15)。2.
根据权利要求1所述的一种盆状石英工件用打磨治具，其特征在于，支撑圆环
(4)<...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，赵新，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：