一种多孔部件清洗治具制造技术

一种多孔部件清洗治具，包括治具主体盘、进水口和出水口，治具主体盘的两侧分别连接进水口和出水口，进水口和出水口相互连通，治具主体盘的周边缘上均布开设有装配口，治具主体盘的周边缘内圈开设有环形密封槽，密封槽内配置橡胶密封圈，治具主体盘连接出水口的侧面在密封槽圈内对称连接有两个定位销。本实用新型专利技术将部件固定在治具上面，便于纯水清洗作业，将部件内部清洗干净，从而减少部件腐蚀，也可以降低部件化学品残留，治具采用特氟龙材料，避免碰伤部件，也可以避免金属污染。也可以避免金属污染。也可以避免金属污染。

【技术实现步骤摘要】
一种多孔部件清洗治具


[0001]本技术涉及清洗治具领域，尤其涉及一种多孔部件清洗治具。

技术介绍

[0002]半导体设备中有一种化学气相沉积机台，机台中的配件气体分配盘，结构较为特殊，进气孔只有一个，而出气孔有很多，在清洗过程中需要使用化学清洗工艺，当化学溶剂进入气体分配盘内部后，正常的纯水的直接冲洗不能有效将部件孔内的化学品浸出。

技术实现思路

[0003]本技术为解决上述问题，提供了一种便于纯水清洗作业的多孔部件清洗治具。
[0004]本技术所采取的技术方案：
[0005]一种多孔部件清洗治具，包括治具主体盘、进水口和出水口，治具主体盘的两侧分别连接进水口和出水口，进水口和出水口相互连通，治具主体盘的周边缘上均布开设有装配口，治具主体盘的周边缘内圈开设有环形密封槽，密封槽内配置橡胶密封圈，治具主体盘连接出水口的侧面在密封槽圈内对称连接有两个定位销。
[0006]所述的进水口和出水口位于治具主体盘的中间位置。
[0007]所述的装配口的数量与部件的装配口的位置和数量相匹配。
[0008]所述的装配口的数量为6个。
[0009]两个所述的定位销对称分布在出水口两侧。
[0010]所述的出水口与部件的进气口连接。
[0011]清洗治具采用特氟龙材质制备。
[0012]本技术的有益效果：本技术将部件固定在治具上面，便于纯水清洗作业，将部件内部清洗干净，从而减少部件腐蚀，也可以降低部件化学品残留，治具采用特氟龙材料，避免碰伤部件，也可以避免金属污染。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构示意图。
[0014]其中：1
‑
治具主体盘；2
‑
出水口；3
‑
装配口；4
‑
定位销；5
‑
进水口；6
‑
密封槽。
具体实施方式
[0015]一种多孔部件清洗治具，包括治具主体盘1、进水口5和出水口2，治具主体盘1的两侧分别连接进水口5和出水口2，进水口5和出水口2位于治具主体盘1的中间位置，进水口5和出水口2相互连通，出水口2与部件的进气口连接，治具主体盘1的周边缘上均布开设有装配口3，装配口3的数量与部件的装配口3的位置和数量相匹配，装配口3的数量为6个，治具主体盘1的周边缘内圈开设有环形密封槽6，密封槽6内配置橡胶密封圈，治具主体盘1连接
出水口2的侧面在密封槽6圈内对称连接有两个定位销4，两个定位销4对称分布在出水口2两侧，部件气体分配盘在化学清洗作业后，将该清洗治具装配在气体分配盘背面，清洗治具的出水口2放入部件的进气口内，清洗治具的进水口5接入纯水管路，纯水即可以充满整个气体分配盘中，并从出气孔内流出，该清洗治具使用特氟龙材质，可以避免碰伤部件，也可以避免金属污染，治具主体盘1的边缘还可以设置把手，便于取放部件。
[0016]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0017]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0018]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]以上对本技术的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多孔部件清洗治具，其特征在于，包括治具主体盘(1)、进水口(5)和出水口(2)，治具主体盘(1)的两侧分别连接进水口(5)和出水口(2)，进水口(5)和出水口(2)相互连通，治具主体盘(1)的周边缘上均布开设有装配口(3)，治具主体盘(1)的周边缘内圈开设有环形密封槽(6)，密封槽(6)内配置橡胶密封圈，治具主体盘(1)连接出水口(2)的侧面在密封槽(6)圈内对称连接有两个定位销(4)。2.根据权利要求1所述的多孔部件清洗治具，其特征在于，所述的进...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，张代龙，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：