一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具制造技术

本实用新型专利技术是一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，包括外支撑底箱，外支撑底箱内设有内支撑底箱，内支撑底箱内部从上到下设有若干定位板，定位板中心开设有供加热盘部件底杆穿入的定位孔，内支撑底箱顶部设有环形支撑板，环形支撑板上圆周均布有若干支撑板，支撑板上设有缓冲保护布，环形支撑板上表面外边缘靠近外支撑底箱背板的一侧设有两个弧形导向保护板，外支撑底箱背板上开设有若干透气孔，外支撑底箱顶部设有顶盖，顶盖上对应加热盘部件工作面四个孔洞开设有四个吹扫孔，四个吹扫孔通过连通管道共同连接有吹扫管道，吹扫管道与外部供气装置连接。本实用新型专利技术的治具可自动同时吹扫加热盘部件的孔洞，无需人工操作，省时省力。省时省力。省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具


[0001]本技术涉及吹扫治具的
，尤其涉及一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具。

技术介绍

[0002]加热盘部件在化学气相沉积法(CVD)制成作业过程中会在工作区域沉积一层工艺产物，最后需要对盘体工作区域沉积的工艺产物采用药液浸泡以及喷砂等方法去除。
[0003]但是在去除过程中，盘体工作面的四处陶瓷孔内会残留药液或砂尘。现有的处理方式均是采用人工使用气枪对各孔进行吹扫，易出现吹扫不到位，吹扫时间较短，占用人工等问题。

技术实现思路

[0004]本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具。
[0005]本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：
[0006]一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，包括外支撑底箱，外支撑底箱内部设有内支撑底箱，内支撑底箱内部从上到下设有若干定位板，定位板中心开设有供加热盘部件底杆穿入的定位孔，内支撑底箱顶部设有环形支撑板，环形支撑板上圆周均布有若干支撑板，支撑板上设有缓冲保护布，环形支撑板上表面外边缘靠近外支撑底箱背板的一侧设有两个弧形导向保护板，外支撑底箱背板上开设有若干透气孔，外支撑底箱顶部设有顶盖，顶盖上对应加热盘部件工作面四个孔洞开设有四个吹扫孔，四个吹扫孔通过连通管道共同连接有吹扫管道，吹扫管道与外部供气装置连接。
[0007]支撑板上设有穿接孔，缓冲保护布穿设安装在穿接孔内。
[0008]本技术的有益效果是：本技术的治具可自动同时吹扫加热盘部件的孔洞，无需人工操作，省时省力。
附图说明
[0009]图1为本技术的结构示意图；
[0010]图2为本技术中外支撑底箱内部结构的示意图；
[0011]图3为本技术中顶盖的结构示意图；
[0012]图4为本技术加热盘部件的示意图；
[0013]图中：1
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外支撑底箱；2
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内支撑底箱；3
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定位板；4
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定位孔；5
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环形支撑板；6
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支撑板；7
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弧形导向保护板；8
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透气孔；9
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顶盖；10
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吹扫孔；11
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连通管道；12
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吹扫管道；13
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穿接孔；14
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顶盖把手；15
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卡板；16
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贴合板；17
‑
外底箱把手；18
‑
加热盘部件工作面；19
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加热盘部件底杆；
[0014]以下将结合本技术的实施例参照附图进行详细叙述。
具体实施方式
[0015]以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0016]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0017]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0018]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：
[0019]一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，如图1、图2、图3所示，包括外支撑底箱1、2内支撑底箱、定位板3、定位孔4、环形支撑板5、支撑板6、弧形导向保护板7、透气孔8、顶盖9、吹扫孔10、连通管道11、吹扫管道12、穿接孔13、顶盖把手14、卡板15、贴合板16和外底箱把手17。
[0020]外支撑底箱1内部设有内支撑底箱2，内支撑底箱2内部从上到下设有若干定位板3，定位板3中心开设有供加热盘部件底杆19穿入的定位孔4，内支撑底箱2顶部设有环形支撑板5，环形支撑板5上圆周均布有若干支撑板6，支撑板6上设有缓冲保护布，环形支撑板5上表面外边缘靠近外支撑底箱1背板的一侧设有两个弧形导向保护板7，外支撑底箱1背板上开设有若干透气孔8，外支撑底箱1顶部设有顶盖9，顶盖9上对应加热盘部件工作面18四个孔洞开设有四个吹扫孔10，四个吹扫孔10通过连通管道11共同连接有吹扫管道12，吹扫管道12与外部供气装置连接。
[0021]加热盘部件的结构如图4所示，本技术使用时，将加热盘部件底杆19穿入定位板3中心的定位孔4内部，支撑板6上设有穿接孔13，缓冲保护布穿设安装在穿接孔13内，将缓冲保护布展开并搭在支撑板6上，加热盘部件工作面18架设在支撑板6上，缓冲保护布对加热盘部件工作面18形成保护，弧形导向保护板7对加热盘部件工作面18形成导向及保护作用，安装完毕之后，将顶盖9盖好，四个吹扫孔10对准加热盘部件工作面18四个孔洞，吹扫管道12连接供气装置开始吹扫作业，达到指定时间后取出加热盘部件即可，并定期的对装置进行清理。
[0022]顶盖9上左右两侧设有顶盖把手14。
[0023]外支撑底箱1内部左右两侧设有卡板15，内支撑底箱2设置在两个卡板15之间。这样的设置，可以保证内支撑底箱2的稳定性，也便于取出清理。
[0024]外支撑底箱1四个内壁的两侧均设有贴合板16，贴合板16顶部伸出外支撑底箱1顶面并与顶盖9内壁贴合设置。这样的设置，有效保证了顶盖9准确的盖在外支撑底箱1顶部。
[0025]外支撑底箱1左右侧外壁上均设有外底箱把手17。
[0026]内支撑底箱2左右侧外壁上均设有内底箱把手。
[0027]顶盖把手14为“回”字形结构。
[0028]本技术的外支撑底箱1、内支撑底箱2及顶盖9相关的部件均采用透明的亚克力材质加工，不会损伤部件本身且材质较为坚硬。
[0029]上面结合附图对本技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，包括外支撑底箱(1)，外支撑底箱(1)内部设有内支撑底箱(2)，内支撑底箱(2)内部从上到下设有若干定位板(3)，定位板(3)中心开设有供加热盘部件底杆(19)穿入的定位孔(4)，内支撑底箱(2)顶部设有环形支撑板(5)，环形支撑板(5)上圆周均布有若干支撑板(6)，支撑板(6)上设有缓冲保护布，环形支撑板(5)上表面外边缘靠近外支撑底箱(1)背板的一侧设有两个弧形导向保护板(7)，外支撑底箱(1)背板上开设有若干透气孔(8)，外支撑底箱(1)顶部设有顶盖(9)，顶盖(9)上对应加热盘部件工作面(18)四个孔洞开设有四个吹扫孔(10)，四个吹扫孔(10)通过连通管道(11)共同连接有吹扫管道(12)，吹扫管道(12)与外部供气装置连接。2.根据权利要求1所述的一种采用化学气相沉积法制成的加热盘部件吹扫用治具，其特征在于，支撑板(6)上设有穿接孔(13)，缓冲保护布穿设安装在穿接孔(13)内。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，郭立伟，贺凯，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：