一种加热器部件的喷砂辅助治具制造技术

技术编号:39156064 阅读:30 留言:0更新日期:2023-10-23 15:00
一种加热器部件的喷砂辅助治具,包括部件支撑板和治具底座,治具底座的一端两侧各安装一块连接块,连接块上连接有转轴,部件支撑板的一端通过转轴转动连接在治具底座上,部件支撑板的另一端开设有缺口槽,部件支撑板的两侧边中间通过连接轴转动连接有连接杆,治具底座的两侧边分别固定有支撑板限位块,支撑板限位块上开设有多个限位孔,连接杆的底端通过销轴连接在其中一个限位孔上。本实用新型专利技术可以将部件倾斜放置在其上面,使得圆盘型的喷砂面正好可以对着作业人员,便于喷砂作业,部件支撑板的角度可以通过连接杆调节,调节部件的喷砂角度,保证部件表面喷砂的均匀性,治具为聚氟乙烯板,可以避免碰伤部件,可以避免金属污染。可以避免金属污染。可以避免金属污染。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器部件的喷砂辅助治具


[0001]本技术涉及喷砂作业领域,尤其涉及一种加热器部件的喷砂辅助治具。

技术介绍

[0002]半导体设备中有一种化学气相沉积机台,机台中的备件加热器,结构较为特殊,表面是一种圆盘型结构,背部焊接有较长一段加热柱,喷砂时,部件在喷砂机内不便放置,作业人员不便于喷砂作业。

技术实现思路

[0003]本技术为解决上述问题,提供了一种可以将部件倾斜放置在治具上面的喷砂辅助具,使圆盘型的喷砂面正好对着作业人员。
[0004]本技术所采取的技术方案:
[0005]一种加热器部件的喷砂辅助治具,包括部件支撑板和治具底座,治具底座的一端两侧各安装一块连接块,连接块上连接有转轴,部件支撑板的一端通过转轴转动连接在治具底座上,部件支撑板的另一端开设有缺口槽,部件支撑板的两侧边中间通过连接轴转动连接有连接杆,治具底座的两侧边分别固定有支撑板限位块,支撑板限位块上开设有多个限位孔,连接杆的底端通过销轴连接在其中一个限位孔上。
[0006]所述的缺口槽向部件支撑板的中间部位延伸
[000本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,包括部件支撑板(1)和治具底座(3),治具底座(3)的一端两侧各安装一块连接块(4),连接块(4)上连接有转轴(5),部件支撑板(1)的一端通过转轴(5)转动连接在治具底座(3)上,部件支撑板(1)的另一端开设有缺口槽(2),部件支撑板(1)的两侧边中间通过连接轴(9)转动连接有连接杆(6),治具底座(3)的两侧边分别固定有支撑板限位块(7),支撑板限位块(7)上开设有多个限位孔(8),连接杆(6)的底端通过销轴连接在其中一...

【专利技术属性】
技术研发人员:穆帅帅郭立伟
申请(专利权)人:富乐德科技发展天津有限公司
类型:新型
国别省市:

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