一种加热器部件的喷砂辅助治具制造技术

技术编号:39156064 阅读:9 留言:0更新日期:2023-10-23 15:00
一种加热器部件的喷砂辅助治具,包括部件支撑板和治具底座,治具底座的一端两侧各安装一块连接块,连接块上连接有转轴,部件支撑板的一端通过转轴转动连接在治具底座上,部件支撑板的另一端开设有缺口槽,部件支撑板的两侧边中间通过连接轴转动连接有连接杆,治具底座的两侧边分别固定有支撑板限位块,支撑板限位块上开设有多个限位孔,连接杆的底端通过销轴连接在其中一个限位孔上。本实用新型专利技术可以将部件倾斜放置在其上面,使得圆盘型的喷砂面正好可以对着作业人员,便于喷砂作业,部件支撑板的角度可以通过连接杆调节,调节部件的喷砂角度,保证部件表面喷砂的均匀性,治具为聚氟乙烯板,可以避免碰伤部件,可以避免金属污染。可以避免金属污染。可以避免金属污染。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器部件的喷砂辅助治具


[0001]本技术涉及喷砂作业领域,尤其涉及一种加热器部件的喷砂辅助治具。

技术介绍

[0002]半导体设备中有一种化学气相沉积机台,机台中的备件加热器,结构较为特殊,表面是一种圆盘型结构,背部焊接有较长一段加热柱,喷砂时,部件在喷砂机内不便放置,作业人员不便于喷砂作业。

技术实现思路

[0003]本技术为解决上述问题,提供了一种可以将部件倾斜放置在治具上面的喷砂辅助具,使圆盘型的喷砂面正好对着作业人员。
[0004]本技术所采取的技术方案:
[0005]一种加热器部件的喷砂辅助治具,包括部件支撑板和治具底座,治具底座的一端两侧各安装一块连接块,连接块上连接有转轴,部件支撑板的一端通过转轴转动连接在治具底座上,部件支撑板的另一端开设有缺口槽,部件支撑板的两侧边中间通过连接轴转动连接有连接杆,治具底座的两侧边分别固定有支撑板限位块,支撑板限位块上开设有多个限位孔,连接杆的底端通过销轴连接在其中一个限位孔上。
[0006]所述的缺口槽向部件支撑板的中间部位延伸。
[0007]所述的部件支撑板和治具底座为聚氟乙烯板。
[0008]所述的支撑板限位块上开设有3个限位孔。
[0009]所述的连接杆底端的销轴可拆卸连接。
[0010]本技术的有益效果:本技术可以将部件倾斜放置在其上面,使得圆盘型的喷砂面正好可以对着作业人员,便于喷砂作业,部件支撑板的角度可以通过连接杆调节,调节部件的喷砂角度,保证部件表面喷砂的均匀性,治具为聚氟乙烯板,可以避免碰伤部件,可以避免金属污染。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]其中:1

部件支撑板;2

缺口槽;3

治具底座;4

连接块;5

转轴;6

连接杆;7

支撑板限位块;8

限位孔;9

连接轴。
具体实施方式
[0013]一种加热器部件的喷砂辅助治具,包括部件支撑板1和治具底座3,治具底座3的一端两侧各安装一块连接块4,连接块4上连接有转轴5,部件支撑板1的一端通过转轴5转动连接在治具底座3上,部件支撑板1的另一端开设有缺口槽2,缺口槽2向部件支撑板1的中间部位延伸,便于将部件背部的加热柱放入缺口槽2内,部件支撑板1的两侧边中间通过连接轴9
转动连接有连接杆6,治具底座3的两侧边分别固定有支撑板限位块7,支撑板限位块7上开设有3个限位孔8,连接杆6的底端通过销轴连接在其中一个限位孔8上,连接杆6底端的销轴可拆卸连接,部件支撑板1的支撑角度可以通过连接杆6连接不同位置的限位孔8进行调节,进而调节部件的喷砂角度,保证部件表面喷砂的均匀性,喷砂时,加热器部件反向放置在治具上,使得圆盘形的喷砂面正好对着作业人员,便于喷砂作业,部件支撑板1和治具底座3为聚氟乙烯板,可以避免碰伤部件,也可以避免金属污染。
[0014]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0015]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
[0016]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0017]以上对本技术的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本技术的较佳实施例,不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,包括部件支撑板(1)和治具底座(3),治具底座(3)的一端两侧各安装一块连接块(4),连接块(4)上连接有转轴(5),部件支撑板(1)的一端通过转轴(5)转动连接在治具底座(3)上,部件支撑板(1)的另一端开设有缺口槽(2),部件支撑板(1)的两侧边中间通过连接轴(9)转动连接有连接杆(6),治具底座(3)的两侧边分别固定有支撑板限位块(7),支撑板限位块(7)上开设有多个限位孔(8),连接杆(6)的底端通过销轴连接在其中一...

【专利技术属性】
技术研发人员:穆帅帅郭立伟
申请(专利权)人:富乐德科技发展天津有限公司
类型:新型
国别省市:

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