一种引线键合检测机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种引线键合检测机，包括有机架以及安装于机架上的传感器机构和夹具机构，引线键合放置在夹具机构上，传感器机构对引线键合进行扫描，传感器机构包括有支架、横向驱动组件、纵向驱动组件和测量仪，横向驱动组件安装于支架上，横向驱动组件驱动纵向驱动组件横向移动，纵向驱动组件驱动测量仪移动，横向驱动组件和纵向驱动组件结构相同，测量仪为白光干涉同轴3D位移测量仪。上述引线键合检测机，能够通过白光干涉同轴3D位移测量仪，扫描形成的图像通过测量软件对引线键合进行检测，从而可以高速测量线径细至25微米的引线键合加工后的引线高度和位置度，以实现高精度测量，提高检测效率。提高检测效率。提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种引线键合检测机


[0001]本技术涉及微电子封装质量检测
，尤其是涉及一种引线键合检测机。

技术介绍

[0002]超声引线键合是IC芯片互连中最重要的技术之一；提供芯片与基板间引脚的互连；它是指在常温环境下，通过压电换能器产生的超声振动和键合工具压力的作用，将引线(金丝或铝丝)键合到芯片底端焊盘上，从而将芯片与基板的电路连接在一起的技术。键合点质量的好坏将直接影响IC芯片的性能，一个微小的键合点故障将可能导致整个IC芯片失效。超声引线键合过程中由于扯线过猛、线夹故障等原因导致引线断折的检测。因此，为保证键合点质量，必须对键合质量进行检测。目前键合质量检测主要通过高倍显微镜，以肉眼观察引线是否断线，存在的问题是需要大量人力对工作过程进行检查，且只能固定时间间隔抽样检查，发现故障不及时，且浪费大量人力，成本高。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种引线键合检测机，以解决上述技术问题，能够扫描形成图像利用软件对引线键合进行检测。
[0004]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种引线键合检测机，包括有机架以及安装于所述机架上的传感器机构和夹具机构，引线键合放置在所述夹具机构上，所述传感器机构对引线键合进行扫描，所述传感器机构包括有支架、横向驱动组件、纵向驱动组件和测量仪，所述横向驱动组件安装于所述支架上，所述横向驱动组件驱动所述纵向驱动组件横向移动，所述纵向驱动组件驱动所述测量仪移动，所述横向驱动组件和所述纵向驱动组件结构相同，所述测量仪为白光干涉同轴3D位移测量仪。
[0006]作为一种优选的技术方案，所述夹具机构包括有夹具驱动组件、夹具固定组件和夹具结构，所述夹具驱动组件驱动所述夹具固定组件移动，所述夹具结构安装于所述夹具固定组件上。
[0007]作为一种优选的技术方案，所述夹具固定组件包括有固定基板、压紧结构和抵接结构，所述抵接结构安装于所述固定基板的两侧，所述固定基板上设置有可供所述夹具结构滑动的导槽，所述导槽安装于所述固定基板的一端，所述压紧结构安装于所述固定基板的另一端。
[0008]作为一种优选的技术方案，所述压紧结构包括有压紧气缸和压紧块，所述压紧气缸驱动所述压紧块移动。
[0009]作为一种优选的技术方案，所述抵接结构包括有安装座、第一连杆、第二连杆、操作杆和抵接块，所述第一连杆和所述第二连杆分别铰接设置于所述安装座上，所述操作杆分别与所述第一连杆和所述第二连杆铰接设置，所述抵接块安装于所述第二连杆上。
[0010]作为一种优选的技术方案，所述夹具结构包括有夹具和夹具底板，所述夹具固设于所述夹具底板的上端，引线键合放置于所述夹具中。
[0011]作为一种优选的技术方案，所述夹具底板上设置有垫块，所述垫块设置于所述夹具底板的一侧。
[0012]作为一种优选的技术方案，所述夹具机构还包括有导向板，所述导向板与所述固定基板对齐。
[0013]作为一种优选的技术方案，所述横向驱动组件包括有驱动底座、电机、连接结构、丝杆、连接块、导轨、滑块和螺母，所述导轨和所述丝杆安装于所述驱动底座上，所述电机通过所述连接结构与所述丝杆连接，所述螺母与所述丝杆啮合，所述滑块沿所述导轨移动，所述连接块与所述滑块和所述螺母固设。
[0014]本技术的有益效果在于：上述引线键合检测机，能够通过白光干涉同轴3D位移测量仪，扫描形成的图像通过测量软件对引线键合进行检测，从而可以高速测量线径细至25微米的引线键合加工后的引线高度和位置度，以实现高精度测量，提高检测效率。
附图说明
[0015]图1为本技术涉及的引线键合检测机的结构示意图；
[0016]图2为本技术涉及的横向驱动组组件的结构示意图；
[0017]图3为本技术涉及的夹具固定组件和夹具结构的结构示意图。
具体实施方式
[0018]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]如图1所示，一种引线键合检测机，包括有机架1以及安装于机架1上的传感器机构2和夹具机构3，引线键合放置在夹具机构3上，传感器机构2对引线键合进行扫描，扫描形成的图像通过测量软件对引线键合进行检测，可以对键合点形状、位置、根部变形等情况进行分析，从而实现对键合质量的检测。
[0020]请结合图1和图2所示，传感器机构2包括有支架21、横向驱动组件22、纵向驱动组件23和测量仪24，横向驱动组件22安装于支架21上，横向驱动组件22驱动纵向驱动组件23横向移动，从而实现带动测量仪24横向移动，纵向驱动组件24驱动测量仪24移动，从而实现带动测量仪24纵向移动，横向驱动组件22和纵向驱动组件23的结构相同，测量仪24为白光干涉同轴3D位移测量仪，型号为WI
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001，从而可以高速测量线径细至25微米的引线键合加工后的引线高度和位置度，以实现高精度测量。横向驱动组件22包括有驱动底座221、电机222、连接结构223、丝杆224、连接块226、导轨225、滑块(图中未显示)和螺母(图中未显示)，导轨225和丝杆224安装于驱动底座221上，电机222通过连接结构223与丝杆224连接，螺母与丝杆224啮合，滑块沿导轨225移动，连接块226与滑块和螺母固设，连接块226与纵向驱动组件23连接，电机222通过连接结构223驱动丝杆224旋转，带动螺母移动，以带动连接块226沿导轨225移动，从而实现带动纵向驱动组件23横向移动。
[0021]请结合图1和图3所示，夹具机构3包括有夹具驱动组件32、夹具固定组件31、夹具
结构33和导向板34，夹具驱动组件32驱动夹具固定组件31移动，夹具结构33安装于夹具固定组件31上，夹具驱动组件32的结构与横向驱动组件22的结构相同，夹具固定组件31包括有固定基板311、压紧结构312和抵接结构313，抵接结构313安装于固定基板311的两侧，固定基板311上设置有可供夹具结构33滑动的导槽314，导槽314安装于固定基板311的一端，压紧结构312安装于固定基板311的另一端，所述导向板34与所述固定基板311对齐，压紧结构312包括有压紧气缸315和压紧块316，压紧气缸315驱动压紧块316移动。抵接结构314包括有安装座317、第一连杆319、第二连杆3110、操作杆318和抵接块3111，第一连杆319和第二连杆3110分别铰接设置于安装座317上，操作杆318分别与第一连杆319和第二连杆3110铰接设置，抵接块3111安装于第二连杆3110上。夹具结构33包括有夹具332和夹具底板331，夹具332固设于夹具底板331的上端，引线键合放置于夹具332中，夹具底板331上设置有垫块333，垫块333设置于夹具底板331的一侧。当需要放置引线键合时，将夹具结构33取出放置在导向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种引线键合检测机，其特征在于，包括有机架以及安装于所述机架上的传感器机构和夹具机构，引线键合放置在所述夹具机构上，所述传感器机构对引线键合进行扫描，所述传感器机构包括有支架、横向驱动组件、纵向驱动组件和测量仪，所述横向驱动组件安装于所述支架上，所述横向驱动组件驱动所述纵向驱动组件横向移动，所述纵向驱动组件驱动所述测量仪移动，所述横向驱动组件和所述纵向驱动组件结构相同，所述测量仪为白光干涉同轴3D位移测量仪。2.根据权利要求1所述的引线键合检测机，其特征在于，所述夹具机构包括有夹具驱动组件、夹具固定组件和夹具结构，所述夹具驱动组件驱动所述夹具固定组件移动，所述夹具结构安装于所述夹具固定组件上。3.根据权利要求2所述的引线键合检测机，其特征在于，所述夹具固定组件包括有固定基板、压紧结构和抵接结构，所述抵接结构安装于所述固定基板的两侧，所述固定基板上设置有可供所述夹具结构滑动的导槽，所述导槽安装于所述固定基板的一端，所述压紧结构安装于所述固定基板的另一端。4.根据权利要求3所述的引线键合检测机，其特征在于，所述压紧结构包括有压紧气缸和压紧块，所述压紧气缸驱动所述压...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄明星，
申请(专利权)人：东莞市亮宇自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：