一种硅片清洗槽及具有该清洗槽的清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体清洗设备技术领域，具体是涉及一种硅片清洗槽及具有该清洗槽的清洗设备，清洗槽包括槽体，槽体内设置有滑轨

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗槽及具有该清洗槽的清洗设备


[0001]本专利技术涉及半导体清洗设备
，具体是涉及一种硅片清洗槽及具有该清洗槽的清洗设备
。

技术介绍

[0002]晶圆生产过程中需要清洗，常用的一种清洗方法是将晶圆固定于清洗槽内，清洗液喷向晶圆，清洗液的喷洒装置不断运动以全面清洗晶圆，这种装置虽然能够清洗晶圆，但晶圆无法转动，无法保证清洗均匀；同时喷淋水直接喷向晶圆，水压过大容易使晶圆损坏
。
[0003]CN103151291B
公开了一种晶圆夹持旋转装置，包括用于固定晶圆的下基板，且下基为能转动地设置；夹持夹子上设置有向基板中心延伸的钩体，钩体位于下基板的下方，夹持夹子受驱动朝向下基板运动和远离下基板运动，此专利虽然能在夹持晶圆的同时对其进行旋转，提升晶圆的清洗效果，但是在拆装晶圆时较为繁琐，增加工作人员的负担，且每次只能对一个晶圆进行清洗，效率较低；
CN102513302B
公开了一种喷淋清洗槽，包括槽体，槽体内设置有容腔
、
第一支架
、
夹具和喷淋管，第一支架可移动地设置于容腔内，夹具可转动地设置于第一支架上，喷淋管设置有朝向待洗工件的喷液口；此专利也能实现对于晶圆的夹持和旋转，其虽然能带动两个晶圆清洗，但是清洗的效率依然较低；上述两个专利还具有在对晶圆喷淋时只能对于晶圆的其中一面进行清洗的问题，在晶圆的一侧清洗完成后才能对于晶圆的另外一面进行清洗，使得晶圆清洗的效率更加的低下
。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，提供一种硅片清洗槽及具有该清洗槽的清洗设备，通过驱动组件带动其活动端滑动，活动端带动剪叉架，通过剪叉架带动夹具在滑轨上被等间距展开，同时夹具在转向机构的作用下自转，使得硅片的轴线方向与滑轨的延伸方向为相互平行的状态，通过摆动组件带动喷淋组件进行往复摆动，使得喷淋组件能同时对于多个硅片进行同步的清洗，提高对于硅片的清洁效率；通过夹具上的传动组件和两组呈镜像对称状态的喷淋组件，使得硅片在旋转的同时其两面能同时被清洁，进一步的提高对于硅片清洗的效率，减少硅片清洗的时间
。
[0005]为解决现有技术问题，一种硅片清洗槽，包括槽体，槽体内设置有滑轨
、
剪叉架
、
驱动组件
、
转向机构
、
两个喷淋组件和多个夹具；滑轨横跨于槽体的中央，且滑轨沿槽体的长度方向延伸，剪叉架安装于滑轨上；驱动组件位于滑轨的下方，驱动组件上设置有与滑轨固定连接的固定端和能沿滑轨滑动的活动端，剪叉架的其中一端与固定端铰接，剪叉架的另外一端与活动端铰接；多个夹具等间距的安装于剪叉架上，所有夹具上均设置有带动硅片转动的传动组件；转向机构位于滑轨的上方，转向机构用于同步带动所有夹具在随剪叉架移动的过
程中转动；两个喷淋组件呈镜像状态分别位于滑轨的两侧，两个喷淋组件的下方均设置有用于带动喷淋组件往复摆动的摆动组件
。
[0006]优选的，夹具由两个半圆弧形的安装条组成，两个安装条之间留有与硅片相互匹配的间隙，两个安装条之间设置有多个能转动的辊轴，辊轴等距的沿安装条的弧形布置，两个安装条的顶部均设置有限位板，两个限位板呈中心对称设置
。
[0007]优选的，所有传动组件均包括驱动辊
、
传动辊和转换辊，驱动辊和传动辊均呈水平状态分别位于夹具的两个限位板上，转换辊呈水平状态位于夹具的底部中央，驱动辊
、
传动辊和转换辊的轴线方向均与硅片的轴线方向相互平行，驱动辊与转换辊之间设置有第一同步带，传动辊与转换辊之间设置有第二同步带
。
[0008]优选的，驱动辊的旁侧设置有与其轴线方向相互垂直的动力辊，驱动辊和动力辊均设置有第一锥齿轮，且两个第一锥齿轮啮合连接，传动辊上设置有第二锥齿轮，当相邻的两个夹具上的限位板抵接时，第二锥齿轮与动力辊上的第一锥齿轮啮合连接，所有夹具中靠近驱动组件一侧的夹具上设置有能带动其传动辊转动的第一旋转驱动电机
。
[0009]优选的，转向机构包括齿条和多个第一齿轮，第一齿轮的数量与夹具的数量相同且一一对应，多个第一齿轮分别套设于夹具的下方，齿条呈水平状态位于滑轨上，且所有第一齿轮均与齿条啮合连接
。
[0010]优选的，驱动组件包括第二旋转驱动电机
、
丝杆和安装板，安装板固定连接于滑轨的下方，丝杆能转动的设置于安装板和槽体的内壁之间，丝杆的轴线与滑轨的延伸方向平行，第二旋转驱动电机固定连接于槽体的外壁上，丝杆与第二旋转驱动电机的输出轴传动连接，活动端套设于丝杆上且与其螺纹配合
。
[0011]优选的，摆动机构包括摆动架，摆动架的两端均设置有支撑轴，摆动架能转动的设置于槽体内，摆动架上设置有多个安装头，喷淋组件上设置有与外管水源连接的管道和与安装头的数量相同且一一对应的喷淋管，管道呈水平状态位于槽体内，多个喷淋管的其中一端与管道连通，多个喷淋管的另外一端与安装头连接，所有喷淋管均为能伸缩的结构
。
[0012]优选的，摆动架的端部的下方均设置有轨道，摆动架的支撑轴的下方均设置有与其轴线相互平行的驱动轴，驱动轴上设置有传动杆，传动杆上远离驱动轴的一端设置有滑轮，滑轮与轨道滑动配合
。
[0013]优选的，轨道具有两个，两个轨道分别位于摆动架的两端上，驱动轴也具有两个，两个驱动轴分别位于摆动架的两个支撑轴的下方，两个驱动轴均设置有传动杆，两个传动杆上的滑轮之间还设置有连接轴
。
[0014]本专利技术还提供了一种硅片清洗设备，包括以上所述的一种硅片清洗槽
。
[0015]本专利技术相比较于现有技术的有益效果是：
1.
本专利技术通过驱动组件带动其活动端滑动，活动端带动剪叉架，通过剪叉架带动夹具在滑轨上被等间距展开，同时夹具在转向机构的作用下自转，使得硅片的轴线方向与滑轨的延伸方向为相互平行的状态，通过摆动组件带动喷淋组件进行往复摆动，使得喷淋组件能更好的清洁硅片；通过夹具
、
剪叉架
、
驱动组件和滑轨的设置，使得清洗槽内能同时对于多个硅片进行同步的清洗，提高对于硅片的清洁效率；通过夹具上的传动组件和两组呈镜像对称状态的喷淋组件，使得硅片在旋转的同时其两面能同时被清洁，进一步的提高
对于硅片清洗的效率，减少硅片清洗的时间
。
[0016]2.
本专利技术通过连接轴同步带动两个滑轮，通过滑轮带动两个连接杆，传动杆带动摆动架的同时还能对于槽体内的清洁液进行搅动，使得在硅片进行浸泡时，能提高槽体内清洁液的快速混合，提高对于硅片的清洁效果
。
附图说明
[0017]图1是一种硅片清洗槽的立体结构示意图
。
[0018]图2是一种硅片清洗槽的顶视图
。
[0019]图3是一种硅片清洗槽的内部的立体结构示意图
。
[0020]图4是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片清洗槽，包括槽体（1），其特征在于，槽体（1）内设置有滑轨（
11
）
、
剪叉架（
13
）
、
驱动组件（
14
）
、
转向机构（
12
）
、
两个喷淋组件（3）和多个夹具（2）；滑轨（
11
）横跨于槽体（1）的中央，且滑轨（
11
）沿槽体（1）的长度方向延伸，剪叉架（
13
）安装于滑轨（
11
）上；驱动组件（
14
）位于滑轨（
11
）的下方，驱动组件（
14
）上设置有与滑轨（
11
）固定连接的固定端（
141
）和能沿滑轨（
11
）滑动的活动端（
142
），剪叉架（
13
）的其中一端与固定端（
141
）铰接，剪叉架（
13
）的另外一端与活动端（
142
）铰接；多个夹具（2）等间距的安装于剪叉架（
13
）上，所有夹具（2）上均设置有带动硅片转动的传动组件（
22
）；转向机构（
12
）位于滑轨（
11
）的上方，转向机构（
12
）用于同步带动所有夹具（2）在随剪叉架（
13
）移动的过程中转动；两个喷淋组件（3）呈镜像状态分别位于滑轨（
11
）的两侧，两个喷淋组件（3）的下方均设置有用于带动喷淋组件（3）往复摆动的摆动组件（
32
）
。2.
根据权利要求1所述的一种硅片清洗槽，其特征在于，夹具（2）由两个半圆弧形的安装条（
21
）组成，两个安装条（
21
）之间留有与硅片相互匹配的间隙，两个安装条（
21
）之间设置有多个能转动的辊轴（
211
），辊轴（
211
）等距的沿安装条（
21
）的弧形布置，两个安装条（
21
）的顶部均设置有限位板（
212
），两个限位板（
212
）呈中心对称设置
。3.
根据权利要求2所述的一种硅片清洗槽，其特征在于，所有传动组件（
22
）均包括驱动辊（
221
）
、
传动辊（
222
）和转换辊（
223
），驱动辊（
221
）和传动辊（
222
）均呈水平状态分别位于夹具（2）的两个限位板（
212
）上，转换辊（
223
）呈水平状态位于夹具（2）的底部中央，驱动辊（
221
）
、
传动辊（
222
）和转换辊（
223
）的轴线方向均与硅片的轴线方向相互平行，驱动辊（
221
）与转换辊（
223
）之间设置有第一同步带（
2211
），传动辊（
222
）与转换辊（
223
）之间设置有第二同步带（
2221
）
。4.
根据权利要求3所述的一种硅片清洗槽，其特征在于，驱动辊（
221
）的旁侧设置有与其轴线方向相互垂直的动力辊（
224
），驱动辊（
221
）和动力辊（
224
）均设置有第一锥齿轮（
2212
），且两个第一锥齿轮（
2212
）啮合连接，传动辊（
222
）上设置有第二锥齿轮（
2222
），当相邻的两个夹具（2）上的限位板（
212
）抵接时，第二锥齿轮（
2222
）与动力辊（
224
）上的第一锥齿轮（
2212
）啮合连接，所有夹具（2）中靠近驱动组件（
14

【专利技术属性】
技术研发人员：曾献金，
申请(专利权)人：恒超源洗净科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：