一种快速高效型晶圆清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种快速高效型晶圆清洗装置，涉及到晶圆清洗技术领域，包括清洗桶，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，所述动力缸的输出端贯彻所述安装架与调速电机固定连接，所述调速电机的输出轴与安装柱的上端固定连接，所述安装柱上设有承载晶圆的承载单元。本发明专利技术结构合理，控制调速电机进行低速转动，有利于提高清洗液对晶圆表面杂质溶解效率同时通过水流冲刷的作用便于杂质的脱落，同时调速电机正反交替旋转，使得液体通过惯性的作用与晶圆的表面形成冲击，同时也使得因惯性运动的气泡集中与晶圆受冲击的面接触并发生爆炸，有利于顽固杂质的脱落，配合超声波清洗，可大大缩短了清洗液的处理时间。理时间。理时间。

【技术实现步骤摘要】
一种快速高效型晶圆清洗装置


[0001]本专利技术涉及晶圆清洗
，特别涉及一种快速高效型晶圆清洗装置。

技术介绍

[0002]在半导体工艺中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一。
[0003]在常用的半导体工艺中，例如：沉积、等离子体刻蚀、旋涂光刻胶、光刻、电镀等等，都有可能会在晶圆表面引入污染和/或颗粒，导致晶圆表面的清洁度下降，使得制造的半导体器件良率低。
[0004]现有的利用超声清洗装置对晶圆进行清洗后，需要将清洗后的晶圆进行静置一会，使得晶圆上的清洗液回流到清洗桶中（其目的是为了避免在转移晶圆时，其上沾有的清洗液滴落的到处都是，清洗液具有一定的腐蚀作用，滴落到其他设备上时容易对设备造成一定的腐蚀），其清洗液回流等待时间过长，严重影响工作效率，且现有的超声清洗装置清洗效率低下，因此，本申请提供了一种快速高效型晶圆清洗装置来满足需求。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种快速高效型晶圆清洗装置，控制调速电机进行低速转动，承载单元在清洗液中内低速旋转，可加快晶圆侧面的液体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速高效型晶圆清洗装置，包括底部带有超声波装置的清洗桶（1），其特征在于：所述清洗桶（1）上固定连接有安装架（2），且所述安装架（2）上固定连接有动力缸（3），所述动力缸（3）的输出端贯彻所述安装架（2）与调速电机（12）固定连接，所述调速电机（12）的输出轴通过联轴器与安装柱（4）的上端固定连接，所述安装柱（4）上呈圆周固定连接有若干个用于承载晶圆的承载单元（5）；所述承载单元（5）包括与所述安装柱（4）固定连接的若干个回形杆（51），若干个回形杆（51）通过四角分布的四个立柱（54）固定在一起，最下方所述回形杆（51）的回形腔内固定连接有若干个纵向支撑杆（52），其余所述回形杆（51）的回形腔内均等间距固定连接有若干个横向限位杆（53）。2.根据权利要求1所述的一种快速高效型晶圆清洗装置，其特征在于：所述安装柱（4）下端固定连接有用于保持所述安装柱（4）稳定旋转的稳定单元（8），所述稳定单元（8）包括与所述清洗桶（1）内径大小相适配的安装环（81），所述安装环（81）的外壁上呈圆周活动安装有若干个万向滚珠（82），且若干个所述万向滚珠（82）的外端与所述清洗桶（1）的内壁贴合，所述安装环（81）通过若干个连接杆（84）与限位块（83）固定连接，所述限位块（83）设置在所述安装环（81）的轴心处，所述限位块（83）的上端与所述安装柱（4）下端设有的插接槽插接，并通过第一螺栓与所述安装柱（4）固定连接。3.根据权利要求1或2所述的一种快速高效型晶圆清洗装置，其特征在于：若干个所述回形杆（51）靠近所述安装柱（4）的一端固定连接有套环（9），且所述套环（9）...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘志金，胡文星，王俊豪，金海生，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：