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本发明公开了一种快速高效型晶圆清洗装置，涉及到晶圆清洗技术领域，包括清洗桶，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，所述动力缸的输出端贯彻所述安装架与调速电机固定连接，所述调速电机的输出轴与安装柱的上端固定连接，所述安...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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