精准定位溅镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种精准定位溅镀装置，所述精准定位溅镀装置包括有定位夹具，该定位夹具具有与溅镀转盘的定位轴芯匹配的中心孔，定位夹具同轴地装配于连接环上，移动连接环与定位夹具使所述定位夹具的中心孔套于所述溅镀转盘的轴芯上，将连接环固定在精准定位溅镀装置的主体盖板上，精准快速地实现内设有靶材的阴极与承载在溅镀转盘上的待镀光盘之间的定位，提高装配速度。通过所述定位夹具使连接环与定位轴芯保持同心，保障光盘和阴极都处在预期的合适的位置，从而保证溅镀层的溅镀效果，特别是保证溅镀层不偏心，提高光盘成品率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种改进光盘生产线的装置，更具体地涉及一种精准定位溅镀装置。
技术介绍
光存储媒介从CD到DVD，现在发展到BD蓝光光盘，为了增加存储的信息容量，就要 不断减小信息记录符的尺寸，这就要求所使用的读取和记录光波的波长必须逐渐缩短，而 读取物镜的数值孔径(NA)值不断加大，所以光存储媒介(光盘)使用的波长从CD的780nm 到DVD的650nm，发展到BD蓝光光盘则采用了波长为405nm的蓝色激光，而物镜的数值孔径 NA值从⑶的0. 45到DVD的0. 6，到BD蓝光光盘物镜则达到了 0. 85的NA值。从上述光存储媒介我们可以看到随着光存储媒介信息容量的不断扩大，其生产光 存储媒介的生产技术也蓬勃发展，以生产BD50的光盘生产系统和DVD9的光盘生产系统为 例，生产BD50光盘系统由注塑机注塑出1. Imm厚的基片经冷却皮带冷却后，进行全反射层 溅镀，然后旋涂23um的space layer的胶水层，UV固化，然后旋涂2um的胶水复制层，进入 压模装置，复制信息层，然后进行半反射层溅镀，然后旋涂75um的cover layer, UV固化， 然后旋涂2um的hardcoat本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种精准定位溅镀装置，包括主体、主体盖板、溅镀转盘、阴极、连接环、机械手、转盘驱动机构，所述主体开设有空腔，所述空腔包括相互连通的溅镀腔及输送腔，所述主体盖板固定在所述主体上并开设有分别与所述溅镀腔及输送腔对应连通的输送敞口及溅镀敞口，所述转盘驱动机构安装在所述主体上并与所述溅镀转盘连接，所述溅镀转盘开设有与光盘相匹配的承载腔，所述溅镀转盘中心处设有伸入所述承载腔用于固定光盘的定位轴芯，所述机械手设置于所述输送腔正上方，所述连接环与所述主体盖板连接并收容于所述主体盖板的溅镀敞口内，所述阴极安装于所述连接环上，所述阴极内设置有溅镀用靶材，所述机械手对位于所述输送腔内的溅镀转盘放置或取走光盘，放置...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，朱富强，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]