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本实用新型公开了一种精准定位溅镀装置，所述精准定位溅镀装置包括有定位夹具，该定位夹具具有与溅镀转盘的定位轴芯匹配的中心孔，定位夹具同轴地装配于连接环上，移动连接环与定位夹具使所述定位夹具的中心孔套于所述溅镀转盘的轴芯上，将连接环固定在精准定...
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