感光性组合物、滤光器、图像显示装置、及固体摄像元件制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种感光性组合物、滤光器、图像显示装置、及固体摄像元件，其中感光性组合物抑制显影后的被膜的水渍，残膜率良好且可形成优异的图案。本发明专利技术是一种感光性组合物，包含：碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、及光聚合引发剂(C)，所述光聚合引发剂(C)包含下述通式(1)所表示的肟系光聚合引发剂(C1)、及肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)。通式(1)通式(1)通式(1)

【技术实现步骤摘要】
感光性组合物、滤光器、图像显示装置、及固体摄像元件


[0001]本专利技术涉及一种感光性组合物、使用所述感光性组合物的滤光器、图像显示装置、及固体摄像元件。

技术介绍

[0002]图像显示装置或固体摄像元件等中使用的滤光器的一种滤色器是在玻璃基板等透明的基板上，将色相不同的两种以上的微细的带状的滤光段(filter segment)以彼此平行(呈条纹(stripe)状)或交叉的方式进行配置。或者将色相不同的两种以上的微细的滤光段以在纵向及横向的各方向上依序排列的方式进行配置。所述滤光段具有数微米～数百微米的小的尺寸，且针对每一色相以规定的排列整齐地配置。
[0003]目前，作为滤色器的制造方法，通过以下工序获得第一颜色的滤光段图案：将感光性组合物涂布于玻璃等透明基板，并通过干燥而从所述涂膜去除溶剂的工序；介隔具有所期望的图案形状的光掩模对所述涂膜照射放射线而使其硬化(以下称为曝光)的工序；继而，对所述涂膜的未曝光部进行清洗、去除(以下称为显影)的工序；其后，视需要为了使硬化膜充分硬化而进行加热处理(以下称为后烘烤)的工序。而且，通过进行与此同样的操作而形成其他颜色的滤光段图案，从而完成滤色器。
[0004]所述显影工序使用碱性的显影液来作为显影液，并对未曝光部分进行清洗、去除。此时，存在已曝光的部分缺失或剥落，使得图案形状产生缺陷的问题。另外，还存在当涂膜暴露于碱性的显影液时，产生涂膜变色的现象(以下称为水渍)的问题。因此，需要一种在显影工序中不产生图案形状的不良与水渍的感光性组合物。进而，还存在当显影工序或后烘烤工序时，由于未反应物等溶出或气化而涂膜的膜厚发生变化(以下称为残膜率)的问题。
[0005]作为改善水渍的措施，在专利文献1中公开了包含特定结构的氟系表面活性剂的抗蚀剂组合物。另外，作为改善显影时的图案缺损的措施，在专利文献2中公开了包含具有环氧烷结构的聚合性化合物的着色组合物。另外，作为改善包含高浓度的着色剂时的图案形成性的措施，在专利文献3中公开了包含多官能硫醇化合物及苯乙酮化合物的着色感光性树脂组合物。
[0006][现有技术文献][0007][专利文献][0008][专利文献1]日本专利特开2016
‑
102212号公报
[0009][专利文献2]日本专利特开2014
‑
142582号公报
[0010][专利文献3]日本专利特开2004
‑
83857号公报

技术实现思路

[0011][专利技术所要解决的问题][0012]但是，专利文献1～专利文献3的任一组合物均无法满足水渍、图案形状。另外，关于残膜率，并未考虑，无法令人满意。
[0013]本专利技术的目的在于提供一种感光性组合物，其抑制显影后的被膜的水渍，残膜率良好且可形成优异的图案。
[0014][解决问题的技术手段][0015][1]本专利技术是一种感光性组合物，包含：碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、及光聚合引发剂(C)，所述感光性组合物中，
[0016]所述光聚合引发剂(C)包含下述通式(1)所表示的肟系光聚合引发剂(C1)、及肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)。
[0017][化1][0018]通式(1)
[0019][0020](通式(1)中，R1表示氢原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数6～30的芳基、碳原子数7～30的芳基烷基、或碳原子数2～20的杂环基；
[0021]R2表示碳原子数3～20的烷基、碳原子数6～30的芳基、碳原子数7～30的芳基烷基、或碳原子数2～20的杂环基；
[0022]R3表示碳原子数3～20的烷基、碳原子数6～30的芳基、碳原子数7～30的芳基烷基、或碳原子数2～20的杂环基；
[0023]R4表示可具有取代基的苯甲酰基，n表示1)
[0024][2]根据[1]所述的感光性组合物，其中，所述肟系光聚合引发剂(C1)与所述肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)的质量比为90：10～10：90。
[0025][3]根据[1]或[2]所述的感光性组合物，其中，在所述光聚合引发剂(C)100质量％中，所述肟系光聚合引发剂(C1)与所述肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)的合计含量为50质量％以上。
[0026][4]根据[1]至[3]中任一项所述的感光性组合物，其中，所述碱可溶性树脂(A)包含碱可溶性树脂(A1)，所述碱可溶性树脂(A1)含有含脂环式烃的单量体单元(a1)及含羧基的单量体单元(a2)。
[0027][5]根据[1]至[4]中任一项所述的感光性组合物，其中，所述碱可溶性树脂(A1)在所述碱可溶性树脂(A1)的全部构成单元中包含5摩尔％～60摩尔％的所述含脂环式烃的单量体单元(a1)。
[0028][6]根据[1]至[5]中任一项所述的感光性组合物，还包含硫醇系链转移剂(D)。
[0029][7]一种滤光器，具有：基板；以及滤光段，由根据[1]至[6]中任一项所述的感光性组合物形成。
[0030][8]一种图像显示装置，具有根据[7]所述的滤光器。
[0031][9]一种固体摄像元件，具有根据[7]所述的滤光器。
[0032][专利技术的效果][0033]通过所述本专利技术，可提供一种感光性组合物，其抑制显影后的被膜的水渍，残膜率良好且可形成优异的图案。另外，本专利技术可提供一种滤光器、图像显示装置及固体摄像元件。
具体实施方式
[0034]以下，对用于实施本专利技术的感光性组合物的形态进行详细说明。此外，本专利技术并不限制于以下的实施方式，可在能够解决课题的范围内变形来实施。
[0035]在本专利技术中，所谓“(甲基)丙烯酰基”、“(甲基)丙烯酸基”、“(甲基)丙烯酸”、“(甲基)丙烯酸酯”或“(甲基)丙烯酰胺”，只要无特别说明，则分别意指“丙烯酰基和/或甲基丙烯酰基”、“丙烯酸基和/或甲基丙烯酸基”、“丙烯酸和/或甲基丙烯酸”、“丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯”、或“丙烯酰胺和/或甲基丙烯酰胺”。另外，“C.I.”意指染料索引(Colour Index)(C.I.；染色工作者协会(The Society of Dyers and Colourists)发行)。聚合性不饱和基是乙烯性不饱和双键。
[0036]另外，关于本专利技术中的化合物的分子量，对于分子量可确定的低分子化合物，是通过计算而算出的值(式量)或利用电喷雾离子化质量分析法(electrospray ionization
‑
mass spectrometry，ESI
‑
MS)测定的分子量，对于具有分子量分布的化合物，是以四氢呋喃为溶剂时的利用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算的重量平均分子量。聚合性化合物(B)是通过硬化而形成被膜的化合物。单量体是通过聚合而形成树脂的化合物。单量体为未反应状态，单量体单元为将单量体聚合后形成树脂的状态。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光性组合物，包含：碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、及光聚合引发剂(C)，所述感光性组合物中，所述光聚合引发剂(C)包含下述通式(1)所表示的肟系光聚合引发剂(C1)、及肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)；通式(1)通式(1)中，R1表示氢原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数6～30的芳基、碳原子数7～30的芳基烷基、或碳原子数2～20的杂环基；R2表示碳原子数3～20的烷基、碳原子数6～30的芳基、碳原子数7～30的芳基烷基、或碳原子数2～20的杂环基；R3表示碳原子数3～20的烷基、碳原子数6～30的芳基、碳原子数7～30的芳基烷基、或碳原子数2～20的杂环基；R4表示可具有取代基的苯甲酰基，n表示1。2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述肟系光聚合引发剂(C1)与所述肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)的质量比为90：10～10：90。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：河内寛明，吉田寛之，
申请(专利权)人：东洋翊绚株式会社，
类型：发明
国别省市：