感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜技术

提供具有低介电特性、低透湿性及良好的耐化学药品性且能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的聚酰亚胺前体树脂、0.5～10质量份的光聚合引发剂和50～500质量份的溶剂。上述聚酰亚胺前体树脂包含选自由下述通式(1)～(3)组成的组中的至少一种末端结构。并且，上述聚酰亚胺前体树脂的脂肪族烃基浓度T的合计值为4wt％～35wt％。的合计值为4wt％～35wt％。的合计值为4wt％～35wt％。的合计值为4wt％～35wt％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜


[0001]本公开涉及感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜。

技术介绍

[0002]以往，在电子部件的绝缘材料及半导体装置的钝化膜、表面保护膜、层间绝缘膜等中，使用兼具优异的耐热性、电特性及机械特性的聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂、酚醛树脂等。这些树脂中，以感光性树脂组合物的形态提供者可以通过该组合物的涂布、曝光、显影及基于固化的闭环处理(酰亚胺化、苯并噁唑化)、热交联而容易地形成耐热性的浮雕图案覆膜。这样的感光性树脂组合物与以往的非感光型材料相比具有能够大幅缩短工序的特征，被用于半导体装置的制作中。
[0003]另外，半导体装置(以下也称为“元件”。)会根据目的而通过各种方法安装于印刷基板。以往的元件通常通过用细线从元件的外部端子(焊盘)连接至引线框的引线接合法而制作。但是，在元件的高速化推进、工作频率达到GHz的当今，安装时的各端子的布线长度的差异会对元件的工作造成影响。因此，高端用途的元件的安装中，需要准确控制安装布线的长度，引本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)100质量份的聚酰亚胺前体树脂；(B)0.5～10质量份的光聚合引发剂；和(C)50～500质量份的溶剂；所述(A)聚酰亚胺前体树脂包含选自由下述通式(1)～(3)组成的组中的至少一种末端结构，式(1)～(3)中，W为2～3价的有机基团，R1～R3分别独立地为氢原子或碳数1～3的1价的有机基团，m1为1～2的整数所示的基团，m2为2～10的整数所示的基团，＊表示与树脂的主链键合，在将所述感光性树脂组合物于350℃下加热及固化而得到的聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，脂肪族烃基浓度T为4wt％～35wt％，所述脂肪族烃基浓度T为脂肪族烃基的分子量的合计相对于包含来自四羧酸二酐和二胺化合物的结构的重复单元的分子量所占的比例。2.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)100质量份的聚酰亚胺前体树脂；(B)0.5～10质量份的感光剂；和(C)100～300质量份的溶剂；在将所述感光性树脂组合物于350℃下加热及固化而得到的聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，脂肪族烃基浓度T与感光性基团浓度S满足下述式(1)，
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77≤4T
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3S≤44
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(1)所述脂肪族烃基浓度T为脂肪族烃基的分子量的合计相对于包含来自四羧酸二酐和二胺化合物的结构的重复单元的分子量所占的比例，所述感光性基团浓度S为感光性基团的分子量的合计相对于所述(A)聚酰亚胺前体树脂中的重复单元的分子量所占的比例，所述(A)聚酰亚胺前体树脂在树脂末端具有不同于其重复单元中包含的反应性不饱和
键侧链的、通过热或光进行聚合的其它反应性不饱和键。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)聚酰亚胺前体树脂由下述通式(4)表示，式(4)中，X1为碳数6～40的4价的有机基团，Y1为碳数6～40的2价的有机基团，n1为2～150的整数，R4和R5分别独立地为氢原子或碳数1～40的1价的有机基团，其中，R4和R5中的至少一个为以下的通式(5)所示的基团，式(5)中，R6、R7和R8分别独立地为氢原子或碳数1～3的1价的有机基团，并且m2为2～10的整数。4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，感光性基团浓度S为15wt％～35wt％，所述感光性基团浓度S为感光性基团的分子量的合计相对于所述通式(4)所示的(A)聚酰亚胺前体树脂中的重复单元的分子量所占的比例。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)聚酰亚胺前体树脂包含下述通式(6)所示的结构，式(6)中，R9、R
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分别独立地为碳数1～10的有机基团，m3、m4为选自1～4的整数，Z选自由单键、碳数1～30的有机基团及包含杂原子的有机基团组成的组，＊表示与树脂的主链键合。6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含(D)硅烷偶联。7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含(E)自由基聚合性化合物。8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含(F)热交联剂。9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包含(G)填料。10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)聚酰亚胺前体树脂在主链的末端包含来自四羧酸二酐的末端结构，在1H
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NMR中，在将来自主链结构的酰胺基的峰面积设为1.0时，表示末端的封闭率的末端封闭值为0.02以上。11.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)100质量份的聚酰亚胺前体树脂；(B)0.5～10质量份的光聚合引发剂；和
(C)50～500质量份的溶剂；所述(A)聚酰亚胺前体树脂在主链的末端包含来自四羧酸二酐的末端结构，在1H
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NMR中，在将来自主链结构的酰胺基的峰面积设为1.0时，表示末端的封闭率的末端封闭值为0.02以上。12.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)100质量份的聚酰亚胺前体树脂；(B)0.5～10质量份的光聚合引发剂；和(C)50～500质量份的溶剂；所述(A)聚酰亚胺前体树脂在主链的末端包含来自二胺的末端结构，在1H
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NMR中，在将来自主链结构的酰胺基的峰面积设为1.0时，表示末端的封闭率的末端封闭值为0.06以上。13.一种聚酰亚胺固化膜的制造方法，所述方法包括以下的工序：将权利要求1～12中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上而在该基板上形成感光性...

【专利技术属性】
技术研发人员：渋井智史，松本凉香，
申请(专利权)人：旭化成株式会社，
类型：发明
国别省市：