感光性树脂组合物、固化膜和半导体装置制造方法及图纸

本发明专利技术的感光性树脂组合物包含：具有下述通式(a)所表示的结构单元的聚合物A；以及包含具有下述通式(b)所表示的基团b的聚酰亚胺的聚合物B。聚合物B。聚合物B。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、固化膜和半导体装置


[0001]本专利技术涉及一种感光性树脂组合物、固化膜和半导体装置。

技术介绍

[0002]聚酰亚胺树脂具有高机械强度、耐热性、绝缘性、耐溶剂性，因此被广泛用作液晶显示元件或者半导体中的保护材料、绝缘材料、滤色器等电子材料用薄膜。
[0003]在专利文献1中公开有一种感光性组合物，其包含在末端具备规定的马来酰亚胺基的聚酰亚胺。
[0004]在专利文献2中公开有一种光波导，其具有包含第1化合物的芯部，所述第1化合物具有通过光照射而能够二聚化的官能团，作为该第1化合物，例示有在末端具备规定的马来酰亚胺基来作为能够二聚化的该官能团的环状烯烃树脂。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：国际公开第2020/181021号。
[0008]专利文献2：日本特开2019
‑
028115号公报。

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的技术课题
[0010]但是，在专利文献1～2中所记载的以往的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性树脂组合物，其中，所述感光性树脂组合物包含：具有下述通式(a)所表示的结构单元的聚合物A；和包含具有下述通式(b)所表示的基团b的聚酰亚胺的聚合物B，在通式(a)中，R1以及R2各自独立地表示氢原子或者碳原子数1～3的烷基，Q1表示单键或者2价的有机基团，G1、G2以及G3分别独立地表示氢原子、经取代或者未经取代的碳原子数1～30的烃基，m为0、1或者2，在通式(b)中，R3以及R4各自独立地表示氢原子或者碳原子数1～3的烷基，Q2表示2价的有机基团，G4各自独立地表示氢原子、经取代或者未经取代的碳原子数1～30的烃基，*表示键合键。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，Q1的2价的所述有机基团是碳原子数1～8的亚烷基或者(聚)亚烷基二醇链。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，聚合物B包含在两个末端具备所述通式(b)所表示的基团b的聚酰亚胺。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述通式(b)的所述Q2中的2价的有机基团由下述通式(b1)表示，在通式(b1)中，R5以及R6各自独立地表示氢原子、碳原子数1～4的卤烷基、碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基或者羟基，X表示单键、碳原子数1～4的亚烷基、碳原子数1～4的卤亚烷基、衍生自双酚A的2价的醚基、衍生自双酚F的2价的醚基、衍生自双酚S的2价的醚基、衍生自六氟双酚A的2价的醚基，*表示键合键。5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，聚合物(B)包含在至少一个末端具备下述通式(c)所表示的基团c的聚酰亚胺，在聚合物(B)中所包含的聚酰亚胺中，基团b的摩尔数相对于基团b与基团c的总摩尔数
之比即b/b+c为0.5以上，通式(c)中，R5以及R6各自独立地表示氢原子、碳原子数1～4的卤烷基、碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基或者羟基，X表示单键、碳原子数1～4的亚烷基、碳原子数1～4的卤亚烷基、衍生自双酚A的2价的醚基、衍生自双酚F的2价的醚基、衍生自双酚S的2价的醚基、衍生自六氟双酚A的2价的醚基，G4各自独立地表示氢原子、经取代或者未经取代的碳原子数1～30的烃基，*表示键合键。6.根据权利要求1至4中...

【专利技术属性】
技术研发人员：乙黑昭彦，今井启太，上田祐辉，久保山俊治，
申请(专利权)人：住友电木株式会社，
类型：发明
国别省市：