感光性组合物、滤光器、图像显示装置及固体摄像元件制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种感光性组合物、滤光器、图像显示装置及固体摄像元件，其抑制显影后的被膜的水渍，耐热性良好且可形成优异的图案。所述课题可通过以下感光性组合物解决，所述感光性组合物包含碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C)，且所述感光性组合物中，所述光聚合引发剂(C)包含下述通式(1)所表示的化合物(C1)及肟系光聚合引发剂(C2)。(通式(1)中，R1、R2分别独立地表示氢原子、或碳原子数1～8的烷基。R3表示氢原子或一价取代基。)通式(1)[化1])通式(1)[化1])通式(1)[化1]

【技术实现步骤摘要】
感光性组合物、滤光器、图像显示装置及固体摄像元件


[0001]本专利技术涉及一种感光性组合物、滤光器、图像显示装置及固体摄像元件。

技术介绍

[0002]作为图像显示装置或固体摄像元件等中使用的滤光器的一种的滤色器例如通过如下工序获得第一颜色的滤光段图案：将感光性组合物涂布于玻璃等透明基板，并通过干燥而从所述涂膜去除溶剂的工序；介隔具有所期望的图案形状的光掩模对所述涂膜照射放射线而使其硬化(以下称为曝光)的工序；继而，对所述涂膜的未曝光部进行清洗、去除(以下称为显影)的工序；其后，视需要为了使硬化膜充分硬化而进行加热处理(以下称为后烘烤)工序。而且，通过进行与此同样的操作可形成并制作其他颜色的滤光段图案。
[0003]所述显影工序使用碱性的显影液来作为显影液，并对未曝光部分进行清洗、去除。此时，存在已曝光的部分缺失或剥落，使得图案形状产生缺陷的问题。另外，还存在当涂膜暴露于碱性的显影液时，产生涂膜变色的现象(以下称为水渍)的问题。因此，需要一种在显影工序中不产生图案形状的不良与水渍的感光性组合物。进而还存在后烘烤工序时，颜色发生变化的课本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光性组合物，包含碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C)，且所述感光性组合物中，所述光聚合引发剂(C)包含下述通式(1)所表示的化合物(C1)及肟系光聚合引发剂(C2)，通式(1)通式(1)中，R1、R2分别独立地表示氢原子、或碳原子数1～8的烷基；R3表示氢原子或一价取代基。2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述肟系光聚合引发剂(C2)包含在一分子中含有两个肟基的化合物(C2b)。3.根据权利要求1或2所述的感光性组合物，其中，所述碱可溶性树脂(A)包含碱可溶性树脂...

【专利技术属性】
技术研发人员：新戸翔，小野寺由宇，吉田寛之，
申请(专利权)人：东洋翊绚株式会社，
类型：发明
国别省市：