一种线性镀膜设备及其方法技术

本申请涉及一种线性镀膜设备及其方法，涉及闪烁体加工设备的技术领域，镀膜设备包括蒸发源，蒸发源上侧设置有基板固定装置，基板固定装置上设置有能够驱动基板固定装置水平移动的线性驱动装置。本申请中蒸发源和基板固定装置的设置，使得能够固定基板，并使得蒸发源内的镀膜材料蒸发气化至基板上，进而能够在夹板上镀膜。而通过线性驱动装置的设置，能够驱动基板固定装置在水平方向移动，从而使得基板能够在蒸发源上侧移动，进而对于大面积的基板或长度较长的矩形基板能够通过移动实现在基板镀膜。板镀膜。板镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种线性镀膜设备及其方法


[0001]本申请涉及闪烁体加工设备的
，尤其是涉及一种线性镀膜设备及其方法。

技术介绍

[0002]闪烁体是一类吸收高能粒子或射线后能够发光的材料，在辐射探测领域发挥着十分重要的作用。通常在应用中将其加工成晶体，称为闪烁晶体。广泛应用于影像核医学、核物理、高能物理、工业CT、油井勘探和安全检查等领域。
[0003]研究和应用最多的闪烁体是无机闪烁体，固态的无机闪烁体一般是指含有少量混合物（激活剂）的无机盐晶体。当闪烁体中原子的轨道电子从入射粒子接受大于其禁带宽度的能量时,便被激发跃迁至导带。然后，再经过一系列物理过程回到基态，根据退激的机制不同而发射出衰落时间很短的荧光（约10ns）或是较长的磷光（约1us或更长）。最常用的无机晶体是用铊激活的碘化钠晶体，即NaI（Tl），最大可做到φ240mm以上。它有很高的发光效率和对γ射线的探测效率。其他无机晶体还有CsI（Tl）、CsI（Na）、ZnS（Ag）等，各有特点。新出现的有锗酸铋等。气体和液体的无机闪烁体，多用惰性气体及其液化态制成，如氦、氖、氩、氪、氙等。其中以氙的光输出最大而较多使用。
[0004]目前，在闪烁体的加工制备的工艺之中存在镀膜工序，镀膜工序的作用实在闪烁体的基板表面镀上一层薄膜，用以提高闪烁体的光学性能以及稳定性。
[0005]现有的镀膜工艺常使用旋转式的蒸镀设备，即在基板下侧设置蒸发源，在蒸发源上侧设置基板固定装置，在蒸发源蒸发膜层材料的过程之中，旋转基板，使得基板上附着的膜层能够均匀。<br/>[0006]针对上述中的相关技术，旋转时的蒸镀设备需要较大的蒸发源，以确保蒸发源蒸发出的膜层材料能够对基板全覆盖，这种方式需要的蒸发源较大且能够加工的基板尺寸较小。

技术实现思路

[0007]本申请提供一种线性镀膜设置及其方法，其目的是实现大尺寸闪烁体基板的镀膜。
[0008]第一方面，本申请提供的一种线性镀膜设置采用如下的技术方案：一种线性镀膜设置，包括蒸发源，所述蒸发源上侧设置有基板固定装置，所述基板固定装置上设置有能够驱动所述基板固定装置水平移动的线性驱动装置。
[0009]通过采用上述技术方案，蒸发源和基板固定装置的设置，使得能够固定基板，并使得蒸发源内的镀膜材料蒸发气化至基板上，进而能够在夹板上镀膜。而通过线性驱动装置的设置，能够驱动基板固定装置在水平方向移动，从而使得基板能够在蒸发源上侧移动，进而对于大面积的基板或长度较长的矩形基板能够通过移动实现在基板镀膜。
[0010]可选的，所述基板固定装置包括第一夹具机构与第二夹具机构，所述第一夹具机
构与所述第二夹具机构沿所述线性驱动装置的驱动方向间隔设置。
[0011]通过采用上述技术方案，第一夹具机构和第二夹具机构沿线性驱动装置的长度方向相互间隔设置，使得在装载矩形的基板是，第一夹具机构和第二夹具机构能够夹持基板的两端，进而能够保证基板安装的稳定性。
[0012]可选的，所述基板固定装置还包括调节机构，所述调节机构包括调节座，所述调节座与所述线性驱动装置相互连接，所述第一夹具机构与所述第二夹具机构均设置在所述调节座上，所述调节座上设置有能够驱动所述第一夹具机构与所述第二夹具机构相互靠近或相互远离运动的调节驱动件。
[0013]通过采用上述技术方案，调节机构的设置，通过调节座安装第一夹具机构和第二夹具机构，而调节驱动件的设置则能够实现第一夹具机构和第二夹具机构相互靠近或相互远离，进而使得第一夹具机构和第二夹具机构能够夹持不同长度的基板，从而能够实现对不同尺寸的基板的镀膜。
[0014]可选的，所述第一夹具机构和所述第二夹具机构均包括侧边夹具，所述侧边夹具设置有若干个，若干所述侧边夹具分别设置在所述线性驱动装置的宽度方向两侧。
[0015]通过采用上述技术方案，若干侧边夹具沿线性驱动装置的宽度方向设置相对设置，从而使得侧边夹具能够夹持矩形基板的宽度方向的两侧边，使得第一夹具机构和第二夹具机构对于过长的矩形基板也能够进行夹持。
[0016]可选的，所述侧边夹具包括安装板，所述安装板与所述线性驱动装置相互连接，所述安装板上设置有夹爪和延伸组件，所述延伸组件包括延伸柱，所述夹爪设置在所述延伸柱一端，所述安装板下侧开设有延伸滑槽且所述延伸滑槽的长度方向沿所述线性驱动装置的宽度方向设置，所述延伸柱与所述延伸滑槽插接配合且所述延伸柱与所述延伸滑槽内壁滑动连接。
[0017]通过采用上述技术方案，夹爪与安装板之间设置延伸组件，通过延伸柱在对应的延伸滑槽内滑动，能够沿线性驱动装置的宽度方向调节夹爪的位置，从而能够使得侧边夹具夹持不同宽度的夹板。
[0018]可选的，所述夹爪包括安装柱，所述安装柱长度方向沿竖直方向设置，所述安装柱上沿竖直方向间隔设置有第一夹持块和第二夹持块，所述第二夹持块沿竖直方向与所述安装柱滑动连接。
[0019]通过采用上述技术方案，第一夹持块与第二夹持块在竖直方向间隔设置，使得第一夹持块与第二夹持块之间的间隙能够夹持基板，实现夹爪对基板的夹持功能。由于第二夹爪能够在竖直方向滑动，因此能够改变第一夹爪与第二夹爪之间的间隙大小，使得夹爪能够夹持不同厚度的基板。
[0020]可选的，所述第一夹持块与所述第二夹持块相对两侧面均设置有防滑弹性条。
[0021]通过采用上述技术方案，防滑弹性条的设置，一方面能够增加第一夹持块与第二夹持块对基板夹持的稳定性，另一方面能够方式第一夹持块与第二夹持块划伤基板。
[0022]可选的，所述延伸柱上开设有若干定位孔，若干所述定位孔沿竖直方向贯穿所述延伸柱，所述定位孔内插接有定位螺栓，所述定位螺栓与所述定位孔内壁通过螺纹连接。
[0023]通过采用上述技术方案，由于延伸柱在延伸滑槽内滑动连接，从而在延伸柱上开设定位孔，在定位孔内插接定位螺栓，定位螺栓与定位孔的内壁通过螺纹连接，因此在拧紧
定位螺栓时，定位螺栓能够抵触延伸滑槽的上侧壁，使得延伸柱在延伸滑槽内的滑动受阻，进而对延伸柱进行固定，实现夹爪的定位。
[0024]第二方面，本申请提供的一种线性镀膜方法采用如下的技术方案：一种线性镀膜方法，利用上述镀膜设备对基板进行镀膜，包括以下步骤：S1：安装基板；S2：开启设备；S3：自动归位：将基板的一端移动至蒸发源的正上方；S4：镀膜：在蒸发源将镀膜原料蒸发时，沿基板长度方向移动基板，使基板沿自身长度方向全部经过蒸发源上方；S5：镀膜结束，关闭设备，取下基板。
[0025]通过采用上述技术方案，驱动基板线性运动，并使基板经过蒸发源上侧，能够对矩形且面积较大的基板进行镀膜。
[0026]可选的，将基板在所述蒸发源上侧沿基板的长度方向往复移动若干次通过采用上述技术方案，通过往复运动，能够使得基板在蒸发源上多次往复，使得基板上镀膜层能够均匀。
[0027]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.线性驱动装置的设置，使得基板能够在蒸发源上线性移动，从而能够在面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线性镀膜设置，包括蒸发源（1），其特征在于，所述蒸发源（1）上侧设置有基板固定装置（2），所述基板固定装置（2）上设置有能够驱动所述基板固定装置（2）水平移动的线性驱动装置（3）。2.根据权利要求1所述的一种线性镀膜设置，其特征在于，所述基板固定装置（2）包括第一夹具机构（21）与第二夹具机构（22），所述第一夹具机构（21）与所述第二夹具机构（22）沿所述线性驱动装置（3）的驱动方向间隔设置。3.根据权利要求2所述的一种线性镀膜设置，其特征在于，所述基板固定装置（2）还包括调节机构（23），所述调节机构（23）包括调节座（231），所述调节座（231）与所述线性驱动装置（3）相互连接，所述第一夹具机构（21）与所述第二夹具机构（22）均设置在所述调节座（231）上，所述调节座（231）上设置有能够驱动所述第一夹具机构（21）与所述第二夹具机构（22）相互靠近或相互远离运动的调节驱动件（232）。4.根据权利要求2所述的一种线性镀膜设置，其特征在于，所述第一夹具机构（21）和所述第二夹具机构（22）均包括侧边夹具（24），所述侧边夹具（24）设置有若干个，若干所述侧边夹具（24）分别设置在所述线性驱动装置（3）的宽度方向两侧。5.根据权利要求4所述的一种线性镀膜设置，其特征在于，所述侧边夹具（24）包括安装板（241），所述安装板（241）与所述线性驱动装置（3）相互连接，所述安装板（241）上设置有夹爪（242）和延伸组件（243），所述延伸组件（243）包括延伸柱（2431），所述夹爪（242）设置在所述延伸柱（2431）一端，所述安装板（241）下侧开设有延伸滑槽（2432）且所述延伸滑槽（2432）的长度方...

【专利技术属性】
技术研发人员：白超群，焦启刚，
申请(专利权)人：上海烁泰科技有限公司，
类型：发明
国别省市：