一种半导体镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体镀膜装置，包括底板、镀膜桶、用于夹持半导体并使其镀膜更均匀的夹持机构、镀液箱，还包括用于将工作区域分隔使其可同时进行镀膜和更换半导体的分隔机构。有益效果：在夹持机构夹持半导体后，第一挡板、分隔板和第二挡板将镀膜桶分隔为两个区域，镀液箱产生的蒸气对其中一个半导体镀膜，完成镀膜后，通过连接轴的转动，带动第一挡板和第二挡板转动，切换工作区域，将另一个半导体置于蒸气中，盖板防止在切换工作区域时，蒸气外漏，非工作区域拉开盖板，对半导体进行更换，通过分隔机构机构来使镀液箱在半导体完成镀膜后，不需等待冷却，便可更换半导体，并同时进行下一组半导体镀膜。时进行下一组半导体镀膜。时进行下一组半导体镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体镀膜装置


[0001]本技术涉及半导体生产领域，特别是涉及一种半导体镀膜装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
[0003]经检索现有专利专利号为CN216473449U的中国专利公开了一种用于半导体生产的镀膜装置，包括机壳、上盖、旋转电机、收料罐，所述机壳的上侧设置有所述上盖，所述上盖的上侧设置有把手，所述机壳的一侧设置有螺杆，所述螺杆的另一侧设置有旋杆，所述机壳的另一侧设置有所述旋转电机，所述旋转电机的前侧设置有所述收料罐，所述收料罐的外侧设置有箍架，所述收料罐的上侧设置有回流管，所述旋转电机靠近所述机壳的一侧设置有旋转轴，所述旋转轴的另一端设置有夹具，所述螺杆靠近所述机壳的一侧设置有内螺纹杆，所述内螺纹杆的另一侧设置有压板，所述机壳靠近所述旋转电机一侧的内壁上安装有回流槽；
[0004]该专利文件通过在夹具上放上半导体，旋转旋杆使压板顶紧半导体，加热管为坩埚加热使镀液气化，旋转电机带动半导体转动，使镀膜更加均匀，但在将半导体镀膜完成后，因坩埚内温度未降低，蒸气依旧产生，需等待坩埚降温完毕后，停止产生蒸气，才能打开上盖，取出和更换下一组半导体。

技术实现思路

[0005]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种半导体镀膜装置。
[0006]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0007]一种半导体镀膜装置，包括底板、镀膜桶、用于夹持半导体并使其镀膜更均匀的夹持机构、镀液箱，还包括用于将工作区域分隔使其可同时进行镀膜和更换半导体的分隔机构，所述底板上侧设置所述镀膜桶，所述镀膜桶内部安装所述分隔机构，所述分隔机构两侧设置所述夹持机构，所述底板和所述分隔机构之间设置所述镀液箱；
[0008]所述分隔机构包括连接轴，所述连接轴安装在所述底板内侧，所述连接轴外部设置有分隔板，所述分隔板下侧安装有第一挡板，所述分隔板上侧安装有第二挡板，所述第二挡板上侧设置有盖板，所述连接轴动力接收端安装有第二手轮。
[0009]优选的：所述夹持机构包括螺杆，所述螺杆安装在所述底板内部，所述分隔板两侧均设置所述螺杆，所述螺杆后侧安装有传动轴，且位于所述底板内部，所述传动轴动力接收端安装有电动机，所述螺杆动力接收端安装有第一手轮，所述螺杆和所述传动轴动力输出端均安装有夹板。
[0010]优选的：所述镀液箱外侧安装有加热板。
[0011]优选的：所述盖板与所述镀膜桶滑动连接，所述盖板设置为两个。
[0012]优选的：所述连接轴与所述分隔板轴承连接，所述连接轴与所述底板和所述镀膜桶均通过轴承连接，所述第二挡板和所述第一挡板与所述连接轴键连接。
[0013]优选的：所述第一挡板和所述第二挡板为半圆形，所述第一挡板和所述连接轴均与所述镀膜桶滑动连接。
[0014]优选的：所述传动轴与所述镀膜桶轴承连接，所述螺杆与所述镀膜桶螺纹连接，所述夹板与所述螺杆轴承连接。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0016]在夹持机构夹持半导体后，第一挡板、分隔板和第二挡板将镀膜桶分隔为两个区域，镀液箱产生的蒸气对其中一个半导体镀膜，完成镀膜后，通过连接轴的转动，带动第一挡板和第二挡板转动，切换工作区域，将另一个半导体置于蒸气中，盖板防止在切换工作区域时，蒸气外漏，非工作区域拉开盖板，对半导体进行更换，通过分隔机构机构来使镀液箱在半导体完成镀膜后，不需等待冷却，便可更换半导体，并同时进行下一组半导体镀膜。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本技术所述一种半导体镀膜装置的结构示意图；
[0019]图2是本技术所述一种半导体镀膜装置的剖视图；
[0020]图3是本技术所述一种半导体镀膜装置的A
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A的剖视图；
[0021]图4是本技术所述一种半导体镀膜装置的分隔机构的结构示意图；
[0022]图5是本技术所述一种半导体镀膜装置的夹持机构的结构示意图。
[0023]附图标记说明如下：
[0024]1、底板；2、镀膜桶；3、夹持机构；301、螺杆；302、传动轴；303、电动机；304、夹板；305、第一手轮；4、分隔机构；401、第一挡板；402、连接轴；403、分隔板；404、第二挡板；405、第二手轮；406、盖板；5、镀液箱；6、加热板。
具体实施方式
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0028]如图1
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图5所示，一种半导体镀膜装置，包括底板1、镀膜桶2、用于夹持半导体并使其镀膜更均匀的夹持机构3、镀液箱5，还包括用于将工作区域分隔使其可同时进行镀膜和更换半导体的分隔机构4，底板1上侧设置镀膜桶2，镀膜桶2内部安装分隔机构4，分隔机构4两侧设置夹持机构3，底板1和分隔机构4之间设置镀液箱5。
[0029]在本实施例中：分隔机构4包括连接轴402，连接轴402安装在底板1内侧，连接轴402外部设置有分隔板403，分隔板403下侧安装有第一挡板401，分隔板403上侧安装有第二挡板404，第二挡板404上侧设置有盖板406，连接轴402动力接收端安装有第二手轮405；盖板406与镀膜桶2滑动连接，盖板406设置为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体镀膜装置，包括底板(1)、镀膜桶(2)、用于夹持半导体并使其镀膜更均匀的夹持机构(3)、镀液箱(5)，其特征在于：还包括用于将工作区域分隔使其可同时进行镀膜和更换半导体的分隔机构(4)，所述底板(1)上侧设置所述镀膜桶(2)，所述镀膜桶(2)内部安装所述分隔机构(4)，所述分隔机构(4)两侧设置所述夹持机构(3)，所述底板(1)和所述分隔机构(4)之间设置所述镀液箱(5)；所述分隔机构(4)包括连接轴(402)，所述连接轴(402)安装在所述底板(1)内侧，所述连接轴(402)外部设置有分隔板(403)，所述分隔板(403)下侧安装有第一挡板(401)，所述分隔板(403)上侧安装有第二挡板(404)，所述第二挡板(404)上侧设置有盖板(406)，所述连接轴(402)动力接收端安装有第二手轮(405)。2.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜装置，其特征在于：所述夹持机构(3)包括螺杆(301)，所述螺杆(301)安装在所述底板(1)内部，所述分隔板(403)两侧均设置所述螺杆(301)，所述螺杆(301)后侧安装有传动轴(302)，且位于所述底板(1)内部，所述传动轴(302)动力接收端安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐钰程，
申请(专利权)人：成都维涵电气有限责任公司，
类型：新型
国别省市：