一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源制造技术

本发明专利技术公开了一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源，包括：蒸发源腔体，用于容纳蒸发源材料，上部开设有加料管和蒸发出气管，加料管上端配有密封盖板；蒸发加热器设置在蒸发源腔体上方，位于蒸发加热器隔热罩形成的封闭空间内，裂解加热结构包括裂解板及裂解加热器，其设置在蒸发加热器隔热罩上方，外部设有裂解加热器隔热罩，裂解板表面设有透过隔热罩的裂解出气管；材料蒸发后，通过蒸发出气管进入裂解板，经裂解加热器加热达到工艺温度后形成特定分子状态，再经裂解板上的通气孔到达裂解出气管后进入蒸发工艺区内。本发明专利技术的结构解决了现有蒸发源无法对蒸发材料气体进一步加热处理达到所需分子状态，从而无法得到优质膜层质量的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源


[0001]本专利技术属于真空镀膜
，具体而言，涉及一种对蒸镀材料进行多级加热处理的蒸发源。

技术介绍

[0002]在真空镀膜过程中蒸镀材料时，需要将材料加热到蒸发温度并稳定蒸发气体，达到工艺蒸发所需的气体量。但有些材料，比如硒材料，稳定气态蒸发后，气体的状态是大分子团状态，为了膜层质量以及膜层稳定性，结构上允许的话，工艺上还需要对气体进一步加热裂解成小分子，达到工艺需要的分子状态，从而达到更优的膜层质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在提供一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源，用于蒸镀材料气体升温处理，解决了现有蒸发装置结构无法对蒸发气体进行多级升温处理达到工艺所需的分子状态，从而无法得到优质膜层质量的问题。
[0004]为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源，包括：蒸发源腔体，用于容纳蒸发源材料，其上部开设有加料管和蒸发出气管，加料管用于添加蒸发材料且上端配置有用于密封的密封盖板；蒸发加热器，设置在蒸发源腔体上方，且与位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源，其特征在于，包括：蒸发源腔体(3)，用于容纳蒸发源材料，其上部开设有加料管(5)和蒸发出气管(9)，所述加料管(5)用于添加蒸发材料且上端配置有用于密封的密封盖板(6)；蒸发加热器(4)，设置在所述蒸发源腔体(3)上方，且与位于所述蒸发源腔体(3)上方的蒸发加热器隔热罩(7)形成封闭空间，所述蒸发加热器隔热罩(7)罩住所述加料管(5)、密封盖板(6)以及蒸发加热器(4)，使得所述蒸发加热器(4)与周围环境隔离；裂解加热结构，设置在所述蒸发加热器隔热罩(7)上方，包括裂解板(10)以及裂解加热器(11)，所述裂解加热结构外设有裂解加热器隔热罩(8)，裂解加热器隔热罩(8)表面设置有连通裂解板(10)与外界蒸发工艺区的裂解出气管(12)；蒸发源腔体(3)内材料蒸发后，通过蒸发出气管(9)进入裂解板(10)，经过裂解加热器(11)加热达到所需工艺温度和分子状态，再经裂解板(10)内的气体通道到达裂解出气管(12)后进入蒸发工艺区内。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源腔体(3)装在冷却槽(1)内，所述冷却槽(1)内装有冷却管(2)，通过冷却槽(1)与所述蒸发源腔体(3)的接触面对其进行冷却。3.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发加热器隔热罩(7)所形成的空间内装有隔热材料(14)，以防止热散...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫风，孙世宏，
申请(专利权)人：北京北方鸿瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：