力学电真空计、检测方法及其应用技术

本发明专利技术公开了一种力学电真空计、检测方法及应用，包括测力传感器组件、弹性运动组件、导向防护装置、真空容器、平衡装置和控制器；导向防护装置与真空容器连接，弹性运动组件自由地设置在导向防护装置内部，能够在真空度发生变化时在导向防护装置内往复运动；平衡装置位于导向防护装置、弹性运动组件和测力传感器组件之间，控制器用于对测力传感器组件信号进行处理，转化为真空测量值实时显示或输出。本发明专利技术将对真空度检测变成对力或力矩检测，可以通过优化提高测力传感器的量程和精度、提高弹性密封元件的弹性变形响应能力以及用机械或者电气的方式将检测信号放大从而提高量程和精度，从而可以通过优化相应结构以提高真空计性能。从而可以通过优化相应结构以提高真空计性能。从而可以通过优化相应结构以提高真空计性能。

【技术实现步骤摘要】
力学电真空计、检测方法及其应用


[0001]本专利技术属于真空检测
，具体涉及一种力学电真空计、检测方法及其应用。

技术介绍

[0002]真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度，真空度大体分为超高真空(<1
×
10
‑5Pa)、高真空(1
×
10
‑5～1
×
10
‑1Pa)以及中低真空(1
×
10
‑1～1
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105Pa)范围。超高真空主要用于表面科学、正负电子对撞机、氘和氚的核聚变等，高真空主要用于半导体工业、原子能工业、金属材料工业、电子电器工业、汽车工业、医用领域以及分子原子层蒸镀等，低真空主要用于一般的减压干燥与蒸馏；食品工业中的真空冷冻干烧、真空浓缩、脱气、真空包装，为高真空提供前级真空等。不同真空度的应用领域与作用不同，并且不同的真空度是以上述数值范围划分的，在某些应用中，如半导体材料的制备领域，真空度高代表空间内的杂质气体少，通过相应的真空获得条件和设备达到的极限真空度高，意味着在该状态真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种力学电真空计，其特征在于，包括测力传感器组件(01)、弹性运动组件(02)、导向防护装置(03)、真空容器(05)、平衡装置(07)和控制器(06)；所述导向防护装置(03)位于真空容器(05)和平衡装置(07)之间，与上方的所述真空容器(05)密封连接；所述弹性运动组件(02)自由地设置在导向防护装置(03)内部，且所述弹性运动组件(02)中的弹性密封元件与真空容器(05)可靠密封并连通，能够在真空容器(05)内真空度发生变化时，在导向防护装置(03)内由于真空度的变化进行相应方向运动；所述平衡装置(07)位于导向防护装置(03)和测力传感器组件(01)之间，与弹性运动组件(02)装配，用于标定所述力学电真空计的初始检测真空度；所述控制器(06)用于对测力传感器组件(01)的信号进行处理，转化为真空测量值实时显示或输出；当真空容器(05)内真空度发生变化时，驱动所述弹性运动组件(02)运动使得施加于测力传感器组件(01)上的力或力矩产生相应的变化，所述测力传感器组件(01)将力或力矩变化转换成电信号，再通过控制器(06)输出为真空测量值。2.如权利要求1所述的力学电真空计，其特征在于，还包括温度处理装置(08)，所述温度处理装置(08)位于导向防护装置(03)的外侧；或者所述温度处理装置(08)位于弹性运动组件(02)中的弹性密封元件外侧，以及所述导向防护装置(03)的内侧；或者所述温度处理装置(08)与导向防护装置(03)集成。优选地，所述温度调节装置(08)为与弹性密封元件平行的筒形结构，由加热元件、隔热材料及传热材料制备而成。3.如权利要求1所述的力学电真空计，其特征在于，所述弹性运动组件(02)中的弹性密封元件为能够真空密封和弹性运动的焊接波纹管或弹性膜片类元件。4.如权利要求3所述的力学电真空计，其特征在于，所述导向防护装置(03)为内壁光滑的圆柱状管，所述弹性密封元件自由地设置在导向防护装置(03)内部。5.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫风，郎江岩，
申请(专利权)人：北京北方鸿瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：