下载力学电真空计、检测方法及其应用的技术资料

文档序号:35857101

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本发明公开了一种力学电真空计、检测方法及应用,包括测力传感器组件、弹性运动组件、导向防护装置、真空容器、平衡装置和控制器;导向防护装置与真空容器连接,弹性运动组件自由地设置在导向防护装置内部,能够在真空度发生变化时在导向防护装置内往复运动;...
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