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本发明公开了一种对蒸镀材料进行多级加热的蒸发源，包括：蒸发源腔体，用于容纳蒸发源材料，上部开设有加料管和蒸发出气管，加料管上端配有密封盖板；蒸发加热器设置在蒸发源腔体上方，位于蒸发加热器隔热罩形成的封闭空间内，裂解加热结构包括裂解板及裂解加...
该专利属于北京北方鸿瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方鸿瑞科技有限公司授权不得商用。

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