一种光斑分析系统技术方案

本发明专利技术涉及光斑分析系统，其包括壳体和分析组件，壳体设置有开口，设置于壳体内，用于光斑分析，分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜，以及用于测量反射光束的测量相机和用于吸收透射光束的尾光吸收器，准直透镜设置于开口处，楔形棱镜设置于准直透镜和测量相机之间，其中一个分析组件设置有聚焦透镜，聚焦透镜设置于楔形棱镜和测量相机之间。本发明专利技术可应用于不同波长的大功率激光测量分析，同时实现成本的降低。同时实现成本的降低。同时实现成本的降低。

【技术实现步骤摘要】
一种光斑分析系统


[0001]本专利技术涉及光斑分析系统，属于激光


技术介绍

[0002]在激光应用过程中，会根据实际的使用要求，对激光的光斑进行光束质量分析，其中包括激光能量分布分析和激光光斑圆度分析等。而光路中的光斑分析使用普通的测量相机就可以实现。但是对于聚焦焦点的激光，在进行光斑分析时，由于焦点的激光能量一般都会非常大，极容易出现打坏测量相机的问题，导致普通的测量相机难以实现测量。而专用的焦点测量相机价格非常高，大大升高了使用成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种光斑分析系统，旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种光斑分析系统，通过调整光路，有利于避免聚焦光斑对测量相机造成破坏。
[0004]本专利技术的技术方案涉及光斑分析系统，包括：
[0005]壳体，所述壳体设置有开口；
[0006]分析组件，设置于所述壳体内，用于光斑分析；所述分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜，以及用于测量所述反射光束的测量相机和用于吸收所述透射光束的尾光吸收器；所述准直透镜设置于所述开口处，所述楔形棱镜设置于所述准直透镜和所述测量相机之间；其中一个所述分析组件设置有聚焦透镜，所述聚焦透镜设置于所述楔形棱镜和所述测量相机之间。
[0007]进一步，所述分析组件包括有两组，两组所述分析组件对称设置于所述壳体上。
[0008]进一步，所述反射光束与激光的入射光束形成直角，所述透射光束与激光的入射光束形成钝角。
[0009]进一步，所述尾光吸收器包括多个锥形吸收件，两个相邻的所述锥形吸收件的一个底边重合。
[0010]进一步，所述尾光吸收器包括多个锥形吸收件，所述楔形棱镜设置有多个，多个所述锥形吸收件的排列成弧形并围设于多个所述楔形棱镜的外周。
[0011]进一步，所述锥形吸收件为四棱锥形。
[0012]进一步，所述锥形吸收件的表面涂覆有吸收材料。
[0013]进一步，所述锥形吸收件的腔长与所述锥形吸收件的底边边长的比值设置于3至5之间。
[0014]进一步，一个所述锥形吸收件未被吸收的激光被反射到其他所述锥形吸收件。
[0015]进一步，所述测量相机为CCD相机。
[0016]本专利技术的有益效果如下。
[0017]本专利技术的光斑分析系统，可应用于不同光路的光斑分析，特别适用于不同波长的
大功率激光测量分析，同时实现成本的降低。采用楔形棱镜提取少量激光进行聚光光斑测量，有利于保证进入测量相机的激光能量满足相机损伤阈值要求，从而有利于实现装置对不同光路的测量，特别是对不同波长激光的聚焦激光测量。同时，将激光的入射光路垂直设置及将楔形棱镜的反射光路水平设置，从而通过调整楔形棱镜的入射角度，调整激光焦点到准直棱镜的距离，可调整进入到测量相机的激光能量，其调节方便容易操作。同时，设置有两组分析组件和第二分析组件，可实现装置对多波长激光聚焦光斑的分析需求。通过改进尾光吸收器的结构，提高折射光束吸收效率，同时有利于降低成本。
附图说明
[0018]图1是根据本专利技术实施例的光斑分析系统的正面结构示意图。
[0019]图2是根据本专利技术实施例的光斑分析系统的俯面结构示意图。
[0020]图3是根据本专利技术实施例的光斑分析系统的光路原理示意图。
[0021]图4是根据本专利技术实施例的光斑分析系统的尾光吸收器的结构示意图。
[0022]图5是根据本专利技术实施例的光斑分析系统的楔形棱镜的光路原理示意图。
[0023]图6是根据本专利技术实施例的多个楔形棱镜与多个锥形吸收件的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]标号名称标号名称100壳体230楔形棱镜110容腔240测量相机200分析组件250尾光吸收器210准直透镜251锥形吸收件220聚焦透镜300激光焦点
具体实施方式
[0026]以下将结合实施例和附图对本专利技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整的描述，以充分地理解本专利技术的目的、方案和效果。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0027]需要说明的是，如无特殊说明，当某一特征被称为“固定”、“连接”在另一个特征，它可以直接固定、连接在另一个特征上，也可以间接地固定、连接在另一个特征上。此外，本专利技术中所使用的上、下、左、右、顶、底等描述仅仅是相对于附图中本专利技术各组成部分的相互位置关系来说的。
[0028]此外，除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本
的技术人员通常理解的含义相同。本文说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例，而不是为了限制本专利技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的组合。
[0029]应当理解，尽管在本公开可能采用术语、、第三等来描述各种元件，但这些元件不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的元件彼此区分开。例如，在不脱离本公开范围的情况下，元件也可以被称为元件，类似地，元件也可以被称为元件。
[0030]参见图1至图6，本专利技术技术方案的光斑分析系统，包括壳体100和分析组件200，壳
体100设置有开口。分析组件200设置于壳体100内，用于光斑分析。分析组件200包括准直透镜210和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜230，以及用于测量反射光束的测量相机240和用于吸收透射光束的尾光吸收器250，激光焦点300均设置于开口处。准直透镜210设置于开口处，楔形棱镜230设置于准直透镜210和测量相机240之间。其中一个分析组件200设置有聚焦透镜220，聚焦透镜220设置于楔形棱镜230和测量相机240之间。
[0031]本专利技术实施例的光斑分析装置，可应用于不同光路的光斑分析，特别适用于不同波长的大功率激光聚焦光斑测量分析，同时实现成本的降低。光斑分析装置通过采用楔形棱镜230提取少量激光进行聚光光斑测量，有利于保证进入测量相机240的激光能量满足相机损伤阈值要求，从而有利于实现装置对不同光路的测量，特别是对不同波长激光的聚焦激光测量。同时，将激光的入射光路垂直设置及将楔形棱镜230的反射光路水平设置，从而通过调整楔形棱镜230的入射角度，以及调整激光焦点300到准直棱镜的距离，可调整进入到测量相机240的激光能量，其调节方便容易操作。同时，设置有两组分析组件200，可实现装置对多波长激光聚焦光斑的分析需求。具体地，本专利技术其中一个分析组件200未设置有聚焦透镜220，可用于对紫光激光和绿光激光的测量，而另一个设置有聚焦透镜220的分析组件200，可用于对二氧化碳激光光斑的测量。
[0032]在一实施例中，参见图1至图3，本专利技术实施例的分析组件200设置有两个，两个分析组件200对称地设置于壳体100上，从而可实现装置对多波长激光聚焦光斑的分析需求。参见图2，壳体100设置有两个相互独立且对称设置的容腔110，容腔110的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光斑分析系统，其特征在于，包括：壳体(100)，所述壳体(100)设置有开口；分析组件(200)，设置于所述壳体(100)内，用于光斑分析；所述分析组件(200)包括准直透镜(210)和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜(230)，以及用于测量所述反射光束的测量相机(240)和用于吸收所述透射光束的尾光吸收器(250)；所述准直透镜(210)设置于所述开口处，所述楔形棱镜(230)设置于所述准直透镜(210)和所述测量相机(240)之间；其中一个所述分析组件(200)设置有聚焦透镜(220)，所述聚焦透镜(220)设置于所述楔形棱镜(230)和所述测量相机(240)之间。2.根据权利要求1所述的光斑分析系统，其特征在于，所述分析组件(200)包括有两组，两组所述分析组件(200)对称设置于所述壳体(100)上。3.根据权利要求1所述的光斑分析系统，其特征在于，所述反射光束与激光的入射光束形成直角，所述透射光束与激光的入射光束形成钝角。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：董岱，杨军，张贤俊，
申请(专利权)人：珠海东辉半导体装备有限公司，
类型：发明
国别省市：