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本发明涉及光斑分析系统,其包括壳体和分析组件,壳体设置有开口,设置于壳体内,用于光斑分析,分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜,以及用于测量反射光束的测量相机和用于吸收透射光束的尾光吸收器,准直透镜设置于开口处...该专利属于珠海东辉半导体装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海东辉半导体装备有限公司授权不得商用。
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