一种高纯氪气分析系统技术方案

本发明专利技术提供了一种高纯氪气分析系统，包括气路系统、分离系统和检测系统，所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路，所述分离系统用于氪甲烷分离；优选的，所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀；优选的，所述十通阀为进样阀，三个所述四通阀分别为两个中心切割阀和一个柱选择阀；优选的，所述柱选择阀设置在两个中心切割阀之间，且与两个中心切割阀串联；优选的，所述四柱分别为两根3M5AMS1/8，一根15英尺1/8HAYESEPQ和一根20英尺1/8HAYESEPQ。本发明专利技术提供的一种高纯氪气分析系统，通过设置四阀四柱双中心切割气路，可以将氪中CH4准确定量，此外，串接氧氩分离系统可以在原设备基础上增加氧氩分离。氧氩分离。氧氩分离。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯氪气分析系统


[0001]本专利技术涉及高纯氪气分析
，具体为一种高纯氪气分析系统。

技术介绍

[0002]随着高新技术产业的发展，高纯气体的需求量逐渐增加，高纯气体在大规模集成电路的研究和生产。高纯金属的冶炼和处理、太阳能光伏产业等各领域都有着广泛的应用。
[0003]氪气是一种无色、无臭、无味的惰性气体，比空气约重2倍，十分不活泼，不能燃烧也不助燃，氪气在空气中的含量极少，每1m3空气中只含氪气1.14ml，目前制取氪气的方法主要有一下几种：1、从合成氨尾气中提取氪合成氨尾气提氩工艺流程副产氪和氙混合气，再经精馏、洗涤、除氧、吸附、解吸可制得99％氪气；2、空分法，从空分装置中提取氪、氙混合气，经提取贫氪、清理碳氢化合物和二氧化碳、分离，制得99.99％的纯氪；3、从核反应堆裂变气中提取氪综合利用核反应堆的裂解废气中放射性的Kr85；4、工业上实现的有氟里昂溶剂吸收法；5、工业上用分馏液体空气制得。
[0004]现有技术方案中，氪气和甲烷不好切割，导致无法准确定量。

技术实现思路
r/>[0005]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯氪气分析系统，其特征在于，包括气路系统、分离系统和检测系统，所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路，所述分离系统用于氪甲烷分离。2.根据权利要求1所述的一种高纯氪气分析系统，其特征在于：所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀。3.根据权利要求2所述的一种高纯氪气分析系统，其特征在于：所述十通阀为进样阀，三个所述四通阀分别为两个中心切割阀和一个柱选择阀。4.根据权利要求3所述的一种高纯氪气分析系统，其特征在于：所述柱选择阀设置在两个中心切割阀之间，且与两个中心切割阀串联。...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈浩，牛艳东，刘丽娜，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：