一种高纯氪气分析系统技术方案

本发明专利技术提供了一种高纯氪气分析系统，包括气路系统、分离系统和检测系统，所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路，所述分离系统用于氪甲烷分离；优选的，所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀；优选的，所述十通阀为进样阀，三个所述四通阀分别为两个中心切割阀和一个柱选择阀；优选的，所述柱选择阀设置在两个中心切割阀之间，且与两个中心切割阀串联；优选的，所述四柱分别为两根3M5AMS1/8，一根15英尺1/8HAYESEPQ和一根20英尺1/8HAYESEPQ。本发明专利技术提供的一种高纯氪气分析系统，通过设置四阀四柱双中心切割气路，可以将氪中CH4准确定量，此外，串接氧氩分离系统可以在原设备基础上增加氧氩分离。氧氩分离。氧氩分离。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯氪气分析系统


[0001]本专利技术涉及高纯氪气分析
，具体为一种高纯氪气分析系统。

技术介绍

[0002]随着高新技术产业的发展，高纯气体的需求量逐渐增加，高纯气体在大规模集成电路的研究和生产。高纯金属的冶炼和处理、太阳能光伏产业等各领域都有着广泛的应用。
[0003]氪气是一种无色、无臭、无味的惰性气体，比空气约重2倍，十分不活泼，不能燃烧也不助燃，氪气在空气中的含量极少，每1m3空气中只含氪气1.14ml，目前制取氪气的方法主要有一下几种：1、从合成氨尾气中提取氪合成氨尾气提氩工艺流程副产氪和氙混合气，再经精馏、洗涤、除氧、吸附、解吸可制得99％氪气；2、空分法，从空分装置中提取氪、氙混合气，经提取贫氪、清理碳氢化合物和二氧化碳、分离，制得99.99％的纯氪；3、从核反应堆裂变气中提取氪综合利用核反应堆的裂解废气中放射性的Kr85；4、工业上实现的有氟里昂溶剂吸收法；5、工业上用分馏液体空气制得。
[0004]现有技术方案中，氪气和甲烷不好切割，导致无法准确定量。

技术实现思路

[0005]本专利技术目的是提供一种高纯氪气分析系统，以解决现有技术中，氪气和甲烷不好切割，导致无法准确定量的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高纯氪气分析系统，包括气路系统、分离系统和检测系统，所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路，所述分离系统用于氪甲烷分离。
[0007]优选的，所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀。
[0008]优选的，所述十通阀为进样阀，三个所述四通阀分别为两个中心切割阀和一个柱选择阀。
[0009]优选的，所述柱选择阀设置在两个中心切割阀之间，且与两个中心切割阀串联。
[0010]优选的，所述四柱分别为两根3M5AMS1/8，一根15英尺1/8HAYESEP Q和一根20英尺1/8HAYESEPQ。
[0011]优选的，所述检测系统包括检测器，所述检测器采用DID放电离子化检测器。
[0012]优选的，所述四柱的接口均为VCR接口。
[0013]优选的，所述分离系统还串接有氧氩分离系统。
[0014]本专利技术至少具备以下有益效果：
[0015]本专利技术提供的一种高纯氪气分析系统，通过设置四阀四柱双中心切割气路，可以将氪中CH4准确定量，此外，串接氧氩分离系统可以在原设备基础上增加氧氩分离。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的气路系统结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0018]实施例
[0019]一种高纯氪气分析系统，包括气路系统、分离系统和检测系统，气路系统为四阀四柱双中心切割气路，分离系统用于氪甲烷分离。
[0020]其中，四阀分别为一个十通阀和三个四通阀，十通阀为进样阀，三个四通阀分别为两个中心切割阀和一个柱选择阀。
[0021]其中，四柱分别为两根3M5AMS1/8，一根15英尺1/8HAYESEPQ和一根20英尺1/8HAYESEPQ，四柱的接口均为VCR接口，气密性更好。
[0022]其中，检测系统包括检测器，检测器采用DID放电离子化检测器，检测器灵敏度更高，检出限更低。
[0023]其中，气路系统的气路流量采用双极调控，气源处为超高纯双极减压阀，纯化器后为超高纯双极减压阀，防止流量因温度变化而变化。
[0024]其中，分离系统还串接有氧氩分离系统，增加氧氩分离。
[0025]如图1所示，从左至右，依次为进样阀V1、中心切割阀V2、柱选择阀V3和中心切割阀V4；柱选择阀V3设置在中心切割阀V2和中心切割阀V4之间，且与两个中心切割阀串联。
[0026]检测原理：首先样品吹扫定量换，进样阀V1阀动切换让载气携带样品进入预柱进行预分离，杂质会在色谱柱中先吸附后脱附，根据先后流出顺序不同，确定保留时间，在底气(Kr)从预柱流出前到中心切割阀V2，CW阀切割放空(VENT1)，待后面组分即将从预柱流出时将V2阀切回CCW连接柱一分析，同理V4阀相同。
[0027]以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。
[0028]尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯氪气分析系统，其特征在于，包括气路系统、分离系统和检测系统，所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路，所述分离系统用于氪甲烷分离。2.根据权利要求1所述的一种高纯氪气分析系统，其特征在于：所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀。3.根据权利要求2所述的一种高纯氪气分析系统，其特征在于：所述十通阀为进样阀，三个所述四通阀分别为两个中心切割阀和一个柱选择阀。4.根据权利要求3所述的一种高纯氪气分析系统，其特征在于：所述柱选择阀设置在两个中心切割阀之间，且与两个中心切割阀串联。...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈浩，牛艳东，刘丽娜，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：