电子级磷化氢检测方法技术

本发明专利技术涉及电子级磷化氢检测技术领域，具体为电子级磷化氢检测方法，通过采用GM816氦离子化气相色谱仪，气路结构为双中心切割气路，气路材质为钝化不锈钢，分离部分，色谱柱同样采用钝化不锈钢材质的色谱柱，且本发明专利技术采用四阀四柱双中心切割气路和四路载气，其中四阀分别为V1十通阀进样、V2四通阀中心切割、V3柱选择阀、V4四通阀中心切割，并且本气路所有样品流经的管阀路均为钝化气路，同时，本方案中所有进样口、色谱柱接口均为VCR接头、其气密性更好，本方案重点利用氦离子化气相色谱仪特定的气路系统，设计了电子级一氧化碳的分析检测方法，实现了对一氧化碳中、O2、N2、CH4、CO、CO2和ASH3进行定性、定量的分析检测工作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子级磷化氢检测，具体是电子级磷化氢检测方法。

技术介绍

1、磷化氢，又名膦，分子式：ph3，一种无色气体，极毒，有鱼腥臭气味，是一种无色、高毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体，磷化氢主要用于硅烷外延的掺杂剂，磷扩散的杂质源，同时也用于多晶硅化学气相淀积、外延gap材料、离子注入工艺、化合物半导体的mocvd工艺、磷硅玻璃(psg)钝化膜制备等工艺中，气相色谱法是一种常用的有机化合物分析方法，可以用于测定有组织磷化氢，该方法基于样品中有组织磷化氢与某种气相色谱固定相发生相互作用，分离出不同的组分，并通过检测器进行定量分析。这种方法具有灵敏度高、分辨率好、准确性高等优点，但需要使用特定的色谱柱和检测器，气相色谱仪，是指用气体作为流动相的色谱分析仪器，其原理主要是利用物质的沸点、极性及吸附性质的差异实现混合物的分离，待分析样品在气化室气化后被惰性气体带入色谱柱内，柱内含有液体或固体固定相，样品中各组分都倾向于在流动相和固定相之间形成分配或吸附平衡，随着载气的流动，样品组分在运动中进行反复多次的分配或吸附/解吸，在载气中分配浓度大的组分先流出色谱本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.电子级磷化氢检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤S1中，V1阀CWV2阀CW V3阀CW样品吹扫LOOP1。

3.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤S2、S3，进样时V1阀CW-CCW载气1携带LOOP1样品进入PRECOL1进行预分离后再进入COL1进行再分析，在样品中杂质组分O2 N2 CH4 CO从PRECOL1流出后，V2阀CCW-CW切割放空主组分，不让主组分进入检测器。

4.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤S4、...

【技术特征摘要】

1.电子级磷化氢检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤s1中，v1阀cwv2阀cw v3阀cw样品吹扫loop1。

3.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤s2、s3，进样时v1阀cw-ccw载气1携带loop1样品进入precol1进行预分离后再进入col1进行再分析，在样品中杂质组分o2 n2 ch4 co从precol1流出后，v2阀ccw-cw切割放空主组分，不让主组分进入检测器。

4.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤s4、s5，v1阀ccw-cw载气2携带loop2样品进入precol2进行预分离后切割放空，在杂质组分从co2从precol1流出后，v4阀cw-ccw-cw，co2 ash3进入column2到检测器。

5.根据权利要求1所述的电子级磷化氢检测方法，其特征在于：所述步骤s6，通过进样时间与流速分别控制杂质组分进到检测器时间，通过v3柱选择阀选择col1/col2切换，所有杂质峰出在一张谱图上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贺楠，牛艳东，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：