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本发明涉及电子级磷化氢检测技术领域,具体为电子级磷化氢检测方法,通过采用GM816氦离子化气相色谱仪,气路结构为双中心切割气路,气路材质为钝化不锈钢,分离部分,色谱柱同样采用钝化不锈钢材质的色谱柱,且本发明采用四阀四柱双中心切割气路和四路载...该专利属于北京高麦克仪器科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京高麦克仪器科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及电子级磷化氢检测技术领域,具体为电子级磷化氢检测方法,通过采用GM816氦离子化气相色谱仪,气路结构为双中心切割气路,气路材质为钝化不锈钢,分离部分,色谱柱同样采用钝化不锈钢材质的色谱柱,且本发明采用四阀四柱双中心切割气路和四路载...