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本发明提供了一种高纯氪气分析系统,包括气路系统、分离系统和检测系统,所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路,所述分离系统用于氪甲烷分离;优选的,所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀;优选的,所述十通阀为进样阀,三个所述四通阀分别为两个中心切割...该专利属于北京高麦克仪器科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京高麦克仪器科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种高纯氪气分析系统,包括气路系统、分离系统和检测系统,所述气路系统为四阀四柱双中心切割气路,所述分离系统用于氪甲烷分离;优选的,所述四阀分别为一个十通阀和三个四通阀;优选的,所述十通阀为进样阀,三个所述四通阀分别为两个中心切割...