涂胶胶盘清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种涂胶胶盘清洗设备。本实用新型专利技术提供的涂胶胶盘清洗设备包括柜体、清洗装置以及废液回收装置；柜体包括顶板、底板、背板、左侧板、右侧板、操作台面以及支撑杆，清洗装置包括清洗桶和排液柱，废液回收装置包括排液管、排液手阀以及废液桶，排液柱设置在清洗桶的中间位置。本实用新型专利技术提供的涂胶胶盘清洗设备通过在清洗桶中设置排液柱，能够降低清洗用化学液的使用量，降低成本节约用料；同时整个清洗过程在柜体内完成，减少对环境的污染，提高操作的安全性。全性。全性。

【技术实现步骤摘要】
涂胶胶盘清洗设备


[0001]本技术涉及清洗设备
，特别涉及一种涂胶胶盘清洗设备。

技术介绍

[0002]在半导体制造中，光刻工艺是使用最频繁的关键技术之一，光刻工艺将掩膜图形转移到衬底表面的光刻胶图形上，一般的光刻流程包括前处理、匀胶、前烘、对准曝光、显影、后烘，可以根据实际情况调整流程中的操作。其中匀胶步骤需要在涂胶显影设备内完成，整个匀胶过程可大致分为：(1)将晶圆放置在真空吸盘上固定；(2)在晶圆中心喷洒光刻胶；(3)晶圆高速旋转，将光刻胶均匀的铺开。在此过程中大部分的光刻胶会被甩掉，为防止光刻胶在匀胶过程中污染整个单元，设备都会有胶盘进行保护，将甩出的光刻胶收集并排废。当胶盘使用时间过长时，由于光刻胶粘性较大，胶盘表面会附着厚厚的一层光刻胶，因此需对胶盘进行定期清洗。
[0003]传统的清洗胶盘的方式通常使用丙酮进行浸泡式清洗，取一个耐丙酮腐蚀的大桶，将胶盘放入其中，倒入足够多的丙酮，使胶盘浸没在丙酮中，过一段时间再进行手动擦拭清洗。胶盘如果不经过浸泡，很难完全清洗干净的，但此种操作方式存在安全隐患，同时清洗用化学液的使用量很大，成本较高且造成浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了克服已有技术的缺陷，提出一种涂胶胶盘清洗设备，能够在减少清洗用化学液的用量的同时提高操作安全性。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下具体技术方案：
[0006]本技术提供的涂胶胶盘清洗设备，包括柜体、清洗装置以及废液回收装置；柜体包括顶板、底板、背板、左侧板、右侧板、操作台面以及支撑杆；清洗装置包括清洗桶，废液回收装置包括排液管、排液手阀以及废液桶；
[0007]操作台面水平设置在柜体的中间处，将柜体分隔成上柜体和下柜体两部分，操作台面的两端分别与左侧板和右侧板固定连接；
[0008]清洗桶为圆柱形，清洗桶的直径大于空心圆柱形涂胶胶盘的外径；排液管设置在清洗桶的底部，排液手阀设置在排液管的排液出口处；废液桶设置在排液管的下部，用于接收清洗桶排出的液体；
[0009]操作台面上设置有至少一个圆形开口，圆形开口的直径大于清洗桶的直径；支撑杆水平设置在操作台面的下部，支撑杆的数量至少为一个，支撑杆的两端分别与左侧板和右侧板固定连接，支撑杆与操作台面的下表面之间的距离小于等于清洗桶的高度，用于将清洗桶固定在圆形开口内；
[0010]清洗装置还包括排液柱，用于设置在清洗桶的中间位置以减少清洗用化学液的使用量；排液柱包括柱体和支叉，排液柱的高度小于等于清洗桶的高度；柱体为空心圆柱形结构，柱体的内部填充有配重物；支叉为实心圆柱形结构，支叉的数量至少为三个；支叉与柱
体的外侧面垂直地设置在柱体远离桶底的一端，且支叉沿柱体的外侧面呈圆周均匀分布；支叉的长度与柱体的半径之和等于清洗桶的半径，支叉用于当排液柱设置在清洗桶内时支撑在清洗桶的内壁上，以防止排液柱倾倒。
[0011]优选地，柜体还包括上柜门组件和下柜门组件；上柜门组件包括左上柜门和右上柜门，左上柜门铰接在上柜体的左侧板上，右上柜门铰接在上柜体的右侧板上，左上柜门和右上柜门的靠近处分别设置有扣手；
[0012]下柜门组件包括左下柜门和右下柜门，左下柜门铰接在下柜体的左侧板上，右下柜门铰接在下柜体的右侧板上，左下柜门和右下柜门的靠近处分别设置有扣手。
[0013]优选地，清洗装置还包括圆形的清洗桶盖，其直径大于等于清洗桶的直径，用于盖合在清洗桶上。
[0014]优选地，圆形开口的数量为两个。
[0015]优选地，支撑杆的数量为两个。
[0016]优选地，清洗装置还包括钩子，用于在清洗结束后取出涂胶胶盘。
[0017]优选地，背板上设置有至少一个排风口，用于连接排风设备。
[0018]优选地，顶板的上部设置有悬挂式灭火器。
[0019]本技术能够取得如下技术效果：
[0020]本技术提供的涂胶胶盘清洗设备通过在清洗桶中设置排液柱，能够降低清洗用化学液的使用量，降低成本节约用料；同时整个清洗过程在柜体内完成，减少对环境的污染，提高操作的安全性。
附图说明
[0021]图1是根据本技术实施例提供的涂胶胶盘清洗设备的立体图。
[0022]图2是根据本技术实施例提供的涂胶胶盘清洗设备的结构示意图。
[0023]图3是根据本技术实施例提供的清洗装置及废液回收装置的结构示意图。
[0024]图4是根据本技术实施例提供的排液柱的结构示意图。
[0025]图5是根据本技术实施例提供的排液柱及涂胶胶盘设置在清洗桶内时的剖视图。
[0026]图6是根据本技术实施例提供的排风口及悬挂式灭火器的设置位置示意图。
[0027]图7是根据本技术实施例提供的钩子的结构示意图。
[0028]其中的附图标记包括：
[0029]顶板1、底板2、背板3、左侧板4、右侧板5、上柜门组件6、下柜门组件7、排液柱8、操作台面9、清洗桶10、支撑杆11、废液桶12、清洗桶盖13、排液管14、排液手阀15、排风口16、悬挂式灭火器17、扣手18、柱体19、支叉20。
具体实施方式
[0030]在下文中，将参考附图描述本技术的实施例。在下面的描述中，相同的模块使用相同的附图标记表示。在相同的附图标记的情况下，它们的名称和功能也相同。因此，将不重复其详细描述。
[0031]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体
实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，而不构成对本技术的限制。
[0032]本技术提供一种涂胶胶盘清洗设备，图1示出了涂胶胶盘清洗设备的立体结构，图2示出了涂胶胶盘清洗设备的具体结构。
[0033]如图1和图2所示，涂胶胶盘清洗设备包括柜体、清洗装置以及废液回收装置；柜体包括顶板1、底板2、背板3、左侧板4、右侧板5、操作台面9以及支撑杆11；清洗装置包括清洗桶10，废液回收装置包括排液管14、排液手阀15以及废液桶12。
[0034]操作台面9水平设置在柜体的中间处，将柜体分隔成上柜体和下柜体两部分；操作台面9的两端分别与左侧板4和右侧板5固定连接。
[0035]图3示出了本实施例提供的清洗装置及废液回收装置的结构，如图3所示，清洗桶10为圆柱形，清洗桶10的直径大于空心圆柱形涂胶胶盘的外径；排液管14设置在清洗桶10的底部，排液手阀15设置在排液管14的排液出口处；废液桶12设置在排液管14的下部，用于接收清洗桶10排出的液体；
[0036]操作台面9上设置有至少一个圆形开口，圆形开口的直径大于清洗桶10的直径；支撑杆11水平设置在操作台面9的下部，支撑杆11的数量至少为一个，支撑杆11的两端分别固定在左侧板和右侧板上，支撑杆11与操作台面9的下表面之间的距离小于等于清洗桶10的高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶胶盘清洗设备，包括柜体、清洗装置以及废液回收装置；所述柜体包括顶板、底板、背板、左侧板、右侧板、操作台面以及支撑杆；所述清洗装置包括清洗桶，所述废液回收装置包括排液管、排液手阀以及废液桶；所述操作台面水平设置在所述柜体的中间处，将所述柜体分隔成上柜体和下柜体两部分，所述操作台面的两端分别与所述左侧板和所述右侧板固定连接；所述清洗桶为圆柱形，所述清洗桶的直径大于空心圆柱形涂胶胶盘的外径；所述排液管设置在所述清洗桶的底部，所述排液手阀设置在所述排液管的排液出口处；所述废液桶设置在所述排液管的下部，用于接收所述清洗桶排出的液体；所述操作台面上设置有至少一个圆形开口，所述圆形开口的直径大于所述清洗桶的直径；所述支撑杆水平设置在所述操作台面的下部，所述支撑杆的数量至少为一个，所述支撑杆的两端分别与所述左侧板和所述右侧板固定连接，所述支撑杆与所述操作台面的下表面之间的距离小于等于所述清洗桶的高度，用于将所述清洗桶固定在所述圆形开口内；其特征在于，所述清洗装置还包括排液柱，用于设置在清洗桶的中间位置以减少清洗用化学液的使用量；所述排液柱包括柱体和支叉，所述排液柱的高度小于等于所述清洗桶的高度；所述柱体为空心圆柱形结构，所述柱体的内部填充有配重物；所述支叉为实心圆柱形结构，所述支叉的数量至少为三个；所述支叉与所述柱体的外侧面垂直地设置在所述柱体远离桶底的一端，且所述支叉沿所述柱体的外...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘耀聪，孙慧杰，
申请(专利权)人：长春长光圆辰微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：