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本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种涂胶胶盘清洗设备。本实用新型提供的涂胶胶盘清洗设备包括柜体、清洗装置以及废液回收装置；柜体包括顶板、底板、背板、左侧板、右侧板、操作台面以及支撑杆，清洗装置包括清洗桶和排液柱，废液回收装置包括排液...
该专利属于长春长光圆辰微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春长光圆辰微电子技术有限公司授权不得商用。

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