晶粒取放机构制造技术

本发明专利技术是一种取放晶粒机构，包含一固定结构、一第一连杆、一第二连杆以及一弹性件连接所述的第一连杆以及第二连杆，所述的固定结构具有一第一侧以及第二侧，所述的第一连杆具有一第一活动端在所述的第二侧、一第一尾端枢接于所述的第一侧，以及一第一传动件设置在所述的第一连杆上，所述的第二连杆具有一第二活动端在所述的第二侧、一第二尾端枢接于所述的第一侧，以及一第二传动件设置在所述的第二连杆上，所述的第一传动件以及第二传动件间设有一凸轮，由所述的凸轮转动推动所述的第一传动件以及第二传动件，并由所述的弹性件拉动所述的第一连杆以及第二连杆周期性摆动，由所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动并作晶粒的取放。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种取放晶粒的机构，尤指一种可准确且快速定位、避免摆臂抖震、晃 动，且结构简单、故障率低的机构。
技术介绍
利用摆臂取放元件的装置被广泛应用于不同
制程中，就半导体制程而 言，必须利用到摆臂拾取集成电路，由于切割后的集成电路体积极小，因此用来拾取集成电 路的摆臂的定位必须十分精准，而为了提高生产率，又必须兼顾摆臂位移速度。一般半导体业者是采用四连杆机构带动摆臂，但是四连杆机构容易故障，且定位 性差、容易抖震、晃动，且连杆关节连结处容易故障。请参阅图1所示一种现有技术，其主要是由凸轮11推动从动件12，并使用回复弹 簧13顶推所述的从动件12，使所述的从动件12进行往复移动，但在进行过程中会因为所 述的凸轮11受到所述的回复弹簧13顶推所述的从动件12的阻力，因而降低所述的从动件 12往复移动的作动速度。请参阅图2所示中国台湾新型专利公告号582460“共轭凸轮取放机构”，其观念是 由传统的共轭凸轮21进行改良，但其缺点在于，其连结杆22的两端是枢接于主动连杆23 以及从动连杆24上，使所述的连结杆22与所述的主动连杆22之间的主动滚轮25可以旋 转，同样地，所述的连结杆22与所述的从动连杆24之间的从动滚轮26也可以旋转，但是， 这种结构使用一段时间后，所述的主动滚轮25以及从动滚轮26会被磨耗，使得精度下降， 且维修不易。
技术实现思路
有鉴于现有技术的缺失，本专利技术提出一种取放晶粒机构，可准确且快速定位、避免 摆臂抖震、晃动，且结构简单、故障率低。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是一种晶粒取放机构，其特征在于，包含一固定结构，具有相对的一第一侧以及第二侧；一第一连杆，具有一第一活动端、一第一传动件以及一第一尾端，所述的第一传动 件设置在所述的第一连杆上，所述的第一尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的 第一活动端在所述的固定结构的第二侧；一第二连杆，具有一第二活动端、一第二传动件以及一第二尾端，所述的第二传动 件设置在所述的第二连杆上，所述的第二尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的 第二活动端在所述的固定结构的第二侧；一凸轮，设置在所述的第一传动件以及所述的第二传动件之间；以及一弹性件，连接所述的第一连杆与所述的第二连杆；其中，凭借所述的凸轮的转动，以分别推动所述的第一传动件以及所述的第二传动件，并凭借所述的弹性件拉动，以使所述的第一连杆以及所述的第二连杆产生周期性摆 动，凭借所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动，并作所述的晶粒的取放。与现有技术相比较，本专利技术具有的有益效果是本专利技术提供的晶粒取放机构，利 用弹性件吸收凸轮转动时所述的第一传动件以及所述的第二传动件的间距离的变化量，此 外，由于使用所述的弹性件，因此在所述的第一连杆以及第二连杆并不需要轴承，因此不会 影响结构的精度，可准确且快速定位、避免摆臂抖震、晃动，且其结构简单、故障率低，再配 合偏心轮组，可驱动摆臂作X、Y、Z三轴向摆动。附图说明图1现有利用凸轮以及回复弹簧驱动从动件的结构示意图；图2是现有中国台湾新型专利公告号582460的结构示意图；图3是本专利技术实施例的立体结构图；图4是图3实施例除去固定结构以及偏心轮组的立体结构图；图5至图7是分别显示当凸轮旋转时，所述的摆臂位置变化的俯视图。附图标记说明11_凸轮；12-从动件；13-回复弹簧；21-共轭凸轮；22-连结杆； 23-主动连杆；24-从动连杆；25-主动滚轮；26-从动滚轮；30-晶粒取放机构；31-固定结 构；311-第一侧；312-第二侧；32-第一连杆；321-第一活动端；322-第一传动件；323-H 一尾端；324-第一转动机构；33-第二连杆；331-第二活动端；332-第二传动件；333-第 二尾端；334-第二转动机构；34-凸轮；341-轴心；342-中垂线；343-水平线；35-弹性 件；36-传动机构；361-滑块；362-滑轨；37-摆臂；371-嘴部；372-真空装置；38-偏心轮 组；381-弹性装置；382-偏心轮；383-驱动装置；384-基座；rl_第一半径；r2_第二半径； r3-第三半径；r4-第四半径；θ 1、θ 2-角度。具体实施例方式以下将参照随附的图式来描述本专利技术为达成目的所使用的技术手段与功效，而以 下图式所列举的实施例仅为辅助说明，以利贵审查委员了解，但本案的技术手段并不限于 所列举图式。请参阅图3至图5所示，本专利技术提出的一种晶粒取放机构30，包含一固定结构31、 一第一连杆32、一第二连杆33、一凸轮34以及一弹性件35。所述的固定结构31具有相对的一第一侧311以及第二侧312。所述的第一连杆32具有一第一活动端321、一第一传动件322以及一第一尾端 323，所述的第一传动件322设置在所述的第一连杆32上，所述的第一尾端323枢接于所 述的固定结构31的第一侧311上，所述的第一活动端321在所述的固定结构31的第二侧 312 ；所述的第一传动件322位于所述的第一活动端321与所述的第一尾端323之间；所述 的第一连杆32具有一第一转动机构324，设置在所述的第一尾端323，所述的第一转动机构 324枢接于所述的固定结构31，在本实施例中，所述的第一转动机构324为轴承。所述的第二连杆33具有一第二活动端331、一第二传动件332以及一第二尾端 333，所述的第二传动件332设置在所述的第二连杆33上，所述的第二尾端333枢接于所 述的固定结构31的第一侧311上，所述的第二活动端331在所述的固定结构31的第二侧5312 ；所述的第二传动件332位于所述的第二活动端331与所述的第二尾端333之间；所述 的第二连杆33具有一第二转动机构334，设置在所述的第二尾端333，所述的第二转动机构 334枢接于所述的固定结构31，在本实施例中，所述的第二转动机构334为轴承；所述的第 一连杆32以及第二连杆33概呈平行。所述的凸轮34设置在所述的第一传动件322以及所述的第二传动件332之间； 所述的凸轮34是通过一驱动装置驱动作全周或180度半周往复旋转；所述的凸轮34的外 围是弧形，所述的凸轮具有一轴心341，对应所述的轴心341，所述的凸轮34具有一中垂线 342以及一水平线343，如图5所示，对应所述的轴心341的中垂线342上，所述的轴心341 到所述的凸轮34的外围两端具有一第一半径rl、一第二半径r2，所述的第一半径rl不等 于所述的第二半径r2，如图所示，则所述的第一半径rl小于所述的第二半径r2，对应所述 的轴心341的水平线343上，所述的轴心341到所述的凸轮34的外围两端具有一第三半径 r3以及一第四半径r4，所述的第三半径r3约略等于所述的第四半径r4。对应轴心341的 所述的中垂线342以及水平线343，所述的凸轮34的外围两端的距离并不相等，即，第一半 径rl与一第二半径r2的加总距离，第三半径r3以及一第四半径r4的加总距离，两者并不 相等。所述的弹性件35连接所述的第一连杆32与所述的第二连杆33 ；第一连杆32以及 所述的第二连杆33凭借所述的弹性件35的拉力，使所述的第一传动件322以及第二传动 件332抵靠在所述的凸轮34的外围。在本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶粒取放机构，其特征在于，包含：一固定结构，具有相对的一第一侧以及第二侧；一第一连杆，具有一第一活动端、一第一传动件以及一第一尾端，所述的第一传动件设置在所述的第一连杆上，所述的第一尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的第一活动端在所述的固定结构的第二侧；一第二连杆，具有一第二活动端、一第二传动件以及一第二尾端，所述的第二传动件设置在所述的第二连杆上，所述的第二尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的第二活动端在所述的固定结构的第二侧；一凸轮，设置在所述的第一传动件以及所述的第二传动件之间；以及一弹性件，连接所述的第一连杆与所述的第二连杆；其中，凭借所述的凸轮的转动，以分别推动所述的第一传动件以及所述的第二传动件，并凭借所述的弹性件拉动，以使所述的第一连杆以及所述的第二连杆产生周期性摆动，凭借所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动，并作所述的晶粒的取放。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨天德，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]