一种防止晶圆搭片的热板设备制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加热设备技术领域，提供了一种防止晶圆搭片的热板设备，包括：底座，所述底座的顶部开有多个沿周向布置的导向槽，所述导向槽内设置有滑块，所述滑块与所述导向槽的内壁滑动接触，所述滑块的顶部设置有挡杆；加热板，所述加热板固定安装在所述底座的顶部；以及多个驱动组件，多个所述驱动组件与多个所述导向槽一一对应设置，所述驱动组件用于控制所述导向槽内的所述滑块移动。本实用新型专利技术的目的是提供一种防止晶圆搭片的热板设备，即使机械手臂出现合理范围的误差，晶圆依然会准确进入到圆形限位空间内。准确进入到圆形限位空间内。准确进入到圆形限位空间内。

【技术实现步骤摘要】
一种防止晶圆搭片的热板设备


[0001]本技术涉及晶圆加热设备
，具体涉及一种防止晶圆搭片的热板设备。

技术介绍

[0002]在半导体器件制造的光刻工艺流程中，晶圆的热处理是极其重要的工艺步骤，一般使用热板对晶圆上的光刻胶进行烘烤。
[0003]现有热板上一般设置了多个的垫圈；多个垫圈在热板表面围成一个圆形限位空间。机械手臂将晶圆传送至圆形限位空间时，由于惯性会先搭在传送路径终点位置的垫圈上。晶圆搭片现象的发生，会造成热板对晶圆上各个位置的热处理效果不均匀分布。
[0004]授权公告号为CN202473851U的中国技术专利公开了一种防止晶圆搭片的热板设备，其垫圈没有设置在晶圆传送路径的终点位置，从而避免出现搭片现象。但是这依然对机械手臂的工作精度提出了很高的要求，若机械手臂的工作出现合理范围的误差，晶圆依然会无法进入到圆形限位空间内或者搭在其它垫圈上。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种防止晶圆搭片的热板设备，即使机械手臂出现合理范围的误差，晶圆依然会准确进入到圆形限位空间内。
[0006]为了实现上述目的，本技术通过如下的技术方案来实现：一种防止晶圆搭片的热板设备，包括：
[0007]底座，所述底座的顶部开有多个沿周向布置的导向槽，所述导向槽内设置有滑块，所述滑块与所述导向槽的内壁滑动接触，所述滑块的顶部设置有挡杆；
[0008]加热板，所述加热板固定安装在所述底座的顶部；以及
[0009]多个驱动组件，多个所述驱动组件与多个所述导向槽一一对应设置，所述驱动组件用于控制所述导向槽内的所述滑块移动。
[0010]进一步地，所述驱动组件包括丝杆和电机，所述丝杆沿横向穿过所述滑块、且两端均与所述导向槽的内壁转动连接，所述丝杆与所述滑块螺纹连接，所述电机用于控制所述丝杆旋转，所述电机与外部控制柜电连接。
[0011]进一步地，所述挡杆的外壁上套设有橡胶套。
[0012]进一步地，所述挡杆与所述滑块转动连接。
[0013]进一步地，所述挡杆的顶部设置有万向滚珠，所述万向滚珠与所述挡杆万向连接。
[0014]进一步地，所述导向槽具有四个，四个所述导向槽沿周向间隔布置在所述底座上。
[0015]本技术的有益效果：本技术提供的一种防止晶圆搭片的热板设备，当机械手臂出现合理范围的误差，晶圆搭在挡杆上。这时驱动组件启动，滑块便会带动挡杆向外移动，晶圆便会准确落入到圆形限位空间内。接着驱动组件控制滑块和挡杆复位，将晶圆移动到合适位置并稳固。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构示意图；
[0017]图2为图1中A部的放大结构示意图；
[0018]图3为本技术的俯视结构示意图；
[0019]图4为本技术的正视结构示意图。
[0020]附图标记：10
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底座、11
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导向槽、12
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滑块、13
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挡杆、14
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橡胶套、15
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万向滚珠、20
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加热板、21
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弧形槽、30
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驱动组件、31
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丝杆、32
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电机、40
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晶圆。
具体实施方式
[0021]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0022]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“纵”、“横”、“水平”、“顶”、“底”、“上”、“下”、“内”和“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]如图1
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4所示，本技术提供一种防止晶圆搭片的热板设备，包括底座10、加热板20和驱动组件30。
[0026]底座10的顶部开有多个向下延伸、且沿周向依次等间隔布置的导向槽11。导向槽11内设置有滑块12，滑块12与导向槽11的内壁滑动接触，滑块12的顶部设置有沿纵向延伸的挡杆13。
[0027]加热板20固定安装在底座10的顶部、且与外部控制柜电连接，加热板20上开有与导向槽11相对应的弧形槽21，挡杆13从弧形槽21伸出。
[0028]驱动组件30具有多个，多个驱动组件30与多个导向槽11一一对应设置，驱动组件30用于控制对应导向槽11内的滑块12移动。
[0029]初始状态下，滑块12均位于导向槽11的内侧，所有的挡杆13与加热板20之间围成一个圆形限位空间。
[0030]具体地使用过程为：机械臂抓取晶圆40移动，将晶圆40放置在圆形限位空间内，然后外部控制柜控制加热板20启动，加热板20便会对晶圆40进行均匀加热。
[0031]当机械手臂出现合理范围的误差时，机械手臂松开晶圆40，晶圆40搭在挡杆13上。这时工作人员控制驱动组件30启动，滑块12便会带动挡杆13向外移动，此时圆形限位空间变大，晶圆40便会从搭在的挡杆13上滑落，准确落入到圆形限位空间内。接着驱动组件30控
制滑块12和挡杆13复位，圆形限位空间变小，挡杆13将晶圆40移动到合适位置并稳固。
[0032]在一个实施例中，驱动组件30包括丝杆31和电机32。丝杆31沿横向穿过滑块12、且两端均与导向槽11的内壁转动连接，丝杆31与滑块12螺纹连接。电机32固定安装在底座10上、用于控制丝杆31旋转，电机32与外部控制柜电连接。
[0033]驱动组件30启动时，工作人员通过外部控制柜控制电机32启动，电机32带动丝杆31旋转，在导向槽11的作用下，滑块12便会带动挡杆13在导向槽11内移动。这种驱动组件30的结构简单，便于生产制造和使用。
[0034]在一个实施例中，挡杆13的外壁上套设有橡胶套14。橡胶套14的设计能够避免晶圆40与挡杆13直接接触，对晶圆40起到保护作用。同时橡胶套14的材质紧密，不会因挤压而过度收缩，因此能够将晶圆40稳固地限制在圆形限位空间内。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止晶圆搭片的热板设备，其特征在于：包括：底座，所述底座的顶部开有多个沿周向布置的导向槽，所述导向槽内设置有滑块，所述滑块与所述导向槽的内壁滑动接触，所述滑块的顶部设置有挡杆；加热板，所述加热板固定安装在所述底座的顶部；以及多个驱动组件，多个所述驱动组件与多个所述导向槽一一对应设置，所述驱动组件用于控制所述导向槽内的所述滑块移动。2.根据权利要求1所述的一种防止晶圆搭片的热板设备，其特征在于：所述驱动组件包括丝杆和电机，所述丝杆沿横向穿过所述滑块、且两端均与所述导向槽的内壁转动连接，所述丝杆与所述滑块螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫丽，
申请(专利权)人：中芯启通微电子成都有限公司，
类型：新型
国别省市：