一种非接触式晶圆传递装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种非接触式晶圆传递装置，包括移动底座，移动底座上设有升降杆，升降杆底端安装有伯努利吸盘和若干真空吸盘；还包括控制单元，升降杆上安装有视觉检测装置和高度检测装置，控制单元根据视觉检测装置、高度检测装置的检测信息，控制移动底座在水平或竖直方向上移动。本实用新型专利技术同时设置了伯努利吸盘和真空吸盘，伯努利吸盘利用伯努利原理，在吸附隔离纸时，将隔离纸与下方晶圆分离开，真空吸盘用于增加吸附的稳固性，完成隔离纸、晶圆的移动工作。晶圆的移动工作。晶圆的移动工作。

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式晶圆传递装置


[0001]本技术涉及晶圆
，特别涉及一种非接触式晶圆传递装置。

技术介绍

[0002]晶圆制造出来后一般被收纳在晶圆盒内，一个晶圆盒内可叠层存储20～30片晶圆，相邻晶圆之间通过隔离纸进行分隔。晶圆从晶圆盒中被取出时，需要将晶圆、隔离纸依次取出，由于隔离纸比较轻薄，常规真空机械手在吸附隔离纸时，容易将隔离纸下方的晶圆一并吸附起来，造成晶圆的损伤，而手动拾取隔离纸的工作效率又十分低下，且人工成本高昂。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提供了一种非接触式晶圆传递装置，可单独吸附隔离纸，有效分离隔离纸与晶圆，避免晶圆损伤。
[0004]为此，本技术的技术方案是：一种非接触式晶圆传递装置，包括移动底座，移动底座上设有升降杆，升降杆底端安装有伯努利吸盘和若干真空吸盘；还包括控制单元，升降杆上安装有视觉检测装置和高度检测装置，控制单元根据视觉检测装置、高度检测装置的检测信息，控制移动底座在水平或竖直方向上移动。
[0005]本技术利用伯努利原理，通过向伯努利吸盘下方通气来增大伯努利吸盘与隔离纸之间的空气流速，使得两者之间的压强减小，隔离纸下方的大气压强会将隔离纸向上抬起，从而与下方晶圆分离；此时，真空吸盘开始工作，将分离的隔离纸取出，真空吸盘可以更加稳定地吸附住隔离纸或晶圆。
[0006]在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述真空吸盘绕设于伯努利吸盘外侧，且真空吸盘底部低于伯努利吸盘底部。
[0007]在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述升降杆底端固定安装一连接板，伯努利吸盘安装在连接板的中间位置，真空吸盘固定在连接板外围。
[0008]在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述升降杆为中空结构，内部设有气道，升降杆下方设有多个第一气路接口，第一气路接口通过气管连接真空吸盘；所述升降杆顶端连接真空设备，真空吸盘通过第一气路接口、气道连接至真空设备。
[0009]在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包括驱使移动底座在水平和竖直方向移动的驱动机构，控制单元控制移动机构工作。
[0010]在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述驱动机构包括互相垂直的第一直线模组和第二直线模组，第二直线模组通过连接座滑动安装在第一直线模组上，移动底座滑动安装在第二直线模组上。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、同时设置了伯努利吸盘和真空吸盘，伯努利吸盘利用伯努利原理，在吸附隔离纸时，将隔离纸与下方晶圆分离开，真空吸盘用于增加吸附的稳固性，完成隔离纸、晶圆的
移动工作；
[0013]2、视觉检测装置可以获取下方晶圆与隔离纸图像信息，准确识别晶圆或隔离纸，确保吸盘可以精准工作；
[0014]3、高度检测装置可以有效获取下方晶圆与隔离纸的高度位置信息，保证移动底座移动到位，确保吸附位置的准确性。
附图说明
[0015]以下结合附图和本技术的实施方式来作进一步详细说明
[0016]图1、图2为本技术的结构示意图；
[0017]图3为图2的局部放大图；
[0018]图4为本技术伯努利吸盘、真空吸盘的仰视图；
[0019]图5为本技术升降杆的结构剖视图；
[0020]图6为本技术伯努利吸盘的结构示意图；
[0021]图7为本技术的使用状态图；
[0022]图8为图7的局部放大图。
[0023]图中标记为：移动底座1、第一直线模组2、第二直线模组3、连接座4、升降杆5、气道51、第一气路接口52、连接板6、伯努利吸盘7、进风口71、限位块72、真空吸盘8、第二气路接口81、视觉检测装置9、高度检测装置10、隔离纸11。
具体实施方式
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。
[0025]此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]参见附图。本实施例所述非接触式晶圆传递装置，包括控制单元、移动底座1和驱使移动底座移动的驱动机构，所述驱动机构包括互相垂直的第一直线模组2和第二直线模组3，第一直线模组2为水平结构，第二直线模组3为竖直结构，第二直线模组3通过连接座4滑动安装在第一直线模组2上，移动底座1滑动安装在第二直线模组3上。第一直线模组2和第二直线模组3由控制单元来控制工作，保证移动底座1平移和升降的准确性。
[0027]所述移动底座1上设有升降杆5，升降杆5底端固定安装一连接板6，连接板6上固定有伯努利吸盘7和若干真空吸盘8，伯努利吸盘7安装在连接板6的中间位置，真空吸盘8绕设在伯努利吸盘7外围，且真空吸盘7底部低于伯努利吸盘7底部，方便伯努利吸盘悬空吸附。
[0028]所述升降杆5为中空结构，内部设有气道51，升降杆5下方设有多个第一气路接口
52，第一气路接口52通过气管连接真空吸盘8；所述升降杆5顶端连接真空设备，真空吸盘8通过第一气路接口52、气道51连接至真空设备。所述真空吸盘8为柱形结构，上端的第二气路接口81通过气管连接第一气路接口52，再经由升降杆5内部的气道51连接至真空设备，避免真空吸盘上方的管路凌乱。
[0029]所述伯努利吸盘7为圆盘状结构，伯努利吸盘下方设有限位块72，保证隔离纸与伯努利吸盘之间留有一定的间隙；所述伯努利吸盘侧面设有进风口71，进风口71通过气管接头连接连通至气源，用于向伯努利吸盘7下方通气，从而加快伯努利吸盘下方空气流速，减小压强。
[0030]所述升降杆5上安装有视觉检测装置9和高度检测装置10，视觉检测装置9竖向设置，通过支架安装在升降杆5上，视觉检测装置可以选用现有的视觉检测系统，例如CCD相机检测系统、CMOS相机检测系统、TOF相机检测系统等。视觉检测装置可以获取下方晶圆与隔离纸图像信息，准确识别晶圆或隔离纸。
[0031]所述高度检测装置10同样竖向设置，通过支架安装在升降杆5上，高度检测装置可以选用现有的高度检测传感器，例如激光测距传感器、超声波检测传感器、红外线检测传感器、毫米波雷达检测传感器等，只要能有效获取下方晶圆与隔离纸的高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非接触式晶圆传递装置，其特征在于：包括移动底座，移动底座上设有升降杆，升降杆底端安装有伯努利吸盘和若干真空吸盘；还包括控制单元，升降杆上安装有视觉检测装置和高度检测装置，控制单元根据视觉检测装置、高度检测装置的检测信息，控制移动底座在水平或竖直方向上移动。2.如权利要求1所述的一种非接触式晶圆传递装置，其特征在于：所述真空吸盘绕设于伯努利吸盘外侧，且真空吸盘底部低于伯努利吸盘底部。3.如权利要求1所述的一种非接触式晶圆传递装置，其特征在于：所述升降杆底端固定安装一连接板，伯努利吸盘安装在连接板的中间位置，真空吸盘固定在连接板外围。4.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孝军，叶家焱，杨晓岗，陈冬云，
申请(专利权)人：上海允哲机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：