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本实用新型涉及晶圆加热设备技术领域，提供了一种防止晶圆搭片的热板设备，包括：底座，所述底座的顶部开有多个沿周向布置的导向槽，所述导向槽内设置有滑块，所述滑块与所述导向槽的内壁滑动接触，所述滑块的顶部设置有挡杆；加热板，所述加热板固定安装在所...
该专利属于中芯启通微电子（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯启通微电子（成都）有限公司授权不得商用。

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