本实用新型专利技术涉及一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，属于半导体离子注入设备技术领域。所述离子注入机设备包括若干机体，若干所述机体上分别连接排风管道，所述排风管道内分别设有风压测试表；所述机体上分别设有信号触发器，所述风压测试表与信号触发器信号连接，所述信号触发器与可视化显示终端信号连接。还设有远程报警器，所述远程报警器与信号触发器信号连接，所述远程报警器设于操作人员集中处。所述可视化显示终端包括LED电子屏和信号接收器，所述信号接收器与信号触发器信号连接，所述信号接收器通过RS485通讯连接LED电子屏。本申请结构简单，操作便捷，帮助操作人员第一时间知晓并准确处置险情，防止灾情扩大、事态蔓延。事态蔓延。事态蔓延。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统
[0001]本技术涉及一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，属于半导体离子注入设备
技术介绍
[0002]传统的半导体制造过程中，离子注入设备是集成电路制造前工序中的关键设备，有着不可替代的作用，同时离子注入设备生产中危险源多、生产工艺复杂，各有毒有害废气在设备中流转和进放，风压低时导致极易发生废气倒灌等灾害事故，产生难以预知的风险。普通操作员工灾害规避意识水平参差不齐，当发生意外灾害情况时，容易不知所措，需要提供明确的指引。现有产线离子注入设备有以下不足之处：
[0003]1、离子注入设备无风压探测功能，一旦风压低造成倒灌险情时无法及时提醒员工。
[0004]2、离子注入设备故障异常时报警器在设备本体，声音、光源传播空间有限。
[0005]3、离子注入设备存在倒灌险情时，同一区域有多台设备，员工第一时间无法判断哪台设备需要处置。
[0006]4、管理、操作人员相对聚集的管理平台距离离子注入设备较远，无法将隐患消灭于萌芽状态。
技术实现思路
[0007]本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，帮助操作人员第一时间知晓并准确处置险情，防止灾情扩大、事态蔓延。
[0008]本技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，所述离子注入机设备包括若干机体，若干所述机体上分别连接排风管道，所述排风管道内分别设有风压测试表，对所述排风管道内的风压进行测试；所述机体上分别设有信号触发器，所述风压测试表与信号触发器信号连接，所述信号触发器与可视化显示终端信号连接，所述风压测试表监测的风压值低于设定风压值时，所述信号触发器被触发，进而将信号发射至可视化显示终端，所述可视化显示终端显示报警的机体。
[0009]还设有远程报警器，所述远程报警器与信号触发器信号连接，所述远程报警器设于操作人员集中处。
[0010]所述可视化显示终端包括LED电子屏和信号接收器，所述信号接收器与信号触发器信号连接，所述信号接收器通过RS485通讯连接LED电子屏。
[0011]所述信号接收器和信号触发器内分别设有信号传输模块。
[0012]所述风压测试表通过低限位继电器与信号触发器信号连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的优点在于：一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，结构简单，操作便捷，风压测试表对排风管道内的风压进行监测，监测的风压值
低于设定风压值时，低限位继电器触发对应的信号触发器发出信号，使得可视化显示终端显示报警的机体，对可视化显示终端实时监控，进而能第一时间知晓。信号触发器还与远程报警器信号连接，远程报警器设于操作人员集中处，能够第一时间提醒远处的操作人员发现隐患。利用全新设计的排风监测集成系统满足实际生产的安全需求，亦能有效帮助操作人员第一时间知晓并准确处置险情，防止灾情扩大、事态蔓延。
附图说明
[0014]图1为本技术实施例一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统的示意图；
[0015]图2为图1的信号传输示意图；
[0016]图中1机体、2排风管道、3风压测试表、4LED电子屏、5信号接收器、6信号触发器。
具体实施方式
[0017]以下结合附图实施例对本技术作进一步详细描述。
[0018]如图1、2所示，本实施例中的一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，离子注入机设备包括若干机体1，若干机体1上分别连接排风管道2。排风管道2上分别开设安装孔，安装孔内分别插设风压测试表3，任一机体1上设有信号触发器6，风压测试表3通过低限位继电器与信号触发器6信号连接。信号触发器6与可视化显示终端信号连接，风压测试表3对排风管道2内的风压进行监测，监测的风压值低于设定风压值时，低限位继电器触发对应的信号触发器6发出信号，使得可视化显示终端显示报警的机体，对可视化显示终端实时监控，进而能第一时间知晓。信号触发器6还与远程报警器信号连接，远程报警器设于操作人员集中处，能够第一时间提醒远处的操作人员发现隐患。
[0019]上述可视化显示终端包括LED电子屏4和信号接收器5，信号接收器5与信号触发器6信号连接，信号接收器5通过RS485通讯连接LED电子屏4，信号接收器4接收信号触发器6发出的信号，通过RS485发送给LED电子屏4，将其显示在LED电子屏4上，同时配有声光报警。
[0020]信号接收器和信号触发器内分别设有信号传输模块。
[0021]离子注入机设备包含大束流离子注入机、中低束流离子注入机、高能离子注入机。
[0022]本申请结构简单，操作便捷，利用全新设计的排风监测集成系统满足实际生产的安全需求，亦能有效帮助操作人员第一时间知晓并准确处置险情，防止灾情扩大、事态蔓延。
[0023]除上述实施例外，本技术还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本技术权利要求的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，所述离子注入机设备包括若干机体，若干所述机体上分别连接排风管道，其特征在于：所述排风管道内分别设有风压测试表，对所述排风管道内的风压进行测试；所述机体上分别设有信号触发器，所述风压测试表与信号触发器信号连接，所述信号触发器与可视化显示终端信号连接，所述风压测试表监测的风压值低于设定风压值时，所述信号触发器被触发，进而将信号发射至可视化显示终端，所述可视化显示终端显示报警的机体。2.根据权利要求1所述的一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，其特征在于：还设有远程报警器，所述远程报警器与...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚东，周晓，徐林，龚宇科，陈建标，贾云波，
申请(专利权)人：江苏新顺微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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