一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽制造技术

本实用新型专利技术涉及一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括炉帽，所述炉帽顶部开设排气孔，所述排气孔上连接排气管，使得排气管与炉帽内腔连通；作业时，所述排气管出气口朝向扩散炉排风方向。所述排气管包括第一排气管和第二排气管，所述第一排气管竖向布置，所述第二排气管水平布置，所述第一排气管出气口与第二排气管的进气口连接，形成L型结构件。所述第二排气管的出气口与炉帽边缘齐平。所述炉帽顶部设置提手。本申请结构简单、巧妙，使用后可以有效改善扩散炉内气流的均匀性，保障作业产品片内、片间参数的一致性。片间参数的一致性。片间参数的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽


[0001]本技术涉及一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，属于集成电路或分立器件芯片制造


技术介绍

[0002]扩散工序是分立器件制造工艺中的关键工序，众所周知扩散三要素：温度、时间、气流。卧式扩散炉炉尾进气，炉口排气，故而炉口使用的石英炉帽会开出气孔。
[0003]卧式扩散炉的排风分布在炉口排毒柜左侧或右侧，该款石英炉帽排气孔未朝向排风口，未充分利用排风吸力，且排气孔直径偏大，在排毒柜一侧排风作用下会使扩散炉内气氛不均匀，尤其是炉口区域。如此，作业产品片内、片间参数一致性无法得到有效的保障。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，结构简单、巧妙，提高扩散炉内气流均匀性，保障作业产品片内、片间参数的一致性。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，包括炉帽，所述炉帽顶部开设排气孔，所述排气孔上连接排气管，使得排气管与炉帽内腔连通；作业时，所述排气管出气口朝向扩散炉排风方向。
[0006]所述排气管包括第一排气管和第二排气管，所述第一排气管竖向布置，所述第二排气管水平布置，所述第一排气管出气口与第二排气管的进气口连接，形成L型结构件。
[0007]所述第二排气管的出气口与炉帽边缘齐平。
[0008]所述炉帽顶部设置提手。
[0009]与现有技术相比，本技术的优点在于：一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，结构简单、巧妙，使用后可以有效改善扩散炉内气流的均匀性，保障作业产品片内、片间参数的一致性。
附图说明
[0010]图1为本技术实施例一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽的示意图；
[0011]图2为图1的俯视图；
[0012]图中1炉帽、2排气管、3提手、4排气孔。
具体实施方式
[0013]以下结合附图实施例对本技术作进一步详细描述。
[0014]如图1、2所示，本实施例中的一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，包括炉帽1，炉帽1顶部开设直径为6mm的排气孔4，排气孔4上焊接一个L型的排气管2，排气
管2与炉帽1内腔连通。炉帽1顶部设置提手3，便于转动炉帽1。作业时，提起提手3旋动，进而旋转炉帽1，使得排气管2出气口朝向扩散炉排风方向，利用排风吸力改善炉内气流均匀性，从而改善产品片内、片间参数一致性。
[0015]排气管2包括第一排气管和第二排气管，第一排气管竖向布置，第一排气管进气口与排气孔连接。第二排气管水平布置，第一排气管出气口与第二排气管的进气口连接，连接处通过圆弧过渡连接，进而形成L型结构件。
[0016]第二排气管的出气口与炉帽1边缘相切、齐平。
[0017]本申请结构简单、巧妙，使用后可以有效改善扩散炉内气流的均匀性，保障作业产品片内、片间参数的一致性。
[0018]除上述实施例外，本技术还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本技术权利要求的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，其特征在于：包括炉帽，所述炉帽顶部开设排气孔，所述排气孔上连接排气管，使得排气管与炉帽内腔连通；作业时，所述排气管出气口朝向扩散炉排风方向。2.根据权利要求1所述的一种改善卧式高温扩散炉炉内气流分布的石英炉帽，其特征在于：所述排气管包括第一排气管和第二排气管，所述第一排气管竖向...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁飞，周红伟，马金磊，姜佳斌，张振振，
申请(专利权)人：江苏新顺微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：