本发明专利技术提供一种能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率的光导、电子线检测器及带电粒子装置。本发明专利技术的电子线检测器(1A)具备：沿一方向延伸的导光体(2)；第1荧光体层(3)，其配置于导光体(2)的一端侧，通过被检测线(E)的入射而使1次荧光(L1)产生；第2荧光体层(4)，其从导光体(2)的一端侧朝向另一端侧延伸，通过1次荧光(L1)的入射而使2次荧光(L2)产生；以及检测部(5)，其配置于导光体(2)的另一端侧，和导光体(2)光学地耦合。和导光体(2)光学地耦合。和导光体(2)光学地耦合。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光导、电子线检测器及带电粒子装置
[0001]本公开涉及光导、电子线检测器，及带电粒子装置。
技术介绍
[0002]目前，作为例如装入扫描型电子显微镜等的电子线检测器，有专利文献1、2记载的检测器。专利文献1中记载的检测器，在将在闪烁体产生的光引导至受光元件的光导设有：闪烁体容纳部，其由与闪烁体的入射面的相反面相对的第1面、以及与和闪烁体的入射面的相反面不同的面相对的第2面形成。此专利文献1的检测器中，设有将从第2面入射的光朝向光导内部反射的倾斜面。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2017
‑
183126号公报
[0006]专利文献2：日本特开2013
‑
243055号公报
技术实现思路
[0007]专利技术所要解决的技术问题
[0008]在上述这样的光导或电子线检测器中，从被检测线的检测精度的提升的观点来看，要求提升将通过被检测线的入射而产生的光导光至检测部时的导光效率。在专利文献1的检测器中，通过倾斜面的形成而构成为将从荧光体的两旁出射的光也入射至光导，但导光效率的提升效果有限，光导的形状也有限制。专利文献2的检测器中，有难以确保陶瓷荧光体的透明性这一问题。
[0009]本公开是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率的光导、电子线检测器及带电粒子装置。
[0010]用于解决问题的技术方案
[0011]本公开的一个方面的光导，具备：沿一方向延伸的导光体；第1荧光体层，其配置于导光体的一端侧，通过被检测线的入射而使1次荧光产生；以及第2荧光体层，其从导光体的一端侧朝向另一端侧延伸，通过1次荧光的入射而使2次荧光产生。
[0012]在此光导，通过在第1荧光体层产生的1次荧光的入射而使2次荧光产生的第2荧光体层，从导光体的一端侧朝向另一端侧延伸。在此光导，在第1荧光体层产生的1次荧光通过导光体而被导光，除此之外，通过1次荧光的入射而在第2荧光体层产生的2次荧光通过导光体或第2荧光体层而被导光。因此，能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率。
[0013]也可以是，第2荧光体层，比第1荧光体层更朝导光体的另一端侧延伸。在此情况下，可提高向第2荧光体层的1次荧光的入射效率。
[0014]也可以是，第2荧光体层，从导光体的一端侧延伸至另一端侧。在此情况下，可提高向第2荧光体层的1次荧光的入射效率，除此之外，能够通过第2荧光体层将2次荧光高效地导光。
[0015]也可以是，更具备：第3荧光体层，从导光体的一端侧朝向另一端侧延伸，通过2次荧光的入射而使3次荧光产生。在此情况下，通过2次荧光的入射而在第3荧光体层产生的3次荧光，通过导光体或第3荧光体层而被导光。因此，能够进一步提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率。
[0016]也可以是，第1荧光体层，通过氧硫化钆、硅酸钇、YAG、YAP、具有InGaN/GaN的量子阱结构层的荧光体、ZnO中的任意者而构成。通过采用这样的第1荧光体层，能够实现对被检测线的高速响应。此外，能够抑制在第1荧光体层产生的1次荧光泄漏至外部。
[0017]也可以是，导光体通过透明玻璃、透明树脂、空气、或真空而结构。在此情况下，能够通过简单的结构确保由导光体的光的导光效率。
[0018]也可以是，导光体，具有：第1面、以及位于第1面的相反侧的第2面，第1荧光体层设于第1面侧，第2荧光体层至少设于第2面侧，在第2面，在导光体的一端侧设有：倾斜面，其以随着朝向一端侧而靠近第1面的方式倾斜。通过形成该倾斜面，可提高向第2荧光体层的1次荧光的入射效率。此外，可谋求将具备光导的电子线检测器装入扫描型电子显微镜等时的省空间化。
[0019]也可以是，光导，还具备：反射膜，其覆盖第2荧光体层的导光体的一端侧的边缘。由此，可提高向第2荧光体层的1次荧光的入射效率。
[0020]也可以是，在导光体的一端侧，设有：贯通孔，其贯通导光体、第1荧光体层及第2荧光体层。此贯通孔，例如在将具备光导的电子线检测器装入扫描型电子显微镜时，能够用作使电子线朝向试样通过的孔。
[0021]也可以是，光导，还具备：覆盖贯通孔的内壁的金属膜。在此情况下，通过对金属膜赋予电位，能够使通过贯通孔内的电子线的轨道稳定化。
[0022]本公开的一个方面的电子线检测器具备：上述光导；以及检测部，其配置于光导的导光体的另一端侧，和导光体光学地耦合。
[0023]此电子线检测器中，通过在第1荧光体层产生的1次荧光的入射而使2次荧光产生的第2荧光体层，从导光体的一端侧朝向另一端侧延伸。此电子线检测器中，在第1荧光体层产生的1次荧光通过导光体而被导光至检测部，除此之外，通过1次荧光的入射而在第2荧光体层产生的2次荧光通过导光体或第2荧光体层而被导光至检测部。因此，能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率。
[0024]本公开的一个方面的带电粒子装置，具备：电子源，朝向试样放出电子线；以及检测器，其检测通过电子线的照射而在试样产生的带电粒子；检测器，其通过上述电子线检测器而构成。
[0025]在适用于此带电粒子装置的电子线检测器中，通过在第1荧光体层产生的1次荧光的入射而使2次荧光产生的第2荧光体层，从导光体的一端侧朝向另一端侧延伸。此电子线检测器中，在第1荧光体层产生的1次荧光通过导光体而被导光至检测部，除此之外，通过1次荧光的入射而在第2荧光体层产生的2次荧光通过导光体或第2荧光体层而被导光至检测部。因此，能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率。
[0026]专利技术的效果
[0027]根据本公开，能够提升在荧光体产生的光的导光效率。
附图说明
[0028]图1为示出第1实施方式的电子线检测器的结构的示意图，(a)为俯视图，(b)为仰视图，(c)为截面图。
[0029]图2中，(a)为示出第2实施方式的电子线检测器的结构的示意性的截面图，(b)为示出其变形例的电子线检测器的结构的示意性的截面图。
[0030]图3中，(a)为示出第3实施方式的电子线检测器的结构的示意性的截面图，(b)为示出其变形例的电子线检测器的结构的示意性的截面图。
[0031]图4为示出第4实施方式的电子线检测器的结构的示意性的截面图。
[0032]图5中，(a)及(b)为示出第4实施方式的变形例的电子线检测器的结构的示意性的截面图。
[0033]图6中，(a)及(b)为示出第4实施方式的另一变形例的电子线检测器的结构的示意性的截面图。
[0034]图7为示出第1效果确认试验的测定系统的示意图。
[0035]图8中，(a)及(b)为示出第1效果确认试验的试验结果的图。
[0036]图9为示出第2效果确认试验的测定系统的示意图。
[0037]图10为示出第2效果确认试验的试验结果的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光导，其具备：沿一方向延伸的导光体；第1荧光体层，其配置于所述导光体的一端侧，通过被检测线的入射而使1次荧光产生；以及第2荧光体层，其从所述导光体的所述一端侧朝向另一端侧延伸，通过所述1次荧光的入射而使2次荧光产生。2.根据权利要求1所述的光导，其中，所述第2荧光体层，比所述第1荧光体层更朝所述导光体的所述另一端侧延伸。3.根据权利要求1或2所述的光导，其中，所述第2荧光体层，从所述导光体的所述一端侧延伸至所述另一端侧。4.根据权利要求1～3中任一项所述的光导，其中，还具备：第3荧光体层，其从所述导光体的所述一端侧朝向所述另一端侧延伸，通过所述2次荧光的入射而使3次荧光产生。5.根据权利要求1～4中任一项所述的光导，其中，所述第1荧光体层，通过氧硫化钆、硅酸钇、YAG、YAP、具有InGaN/GaN的量子阱结构层的荧光体、ZnO中的任意者而构成。6.根据权利要求1～5中任一项所述的光导，其中，所述导光体通过透明玻璃、透明树脂、空气或真空而构成。7.根据权利要求1～6中任一项所述的光导，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：山内邦义，近藤稔，中村隆之，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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