一种复合结构的探测系统及探测方法技术方案

本发明专利技术涉及一种复合结构的探测系统及探测方法，属于电子显微镜技术领域，把EDS探测器置入物镜内部，在提高空间利用率的同时使EDS更靠近极靴头和样品表面，提高探测效率；该系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元；所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于电子源下方，所述物镜设于电子加速电极下方，所述样品设于物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电子加速电极和物镜后到达样品表面；所述EDS探测器以斜插方式设置在物镜内部，所述EDS探测器的探头位于物镜的探测口处；所述样品置于样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接。和所述物镜均与所述控制单元连接。和所述物镜均与所述控制单元连接。

【技术实现步骤摘要】
一种复合结构的探测系统及探测方法


[0001]本专利技术涉及电子显微镜
，尤其涉及一种复合结构的探测系统及探测方法。

技术介绍

[0002]电子显微镜主要用于纳米级的样品表面形貌观测，因为扫描电镜是依靠物理信号的强度来区分组织信息的。扫描电镜不仅可以观察样品表面的组织形貌，通过使用EDS、WDS、EBSD等不同的附件设备，扫描电镜还可进一步扩展使用功能。
[0003]能谱仪(EDS，Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。目前能谱探测的实现方法较多，例如：通过旁侧式X射线探测器实现，但该X射线探测器接收的X射线信号的立体角小，收集效率低，无法获取高速度的X射线图像；虽然设置多个X射线探测器可增加探测X射线的立体角，但实现方法繁琐且占用空间。
[0004]阴极荧光系统(Cathodoluminescence，CL)通常配置在扫描电镜或透射电镜中，能够实现形貌观察、结构和成分分析同阴极荧光光谱的结合研究，实现全光谱荧光扫描成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合结构的探测系统，其特征在于，所述系统包括：电子源、电子加速电极、物镜、EDS探测器、样品、样品台和控制单元；所述电子源设于顶部正中，所述电子加速电极设于所述电子源下方，所述物镜设于所述电子加速电极下方，所述样品设于所述物镜下方；所述电子源产生的电子束依次经过电子加速电极和所述物镜后到达所述样品的表面；所述EDS探测器以斜插方式设置在所述物镜内部，所述EDS探测器的探头位于所述物镜的探测口处；所述样品置于所述样品台上；所述样品台、所述EDS探测器、所述电子源和所述物镜均与所述控制单元连接。2.根据权利要求1所述的复合结构的探测系统，其特征在于，所述物镜的外环侧壁上设有过孔，所述EDS探测器的尾端位于所述过孔内，且所述EDS探测器的外周与所述过孔密封式连接。3.根据权利要求2所述的复合结构的探测系统，其特征在于，所述EDS探测器的尾端与伸缩结构连接，且跟随所述伸缩结构的伸缩动作斜向位移；所述伸缩结构与所述控制单元连接。4.根据权利要求1所述的复合结构的探测系统，其特征在于，所述EDS探测器为设有准直器和电子捕集阱的探测器，所述准直器和所述电子捕集阱均设置在探头端，且所述准直器位于最外端；所述EDS探测器的最前端设有能够反射电子的反射材料膜。5.根据权利要求1所述的复合结构的探测系统，其特征在于，所述物镜与所述样品上表面的距离为5mm以内。6.根据权利要求1所述的复合结构的探测系统，其特征在于，所述系统还包括SE探测器，所述S...

【专利技术属性】
技术研发人员：何伟，胡继闯，陈志明，张景龙，张子豪，张月新，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：发明
国别省市：