【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空系统，尤其涉及一种超大电镜真空系统。
技术介绍
1、对于小样品，是人站着不动，样品移动进行观看，对于大样品，是样品不动，人围着样品移动观看。现有的电子显微镜通常都是电子枪和物镜坐落在样品仓的顶部固定不动，通过移动样品仓里stage去观测样品，这样只能观察平面样品，对于曲面样品的观测能力有限。
技术实现思路
1、有鉴于此，为解决现有的电子显微镜的电子枪、物镜不能移动导致扫描电镜只能观看平面样品，对于曲面样品的观测能力有限的技术问题，本专利技术提供了一种超大电镜真空系统，通过将电子枪、物镜、样品存放处理平台等都放在真空样品仓内，进行样品观测，通过电子枪和物镜在龙门架上围绕样品进行摆动，实现样品、电子枪和物镜均可移动的方式观看样品，通过这种方式，观看样品的表面将不再受限于平面，球面样品甚至于波面样品也可以进行观察。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下的技术方案：
3、一种超大电镜真空系统，包括：
4、真空样品仓；
5、龙门架...
【技术保护点】
1.一种超大电镜真空系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述真空系统包括第一级抽真空系统和第二级抽真空系统。
3.根据权利要求2所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述第一级抽真空系统包括依次相连通的螺杆泵、罗茨泵、第三高真空插板阀和所述真空样品仓。
4.根据权利要求2所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述第二级抽真空系统包括依次相连通的机械泵、分子泵、高真空插板阀和所述真空样品仓。
5.根据权利要求4所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述第二级抽真空系统分...
【技术特征摘要】
1.一种超大电镜真空系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述真空系统包括第一级抽真空系统和第二级抽真空系统。
3.根据权利要求2所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述第一级抽真空系统包括依次相连通的螺杆泵、罗茨泵、第三高真空插板阀和所述真空样品仓。
4.根据权利要求2所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述第二级抽真空系统包括依次相连通的机械泵、分子泵、高真空插板阀和所述真空样品仓。
5.根据权利要求4所述的一种超大电镜真空系统，其特征在于，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛敬宇，陈志明，袁良经，连志强，王竞岩，杨宇聪，李明惠，郭沫远，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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